一种超薄晶圆片吸附搬运机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及机械领域，特别涉及一种超薄晶圆片吸附搬运机构。
【背景技术】
[0002]在半导体专用设备制造过程中，实现硅片的自动取、放和自动传输是一项关键技术。在现代化的生产设备中，常见的对晶片抓取装置有:夹持式、电磁吸附式、真空吸盘吸附式等。其中夹持式晶片抓取装置容易造成晶片损坏，电磁吸附式晶片抓取装置和真空吸盘吸附式晶片抓取装置结构较为复杂，零件加工难度大，还存在难以控制的问题。
【发明内容】
[0003]本发明提供了一种超薄晶圆片吸附搬运机构，其目的是为了解决抓取装置容易造成晶片损坏的问题。
[0004]为了达到上述目的，本发明的实施例提供了一种超薄晶圆片吸附搬运机构，包括:
[0005]磁偶式无杆气缸，包括沿第一方向设置的滑杆；
[0006]沿第二方向设置的安装板，所述安装板的第一端滑动地设置在所述滑杆上，通过所述磁偶式无杆气缸驱动所述安装板沿所述滑杆移动；
[0007]滑台连接结构，滑动连接在所述安装板的第二端上，且所述滑台连接结构上固定有滑台；
[0008]驱动机构，与所述滑台连接结构连接，用于驱动所述滑台连接结构相对于所述安装板沿所述第二方向运动；
[0009]吸附装置，用于吸附超薄晶圆片，设置在所述滑台上，且所述吸附装置有多个，包括:
[0010]设置在所述滑台的上端面的真空导柱；
[0011]通过螺母固定在所述真空导柱上，设置在所述滑台下端面的软透明吸嘴，所述多个软透明吸嘴的吸附底面在同一平面上。
[0012 ]进一步地，所述第一方向与所述第二方向相垂直。
[0013]其中，所述滑台连接结构包括:
[0014]滑台固定端，所述滑台固定端的一侧与所述安装板滑动地连接，所述滑台固定端的另一侧设置有一凹槽；
[0015]滑台移动端，固定安装在所述滑台固定端的凹槽内，且所述驱动机构安装在所述滑台固定端和所述滑台移动端之间。
[0016]其中，所述滑台包括:
[0017]对称安装在所述滑台移动端的两侧的第一固定板和第二固定板；
[0018]所述第一固定板和所述第二固定板的外侧分别水平安装一吸附装置安装板，所述吸附装置安装板上设置有多个通孔，用于安装所述吸附装置。
[0019]进一步地，所述第一固定板和所述第二固定板相平行，且沿第三方向延伸。
[0020]进一步地，所述第三方向与所述第二方向相垂直;且所述第三方向与所述第一方向相垂直。
[0021 ]其中，所述驱动机构包括至少一气动元件。
[0022]其中，所述软透明吸嘴为锥形吸嘴。
[0023]本发明的上述方案的有益效果如下:
[0024]本发明所提供的超薄晶圆片吸附搬运机构采用了磁偶式无杆气缸和软透明吸嘴的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，安装简单，结构可靠、运行平稳。
【附图说明】
[0025]图1为本发明的结构示意图。
[0026]【附图标记说明】
[0027]1-滑杆;2-安装板;3-驱动机构;4-真空导柱;5-软透明吸嘴;6-滑台固定端;7-滑台移动端;8-第一固定板;9-第二固定板;10-吸附装置安装板。
【具体实施方式】
[0028]为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0029]本发明针对现有的抓取装置容易造成晶片损坏的问题，提供了一种超薄晶圆片吸附搬运机构。
[0030]如图1所示，本发明的实施例提供了一种超薄晶圆片吸附搬运机构，包括:磁偶式无杆气缸，包括沿第一方向设置的滑杆1;沿第二方向设置的安装板2，所述安装板2的第一端滑动地设置在所述滑杆1上，通过所述磁偶式无杆气缸驱动所述安装板2沿所述滑杆1移动;滑台连接结构，滑动连接在所述安装板2的第二端上，且所述滑台连接结构上固定有滑台；驱动机构3，与所述滑台连接结构连接，用于驱动所述滑台连接结构相对于所述安装板2沿所述第二方向运动；吸附装置，用于吸附超薄晶圆片，设置在所述滑台上，且所述吸附装置有多个，包括:设置在所述滑台的上端面的真空导柱4;通过螺母固定在所述真空导柱4上，设置在所述滑台下端面的软透明吸嘴5，所述多个软透明吸嘴5的吸附底面在同一平面上。
[0031]进一步地，所述第一方向与所述第二方向相垂直。
[0032]本发明的上述实施例所述的超薄晶圆片吸附搬运机构所述磁偶式无杆气缸和滑台连接结构固定在所述安装板2上;驱动机构3安装在所述滑台连接结构上;所述磁偶式无杆气缸带动所述安装板2沿第一方向运动，所述驱动机构3带动所述滑台连接结构沿第二方向运动，从而实现搬运超薄晶圆片的目的;所述滑台上安装有8个真空导柱4，分别固定在所述滑台的上端面，8个软透明吸嘴5分别固定在所述滑台的下端面，所述软透明吸嘴5用来吸附超薄晶圆片，起到缓冲和平衡的作用，防止超薄晶圆片损坏。
[0033]其中，所述滑台连接结构包括:滑台固定端6，所述滑台固定端6的一侧与所述安装板2滑动地连接，所述滑台固定端6的另一侧设置有一凹槽;滑台移动端7，固定安装在所述滑台固定端6的凹槽内，且所述驱动机构3安装在所述滑台固定端6和所述滑台移动端7之间。
[0034]本发明的上述实施例所述的滑台连接结构包括滑台固定端6和滑台移动端7，且所述驱动机构3安装在所述滑台固定端6和所述滑台移动端7之间，所述驱动机构3带动所述滑台连接结构在所述安装板2上沿第二方向运动。
