无机膜透射波长范围的可见光；以及
[0289]通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的该无机膜抑制所述波长范围的可见光的透射。
[0290](11)根据(I)至(10)以及(12)、(13)中任一项的图像拾取设备，
[0291]其中通过被层压在该有机膜的该光入射表面上而形成的无机膜的厚度与通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的无机膜的厚度不同。
[0292](12)根据(I)至(11)以及(13)中任一项的图像拾取设备，
[0293]其中通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的该无机膜的厚度与通过被层压在该有机膜的该光入射表面上而形成的无机膜的厚度之比等于或小于透过通过被层压在该有机膜的该光入射表面上而形成的该无机膜的波长范围的下限与该波长范围的上限之比。
[0294](13)根据(I)至(12)中任一项的图像拾取设备，
[0295]其中通过被层压在该有机膜的光入射表面上而形成的该无机膜的层数不同于通过被层压在该有机膜的该侧表面上而形成的该无机膜的层数。
[0296](14) 一种图像拾取设备，包括:
[0297]图像拾取设备，其包括
[0298]光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换；
[0299]有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成；以及
[0300]无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，
[0301]该有机膜的该侧表面被倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
[0302]图像处理部，其对由该图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。
[0303 ](丨5) —种生产图像拾取设备的生产装置，包括:
[0304]光电转换设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备;
[0305]有机膜形成部，其通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面上而形成有机膜；
[0306]有机膜处理部，其处理由该有机膜形成部形成的该有机膜，同时给予该有机膜的侧表面一倾斜角，在该倾斜角下，通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
[0307]无机膜形成部，其通过将无机膜层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封该有机膜的无机膜。
[0308](16)根据(15)或(17)的生产装置，
[0309]其中该无机膜形成部在同一步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的该无机膜以及层压在该有机膜的该侧表面上的无机膜。
[0310](17)根据(15)或(16)的生产装置，
[0311]其中该无机膜形成部在不同步骤中形成层压在该有机膜的光入射表面上的该无机膜以及层压在该有机膜的该侧表面上的无机膜。
[0312](18) —种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括:
[0313]形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备；
[0314]通过将有机膜层压在该光电转换设备的光入射表面上形成该有机膜；
[0315]处理形成的该有机膜，同时给予该有机膜的侧表面一倾斜角，在该倾斜角下，通过被层压在该侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定的厚度；以及
[0316]通过将无机膜层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上形成密封该有机膜的无机膜。
[0317](19)—种生产图像拾取设备的生产装置，包括:
[0318]图像拾取设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备;
[0319]肋条形成部，其在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；
[0320]无机膜形成部，其通过将无机膜层压在其上形成有由该肋条形成部形成的该肋条的该透明层的表面上形成无机膜；
[0321]有机膜形成部，其通过将有机膜层压在由该无机膜形成部层压在该透明层上而形成的无机膜上形成有机膜；以及
[0322]结合部，其将通过被该有机膜形成部层压在该透明层上而形成的该有机膜与由该图像拾取设备形成部形成的该图像拾取设备的光入射表面相结合。
[0323](20) —种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括:
[0324]形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备；
[0325]在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条；
[0326]通过将无机膜层压在其上形成有该肋条的该透明层的表面上形成无机膜；
[0327]通过将有机膜层压在因被层压在该透明层上而形成的该无机膜上形成有机膜；以及
[0328]将通过被层压在该透明层上而形成的该有机膜与所形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
[0329]附图标记说明
[0330]100附着有有机膜的图像拾取设备[0331 ] 101图像拾取设备
[0332]102红外截止滤波器
[0333]103防潮膜
[0334]111平整膜
[0335]124透明层
[0336]125肋条
[0337]142电极
[0338]143防潮膜
[0339]200生产装置
[0340]201控制部
[0341]202生产部
[0342]231光电二极管形成部
[0343]232布线层形成部
