压电振动片及压电振动器的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及压电振动片及压电振动器。
【背景技术】
[0002]—直以来，在便携电话或便携信息终端器中，作为用于时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等的器件，大多采用利用石英等的压电振动器。作为这种压电振动器，已知将压电振动片气密密封于形成有空腔的封装件内的压电振动器。
[0003]作为这样的压电振动片，已知具备基部和从基部延伸的一对振动臂及支撑臂的压电振动片。另外，提出了如下的压电振动片:支撑臂的基端侧的部分以随着朝向前端侧而宽度逐渐变窄的方式以锥状形成，支撑臂的前端侧的部分宽度较宽地形成(参照下述专利文献1)0
[0004]另外，提出了如下的压电振动片:支撑臂具备从基部与振动臂的延伸方向平行地延伸的第2直线部、与第2直线部的前端连续地设置并弯曲形成的弯曲部以及与弯曲部的前端连续地设置并与振动臂的延伸方向平行地延伸的第1直线部(参照下述专利文献2)。
[0005]专利文献1:日本特开2010 - 87574号公报专利文献2:日本特开2009 - 118302号公报。
【发明内容】
[0006]发明要解决的课题
然而，在上述专利文献1所记载的压电振动片中，在支撑臂的前端侧的宽度较宽地形成的部分与基端侧的以锥状形成的部分的边界部分形成有台阶部，容易在该台阶部产生所谓的蚀刻残留物。因此，在该台阶部，存在在支撑臂产生缺口或支撑臂折断这一问题点。
[0007]另外，在上述专利文献2所记载的压电振动片中，由于支撑臂弯曲形成，因而存在不能减少从压电振动片向封装件侧的振动泄漏(振动能量的泄漏)的发生的可能性。
[0008]另外，由于支撑臂的宽度尺寸(一对支撑臂的离开方向的长度)恒定，因而在安装于封装件的第1直线部的前端侧，还存在不能充分地确保接合面积，安装强度变得不充分这一问题点。
[0009]因此，本发明是鉴于上述情况而作出的，提供抑制支撑臂部的破损并减少振动泄漏的发生而进一步提高安装强度的压电振动片及压电振动器。
[0010]用于解决课题的方案
为了达成上述目的，本发明采用以下的方案。
[0011]S卩，本发明所涉及的压电振动片具备:基部；一对振动臂部，从所述基部沿第一方向延伸，沿与所述第一方向相交的第二方向离开而配置；以及支撑臂部，从所述基部沿所述第一方向延伸，所述支撑臂部具有:第一臂部，形成为随着朝向所述支撑臂部的前端部侧，作为沿着所述第二方向的长度的宽度逐渐变窄；和第二臂部，形成为从该第一臂部沿所述第一方向延伸，随着朝向所述前端部侧，所述宽度变宽。
[0012]在这样构成的压电振动片中，由于支撑臂部的第一臂部形成为随着朝向前端部侧而宽度逐渐变窄，因而能够抑制振动泄漏的发生。
[0013]另外，由于支撑臂部的第二臂部形成为随着朝向前端部侧而宽度逐渐变宽，因而能够增大第二臂部的前端侧的面积。因而，由于在第二臂部的前端侧安装于封装件时，能够增大安装面积，因而能够提高压电振动片相对于封装件的安装强度。
[0014]另外，在容易产生蚀刻残留物的支撑臂部的基端侧，即第一臂部的基端侧，其宽度比第一臂部的前端侧更宽地形成。因而，由于能够确保第一臂部的基端侧的强度，因而能够抑制支撑臂部的基端侧的破损。另外，如果在支撑臂部形成有台阶部或切口，则容易产生蚀刻残留物，但支撑臂部形成为，其宽度沿着第一方向逐渐变化。因而，支撑臂部沿着第一方向抑制蚀刻残留物的产生。
[0015]另外，本发明所涉及的压电振动片，优选，所述第一臂部及所述第二臂部的两个侧面分别以平面状形成。
[0016]在这样构成的压电振动片中，由于第一臂部及第二臂部的两个侧面分别以平面状形成，因而能够简易地制造支撑臂部。
[0017]另外，本发明所涉及的压电振动片也可以是，所述支撑臂部具有从所述基部侧延伸且前端侧与所述第一臂部的基端侧连接的延伸臂部，在所述延伸臂部的侧面中的基部侦牝形成有异形部。
[0018]在这样构成的压电振动片中，形成为朝向第一方向而宽度变窄的第一臂部比延伸臂部更靠近支撑臂部的前端部侧而设置。因而，容易产生异形部的支撑臂部的基端侧，即延伸臂部形成为，其宽度比第一臂部的前端侧更宽，因此能够抑制支撑臂部的基端侧的应力集中所导致的破损。
[0019]另外，本发明所涉及的压电振动片也可以是，所述支撑臂部具有从所述第二臂部沿所述第一方向延伸且所述宽度恒定的前端臂部。
[0020]在这样构成的压电振动片中，与沿着第一方向而宽度变窄的情况相比，由于前端臂部的宽度恒定，因而前端臂部的面积变宽。在本发明中，由于为了安装而涂敷于前端臂部的导电性粘接剂容易沿着支撑臂部的宽度方向(第二方向)润湿扩散，因而抑制向第一方向过度润湿扩散。因而，抑制导电性粘接剂到达没有必要过度润湿扩散而涂敷的第一臂部，能够将前端臂部及第二臂部可靠地安装于封装件。
[0021]另外，由于前端臂部的宽度恒定，因而在前端臂部，沿着第一方向均匀地涂敷导电性粘接剂。因而，由于抑制前端臂部中的沿着第一方向的质量的偏差，因而能够提高安装强度。