[0035]其中，所述滑台包括:对称安装在所述滑台移动端7的两侧的第一固定板8和第二固定板9;所述第一固定板8和所述第二固定板9的外侧分别水平安装一吸附装置安装板10，所述吸附装置安装板10上设置有多个通孔，用于安装所述吸附装置。
[0036]进一步地，所述第一固定板8和所述第二固定板9相平行，且沿第三方向延伸。
[0037]本发明的上述实施例所述的滑台包括第一固定板8和第二固定板9，对称设置在滑台移动端7的两侧，所述固定板上向外水平安装有吸附装置安装板10，所述吸附装置安装板10上设置有多个通孔，用于安装所述真空导柱4和所述软透明吸嘴5。
[0038]进一步地，所述第三方向与所述第二方向相垂直;且所述第三方向与所述第一方向相垂直。
[0039]其中，所述驱动机构3包括至少一气动元件。
[0040]本发明的上述实施例所述的驱动机构3安装在所述滑台连接结构上，包括至少一气动元件，通过所述气动元件控制所述滑台连接结构在所述安装板2上移动。
[0041 ]其中，所述软透明吸嘴5为锥形吸嘴。
[0042]本发明的上述实施例所述的超薄晶圆片吸附搬运机构所述磁偶式无杆气缸和滑台连接结构固定在所述安装板2上;驱动机构3安装在所述滑台连接结构上;所述磁偶式无杆气缸带动所述安装板2沿第一方向运动，所述驱动机构3带动所述滑台连接结构沿第二方向运动，从而实现搬运超薄晶圆片的目的;所述滑台上安装有8个真空导柱4，分别固定在所述滑台的上端面，8个软透明吸嘴5分别固定在所述滑台的下端面，所述软透明吸嘴5用来吸附超薄晶圆片，起到缓冲和平衡的作用，防止超薄晶圆片损坏，同时使该装置整体结构紧凑，安装简单，结构可靠、运行平稳。
[0043]以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，包括: 磁偶式无杆气缸，包括沿第一方向设置的滑杆； 沿第二方向设置的安装板，所述安装板的第一端滑动地设置在所述滑杆上，通过所述磁偶式无杆气缸驱动所述安装板沿所述滑杆移动； 滑台连接结构，滑动连接在所述安装板的第二端上，且所述滑台连接结构上固定有滑台； 驱动机构，与所述滑台连接结构连接，用于驱动所述滑台连接结构相对于所述安装板沿所述第二方向运动； 吸附装置，用于吸附超薄晶圆片，设置在所述滑台上，且所述吸附装置有多个，包括: 设置在所述滑台的上端面的真空导柱； 通过螺母固定在所述真空导柱上，设置在所述滑台下端面的软透明吸嘴，所述多个软透明吸嘴的吸附底面在同一平面上。2.根据权利要求1所述的超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向相垂直。3.根据权利要求1所述的超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，所述滑台连接结构包括: 滑台固定端，所述滑台固定端的一侧与所述安装板滑动地连接，所述滑台固定端的另一侧设置有一凹槽； 滑台移动端，固定安装在所述滑台固定端的凹槽内，且所述驱动机构安装在所述滑台固定端和所述滑台移动端之间。4.根据权利要求3所述的超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，所述滑台包括: 对称安装在所述滑台移动端的两侧的第一固定板和第二固定板； 所述第一固定板和所述第二固定板的外侧分别水平安装一吸附装置安装板，所述吸附装置安装板上设置有多个通孔，用于安装所述吸附装置。5.根据权利要求4所述的超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，所述第一固定板和所述第二固定板相平行，且沿第三方向延伸。6.根据权利要求5所述的超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，所述第三方向与所述第二方向相垂直;且所述第三方向与所述第一方向相垂直。7.根据权利要求2所述的超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，所述驱动机构包括至少一气动元件。8.根据权利要求1所述的超薄晶圆片吸附搬运机构，其特征在于，所述软透明吸嘴为锥形吸嘴。
【专利摘要】本发明提供了一种超薄晶圆片吸附搬运机构，包括：磁偶式无杆气缸，包括沿第一方向设置的滑杆；沿第二方向设置的安装板，所述安装板的第一端滑动地设置在所述滑杆上，通过所述磁偶式无杆气缸驱动所述安装板沿所述滑杆移动；滑台连接结构，滑动连接在所述安装板的第二端上，且所述滑台连接结构上固定有滑台；驱动机构，与所述滑台连接结构连接，用于驱动所述滑台连接结构相对于所述安装板沿所述第二方向运动；吸附装置，用于吸附超薄晶圆片，设置在所述滑台上，且所述吸附装置有多个。本发明所提供的超薄晶圆片吸附搬运机构采用了磁偶式无杆气缸和软透明吸嘴的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，安装简单，结构可靠、运行平稳。
【IPC分类】H01L21/677, H01L21/683
【公开号】CN105489543
【申请号】CN201510924064
【发明人】张文斌, 衣忠波, 张景瑞, 贺东葛, 刘宇光
【申请人】北京中电科电子装备有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月11日