一种用于磊晶led显示模组的复合玻璃基板的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法。
【背景技术】
[0002]在传统的半导体显示器产品发展到今天，配套的或是交叉行业的资源已经极大地丰富和完善。在传统的LED产品结构中，通常采用FR4电路板用来做LED电路基板。
[0003]但是，在传统电路板作为LED电路基板时，其材料的材质里存在的杂质，气孔，热应力，热膨胀等缺陷，都会造成致命的产品稳定性信赖性的隐患。而且在半导体显示器的分辨率提高到一定程度时(例如像素间距要求小于IMM时)无法实现加工。因此传统电路板是完全没法满足小尺寸、高精度的要求的。同时，后续与LED的接合工艺繁琐，导致成本较高，一个LED电路基板承载的多个LED晶片间性能的一致性也无法得到保障，可能会对最终产品的性能造成影响。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法。
[0005]本发明提供了一种基于无机物的LED中心基板的制造方法，包括:
[0006]对玻璃模板进行加工，在玻璃模板的一侧表面制作多个长宽尺寸分别相等且槽深相等的矩阵槽；
[0007]将多个SiC衬片分别装入多个所述矩阵槽中；
[0008]对装入SiC衬片的玻璃模板进行高温热压，使所述SiC衬片与所述玻璃模板相粘接；
[0009]冷却后，对所述玻璃模板上具有SiC衬片的一侧表面进行研磨抛光；
[0010]高温退火和清洗后得到所述复合玻璃基板。
[0011]优选的，在所述将多个SiC衬片分别装入所述矩阵槽中之前，所述方法还包括:
[0012]将SiC圆片贴装在衬纸上，进行激光切割，形成多个SiC衬片；所述SiC衬片的尺寸与所述矩阵槽的内径相匹配；
[0013]在所述SiC衬片上制备方向定位标记。
[0014]优选的，所述将多个SiC衬片分别装入多个所述矩阵槽中具体为:
[0015]所述将多个SiC衬片分别装入多个所述矩阵槽中具体为:
[0016]将所述SiC衬片贴装在扩片衬纸上；
[0017]利用所述扩片衬纸对所述SiC衬片进行扩片操作，使扩片后的各个SiC衬片之间的间距与所述矩阵槽之间的槽间距相等；
[0018]利用针式打印方式，将所述扩片衬纸上的SiC衬片依次装入一个矩阵槽中。
[0019]优选的，在所述高温退火和清洗后，所述方法还包括:
[0020]对所述复合玻璃基板进行测试。
[0021]本发明提供的用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法，采用玻璃模板和SiC衬片，通过高温热压相粘接，对SiC衬片一侧研磨抛光，用以后续在SiC衬片上磊晶生长LED，最后经过高温退火消除复合玻璃基板内的应力。本发明提供的复合玻璃基板的制造方法，简便易行，成本低，适于大规模生产应用，在复合玻璃基板上可以一次性完成多个LED的后续嘉晶生长LED形成LED显示模组,从而有效的保证了 LED显示模组的多个LED晶片间的一致性，即保证了具有一致性良好的显示效果。
【附图说明】
[0022]图1为本发明实施例提供的用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法的流程图；
[0023]图2为本发明实施例提供的制造方法的过程示意图之一；
[0024]图3为本发明实施例提供的制造方法的过程示意图之二 ；
[0025]图4为本发明实施例提供的制造方法的过程示意图之三；
[0026]图5为本发明实施例提供的制造方法的过程示意图之四；
[0027]图6为本发明实施例提供的制造方法的过程示意图之五；
[0028]图7为本发明实施例提供的制造方法的过程示意图之六。
【具体实施方式】
[0029]下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
[0030]本发明的用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法，主要用于LED显示屏，超小间距LED显示屏，超高密度LED显示屏，LED正发光电视，LED正发光监视器，LED视频墙，LED指示，LED特殊照明等领域的显示面板制造。
[0031]图1为本发明实施例提供的用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法的流程图。本发明的制造方法包括如下步骤:
[0032]步骤101，对玻璃模板进行加工，在玻璃模板的一侧表面制作多个长宽尺寸分别相等且槽深相等的矩阵槽；
[0033]具体的，首先，对具有光学透明度的玻璃模板进行机械加工，根据设定好的尺寸进行矩阵槽制作。通过机械加工在玻璃模板的一面上形成多个矩阵槽，截面图如图2所示，每个矩阵槽之间的间距都相等，每个矩阵槽的槽深和长度、宽度尺寸也分别都相等。
[0034]步骤102，将SiC圆片贴装在衬纸上，进行激光切割，形成多个SiC衬片；
[0035]具体的，用贴纸贴在SiC圆片的一面，对另外一面进行激光切割，将SiC圆片切割成多个形状，长、宽尺寸都相等的SiC衬片，俯视图如图3所示。SiC衬片的尺寸与玻璃模板上制作的矩阵槽的内径相匹配。
[0036]步骤103，在所述SiC衬片上制备方向定位标记；
[0037]具体的，利用激光切割或其他方式，在SiC衬片上制备方向定位标记。方向定位标记可以是定位边(如图4所示)、定位槽、图形标记或其他形式。
