一种perc太阳能电池及其制备方法
【技术领域】
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[0001]本发明涉及一种PERC太阳能电池及其制备方法，其属于光伏技术领域。
【背景技术】
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[0002]现有PERC太阳能电池的生产步骤一般包括清洗制绒、扩散制PN结、刻蚀和去PSG、双面钝化、激光开孔、丝网印刷、烧结。其中激光开孔是为了金属电极与硅片形成良好的接触，开孔的好坏直接影响到电池的填充因子，从而影响电池的转换效率。三氧化二铝为两性氧化物，与强酸和强碱都能反应，所以，可以通过化学腐蚀的方法进行开孔。同时，激光烧蚀在微加工方面的应用越来越广泛，也可以用作三氧化二铝开孔。
[0003]现有技术存在的问题和缺点:
[0004]化学腐蚀:掩膜湿法腐蚀法，步骤多，流程复杂，并且容易引入离子污染，废弃化学品容易对环境造成危害，而近期出现的浆料腐蚀法，在浆料中加入可以腐蚀三氧化二铝和氮化硅的成分，会对铝膜的平整度造成不良影响；
[0005]现有激光开孔技术:通过激光烧蚀，将三氧化二铝完全去除，难免对硅片表面造成损伤，形成缺陷中心，影响钝化效果。
【发明内容】
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[0006]本发明提供一种PERC太阳能电池及其制备方法，其在解决串联电阻的同时，最大限度的保证钝化效果。
[0007]本发明采用如下技术方案:一种PERC太阳能电池，包括硅片、位于硅片上表面的正面氮化硅钝化层和银层、位于硅片下表面的氧化铝钝化层、位于氧化铝钝化层下表面的背面氮化硅钝化层，在背面氮化硅钝化层上间隔开设有若干个开孔，在开孔中填充有腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金的铝层。
[0008]进一步地，所述开孔贯穿于背面氮化硅钝化层后延伸至氧化铝钝化层中。
[0009]本发明还采用如下技术方案:一种PERC太阳能电池的制备方法，包括如下步骤:
[0010]步骤1、在硅片的上表面镀正面氮化硅钝化层，在硅片的下表面镀氧化铝钝化层，在氧化铝钝化层的下表面镀背面氮化硅钝化层；
[0011 ]步骤2、在背面氮化硅钝化层上通过激光开孔方式开孔，其中开孔贯穿于背面氮化硅钝化层后延伸至氧化铝钝化层中，且开孔不打穿氧化铝钝化层；
[0012]步骤3、在硅片的上表面上印刷银浆形成银层，在背面氮化硅钝化层上印刷铝浆形成铝层，其中铝浆腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金。
[0013]本发明具有如下有益效果:本发明在背面氮化硅钝化层上通过激光开孔方式开孔，孔的深度控制在打穿背面氮化硅钝化层而不打穿氧化铝钝化层，然后印刷铝浆，通过烧结工艺，铝浆腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金，形成良好的欧姆接触。
【附图说明】
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[0014]图1为本发明PERC太阳能电池的结构图。
【具体实施方式】
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[0015]请参照图1所示，本发明PERC太阳能电池包括硅片1、位于硅片I上表面的正面氮化硅钝化层2和银层3、位于硅片I下表面的氧化铝钝化层4、位于氧化铝钝化层4下表面的背面氮化硅钝化层5，在背面氮化硅钝化层5上间隔开设有若干个开孔6，在开孔6中填充有腐蚀掉氧化铝钝化层4后与硅片I形成铝硅合金的铝层7。
[0016]其中开孔6贯穿于背面氮化硅钝化层5后延伸至氧化铝钝化层4中，且开孔6不打穿氧化铝钝化层4。
[0017]本发明PERC太阳能电池的制备方法，包括如下步骤:
[0018]步骤1、在硅片I的上表面镀正面氮化硅钝化层2，在硅片I的下表面镀氧化铝钝化层4，在氧化铝钝化层4的下表面镀背面氮化硅钝化层5;
[0019]步骤2、在背面氮化硅钝化层5上通过激光开孔方式开孔，其中开孔贯穿于背面氮化硅钝化层5后延伸至氧化铝钝化层4中，且开孔不打穿氧化铝钝化层4;
[0020]步骤3、在硅片I的上表面上印刷银浆形成银层3，在背面氮化硅钝化层5上印刷铝浆形成铝层7，其中铝浆腐蚀掉氧化铝钝化层4后与硅片I形成铝硅合金。
[0021]本发明在背面氮化硅钝化层上通过激光开孔方式开孔，孔的深度控制在打穿背面氮化硅钝化层而不打穿氧化铝钝化层，然后印刷铝浆，通过烧结工艺，铝浆腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金，形成良好的欧姆接触。
[0022]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种PERC太阳能电池，其特征在于:包括硅片(I)、位于硅片(I)上表面的正面氮化硅钝化层(2)和银层(3)、位于硅片(I)下表面的氧化铝钝化层(4)、位于氧化铝钝化层(4)下表面的背面氮化硅钝化层(5)，在背面氮化硅钝化层(5)上间隔开设有若干个开孔(6)，在开孔(6)中填充有腐蚀掉氧化铝钝化层(4)后与硅片(I)形成铝硅合金的铝层(7)。2.如权利要求1所述的PERC太阳能电池，其特征在于:所述开孔(6)贯穿于背面氮化硅钝化层(5)后延伸至氧化铝钝化层(4)中。3.一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于:包括如下步骤 步骤1、在硅片(I)的上表面镀正面氮化硅钝化层(2)，在硅片(I)的下表面镀氧化铝钝化层(4)，在氧化铝钝化层(4)的下表面镀背面氮化硅钝化层(5); 步骤2、在背面氮化硅钝化层(5)上通过激光开孔方式开孔，其中开孔贯穿于背面氮化硅钝化层(5)后延伸至氧化铝钝化层(4)中，且开孔不打穿氧化铝钝化层(4); 步骤3、在硅片(I)的上表面上印刷银浆形成银层(3)，在背面氮化硅钝化层(5)上印刷铝浆形成铝层(7)，其中铝浆腐蚀掉氧化铝钝化层(4)后与硅片(I)形成铝硅合金。
【专利摘要】本发明公开一种PERC太阳能电池及其制备方法，其中PERC太阳能电池包括硅片、位于硅片上表面的正面氮化硅钝化层和银层、位于硅片下表面的氧化铝钝化层、位于氧化铝钝化层下表面的背面氮化硅钝化层，在背面氮化硅钝化层上间隔开设有若干个开孔，在开孔中填充有腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金的铝层。本发明在背面氮化硅钝化层上通过激光开孔方式开孔，孔的深度控制在打穿背面氮化硅钝化层而不打穿氧化铝钝化层，然后印刷铝浆，通过烧结工艺，铝浆腐蚀掉氧化铝钝化层后与硅片形成铝硅合金，形成良好的欧姆接触。
【IPC分类】H01L31/068, H01L31/18, H01L31/0224
【公开号】CN105470337
【申请号】CN201511022501
【发明人】蒋建宝, 李科伟
【申请人】无锡赛晶太阳能有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年12月30日