[0022]另外，本发明所涉及的压电振动片也可以是，所述第一臂部与所述第二臂部的边界部比所述支撑臂部中的所述第一方向的中间位置更位于所述基部侧。
[0023]在这样构成的压电振动片中，由于边界部比支撑臂部的第一方向的中间位置更靠近基部侧而配置，因而能够延长从支撑臂部的前端部至边界部的距离。因而，即使涂敷于支撑臂部的前端部的导电性粘接剂向第一方向润湿扩散，也抑制到达边界部。因而，抑制导电性粘接剂附着于边界部而经由导电性粘接剂来泄漏振动。
[0024]另外，本发明所涉及的压电振动片也可以是，所述第一臂部及所述第二臂部的一个侧面以朝向所述第一方向延伸的平面状形成，所述第一臂部的另一侧面以随着朝向前端部侧而逐渐接近所述第一臂部的所述一个侧面的方式以平面状形成，所述第二臂部的另一侧面以随着朝向前端部侧而逐渐离开所述第二臂部的所述一个侧面的方式以平面状形成。
[0025]在这样构成的压电振动片中，由于第一臂部及第二臂部的一个侧面以朝向第一方向延伸的平面状形成，因而能够简易地制造支撑臂部。
[0026]另外，本发明所涉及的压电振动片也可以是，所述第二臂部的所述宽度尺寸沿着所述第一方向的变化率比所述第一臂部的所述宽度尺寸沿着所述第一方向的变化率更大。
[0027]在这样构成的压电振动片中，第二臂部的宽度尺寸沿着第一方向的变化率比第一臂部的宽度尺寸沿着第一方向的变化率更大。因而，第二臂部的宽度变宽的变化率大，因此能够可靠地抑制振动泄漏。
[0028]另外，本发明所涉及的压电振动器具备:封装件，具有基底部件和叠合于所述基底部件而接合并在与所述基底部件之间形成有被气密密封的空腔的盖部件；和上述任一个所记载的压电振动片，装配于所述基底部件中的安装面，容纳于所述空腔的内部。
[0029]在这样构成的压电振动器中，由于支撑臂部的第一臂部形成为，随着朝向前端部侦牝宽度逐渐变窄，因而能够抑制振动泄漏的发生。
[0030]另外，由于支撑臂部的第二臂部形成为，随着朝向前端部侧，宽度逐渐变宽，因而第二臂部前端部侧的面积比沿着第一方向而宽度变窄的情况更宽。因而，在第二臂部的前端侧安装于封装件时，由于能够增大安装面积，因此能够提高压电振动片相对于封装件的安装强度。
[0031]另外，在容易产生蚀刻残留物的支撑臂部的基端侧，即第一臂部的基端侧，其宽度比第一臂部的前端侧更宽地形成。因而，能够确保第一臂部的基端侧的强度，因此能够抑制支撑臂部的基端侧的破损。另外，如果在支撑臂部形成有台阶部或切口，则容易产生蚀刻残留物，但支撑臂部形成为，其宽度沿着第一方向而逐渐变化。因而，支撑臂部能抑制沿着第一方向产生蚀刻残留物。
[0032]发明效果
依据本发明所涉及的压电振动片及压电振动器，能够抑制支撑臂部的破损，同时，减少振动泄漏的发生，进一步提高安装强度。
【附图说明】
[0033]图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的外观立体图。
[0034]图2是示出本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的分解立体图。
[0035]图3是示出本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的内部构造的平面图。
[0036]图4是图3中的A — A截面图。
[0037]图5是示出构成本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的压电振动片的外观立体图。
[0038]图6是示出构成本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的压电振动片的(a)平面图、(b)侧面图。
[0039]图7是示出构成本发明的第一实施方式的变形例1所涉及的压电振动器的压电振动片的(a)平面图、(b)侧面图。
[0040]图8是示出构成本发明的第一实施方式的变形例2所涉及的压电振动器的压电振动片的(a)平面图、(b)侧面图。
[0041]图9是本发明的(a)第二实施方式所涉及的压电振动片的平面图、(b)第二实施方式的变形例1所涉及的压电振动片的平面图、(c)第二实施方式的变形例2所涉及的压电振动片的平面图。
【具体实施方式】
[0042](第一实施方式)
作为本发明的第一实施方式，对压电振动器进行说明。
[0043]图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的外观立体图。图2是示出本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的分解立体图。图3是示出本发明的第一实施方式所涉及的压电振动器的内部构造的平面图。图4是图3中的A — A截面图。
[0044]在以下所说明的图1?图9的说明中，设定XYZ坐标系，参照该XYZ坐标系，同时，说明各部件的位置关系。此时，将压电振动器1 (参照图1)的厚度方向设为Z轴方向，将压电振动器1的长度方向设为Y轴方向，将作为压电振动器1的宽度方向的与Y轴方向和z轴方向的双方正交的方向设为X轴方向。
[0045](压电振动器)
如图1?4所示，压电振