[0038]步骤104，将所述SiC衬片贴装在扩片衬纸上；
[0039]具体的，将切割得到的多个SiC衬片的另一表面贴在特殊的扩片衬纸上。扩片衬纸可以在各个方向上进行拉伸，在贴装在扩片衬纸上之后，将原有的衬纸去除。
[0040]步骤105，利用所述扩片衬纸对所述SiC衬片进行扩片操作，使扩片后的各个SiC衬片之间的间距与所述矩阵槽之间的槽间距相等；
[0041]具体的，对扩片衬纸进行拉伸，从而使得SiC衬片之间的行间距和列间距都加大，直至与各个矩阵槽之间的间距相匹配，如5所示。
[0042]步骤106，利用针式打印方式，将所述扩片衬纸上的SiC衬片依次装入一个矩阵槽中；
[0043]具体的，将SiC衬片通过针式打印的方式依次装入相应的矩阵槽中，装入后如图6所示。
[0044]需要说明的是，虽然此处仅以针式打印的装入方式为例进行说明，但是可以不限于以此方式实现SiC衬片在矩阵槽中的装入。
[0045]步骤107，对装入SiC衬片的玻璃模板进行高温热压，使所述SiC衬片与所述玻璃模板相粘接；
[0046]具体的，在对装入SiC衬片的玻璃模板进行定位热压，温度控制在使玻璃处于熔融态的温度即可。在高温热压过程里，使玻璃处于熔融态，从而与SiC衬片进行接合。接合后如图7所示。其中，常温下是固体的物质在到达一定温度后熔化，成为液态，称为熔融状态。对玻璃而言在1350度时出现熔融态，当控制温度下线波动时开始出现固液共存的溶融
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[0047]步骤108，冷却后，对所述玻璃模板上具有SiC衬片的一侧表面进行研磨抛光；
[0048]具体的，对接合后的玻璃模板上具有SiC衬片的一侧进行研磨抛光，可以采用化学机械抛光(CMP)或其他方式来实现。
[0049]步骤109，高温退火和清洗后得到所述复合玻璃基板。
[0050]具体的，高温退火的目的在于消除玻璃模板和SiC衬片之间的应力，清洗后即制得需要的复合玻璃基板。
[0051 ] 步骤110，对所述复合玻璃基板进行测试。
[0052]后续可以一次性的在复合玻璃基板的SiC衬片上进行多个LED的磊晶生长，从而直接在复合玻璃基板上形成LED显示模组。
[0053]本发明提供的复合玻璃基板的制造方法，简便易行，成本低，适于大规模生产应用，在复合玻璃基板上可以一次性完成多个LED的后续磊晶生长LED形成LED显示模组，也可以分几次选择性磊晶生长LED形成多色LED显示模组，有效的保证了 LED显示模组的多个LED晶片间的一致性，即保证了具有一致性良好的显示效果。
[0054]上述实施例中所述的温度、浓度、时间等参数，仅为具体实施例，并非对本发明的限定，本领域技术人员在不付出创造性劳动的情况下，均可对上述参数进行调整，以得到与本发明相同的效果，因此对各参数数值的调整均应包括在本发明的保护范围内。
[0055]以上所述的【具体实施方式】，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的【具体实施方式】而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括: 对玻璃模板进行加工，在玻璃模板的一侧表面制作多个长宽尺寸分别相等且槽深相等的矩阵槽； 将多个SiC衬片分别装入多个所述矩阵槽中； 对装入SiC衬片的玻璃模板进行高温热压，使所述SiC衬片与所述玻璃模板相粘接； 冷却后，对所述玻璃模板上具有SiC衬片的一侧表面进行研磨抛光； 高温退火和清洗后得到所述复合玻璃基板。2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述将多个SiC衬片分别装入所述矩阵槽中之前，所述方法还包括: 将SiC圆片贴装在衬纸上，进行激光切割，形成多个SiC衬片；所述SiC衬片的尺寸与所述矩阵槽的内径相匹配； 在所述SiC衬片上制备方向定位标记。3.根据权利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述将多个SiC衬片分别装入多个所述矩阵槽中具体为: 将所述SiC衬片贴装在扩片衬纸上； 利用所述扩片衬纸对所述SiC衬片进行扩片操作，使扩片后的各个SiC衬片之间的间距与所述矩阵槽之间的槽间距相等； 利用针式打印方式，将所述扩片衬纸上的SiC衬片依次装入一个矩阵槽中。4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述高温退火和清洗后，所述方法还包括: 对所述复合玻璃基板进行测试。
【专利摘要】本发明涉及一种用于磊晶LED显示模组的复合玻璃基板的制造方法，包括：对玻璃模板进行加工，在玻璃模板的一侧表面制作多个长宽尺寸分别相等且槽深相等的矩阵槽；将多个SiC衬片分别装入多个所述矩阵槽中；对装入SiC衬片的玻璃模板进行高温热压，使所述SiC衬片与所述玻璃模板相粘接；冷却后，对所述玻璃模板上具有SiC衬片的一侧表面进行研磨抛光；高温退火和清洗后得到所述复合玻璃基板。
【IPC分类】H01L33/00, H01L33/48
【公开号】CN105514223
【申请号】CN201410485949
【发明人】程君, 严敏, 周鸣波
【申请人】程君, 严敏, 周鸣波
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2014年9月22日