[0344]233遮光膜形成部
[0345]234平整膜形成部
[0346]235滤波器形成部
[0347]236会聚透镜形成部
[0348]241有机膜形成部
[0349]242有机膜处理部
[0350]243无机膜形成部
[0351]244切割部
[0352]251上表面无机膜形成部
[0353]252侧表面无机膜形成部
[0354]261肋条形成部
[0355]262无机膜形成部
[0356]263有机膜形成部
[0357]264胶施加部
[0358]265结合部
[0359]266布线形成部
[0360]267切割部
[0361]600图像拾取设备
[0362]612CMOS传感器
【主权项】
1.一种图像拾取设备，包括: 光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换； 有机膜，其通过被层压在所述光电转换设备的光入射表面侧上而形成；以及 无机膜，其通过被层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封所述有机膜， 所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为预定的厚度。2.根据权利要求1所述的图像拾取设备，其中: 所述无机膜为保护膜，其抑制湿气或氧或它们两者的渗入；以及 所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为能够借以获得作为所述保护膜的足够效果的厚度。3.根据权利要求2所述的图像拾取设备， 其中，在所述有机膜的周边部分中，所述无机膜进一步通过被层压在与所述有机膜的与所述光入射表面相对的表面接触的层上，或是被层压在更多地形成于所述光入射表面的对侧的层上，而非与所述有机膜的与所述光入射表面相对的表面接触的层上而形成。4.根据权利要求3所述的图像拾取设备，还包括: 肋条，其通过被层压在所述无机膜的光入射表面上而形成。5.根据权利要求4所述的图像拾取设备，进一步包括: 透明层，其由玻璃或树脂形成，且通过被层压在所述无机膜的光入射表面和所述肋条上而形成。6.根据权利要求1所述的图像拾取设备， 其中所述无机膜还进一步通过被层压在所述有机膜的与所述光入射表面相对的表面上而形成。7.根据权利要求1所述的图像拾取设备，其中: 形成所述无机膜，使得构造出具有不同折射率的多个层；以及 所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为透射预定波长范围的入射光的厚度，或是成为抑制所述预定波长范围的入射光的透射的厚度。8.根据权利要求7所述的图像拾取设备， 其中通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的透射波长特性不同于通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的无机膜的透射波长特性。9.根据权利要求8所述的图像拾取设备，其中: 通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的无机膜透射由所述光电转换设备进行光电转换的波长范围；以及 通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的无机膜抑制由所述光电转换设备进行光电转换的所述波长范围的透射。10.根据权利要求8所述的图像拾取设备，其中: 通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的无机膜透射波长范围的可见光；以及 通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的无机膜抑制所述波长范围的可见光的透射。11.根据权利要求7所述的图像拾取设备，其中通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的厚度与通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度不同。12.根据权利要求11所述的图像拾取设备，其中通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度与通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的厚度之比等于或小于透过通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的波长范围的下限与所述波长范围的上限之比。13.根据权利要求7所述的图像拾取设备，其中通过被层压在所述有机膜的光入射表面上而形成的所述无机膜的层数不同于通过被层压在所述有机膜的所述侧表面上而形成的所述无机膜的层数。14.一种图像拾取装置，包括: 图像拾取设备，其包括 光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换； 有机膜，其通过被层压在所述光电转换设备的光入射表面侧而形成；以及无机膜，其通过被层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封所述有机膜， 所述有机膜的所述侧表面被倾斜一角度，在所述角度下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为预定的厚度；以及 图像处理部，其对由所述图像拾取设备获得的拾取图像数据进行图像处理。15.—种生产图像拾取设备的生产装置，包括: 光电转换设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备； 有机膜形成部，其通过将有机膜层压在所述光电转换设备的光入射表面上而形成有机膜； 有机膜处理部，其处理由所述有机膜形成部形成的所述有机膜，同时给予所述有机膜的侧表面一倾斜角，在所述倾斜角下，通过被层压在所述侧表面上而形成的无机膜的厚度成为预定的厚度；以及 无机膜形成部，其通过将无机膜层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上而形成密封所述有机膜的所述无机膜。16.根据权利要求15所述的生产装置， 其中所述无机膜形成部在同一步骤中形成层压在所述有机膜的光入射表面上的所述无机膜以及层压在所述有机膜的所述侧表面上的所述无机膜。17.根据权利要求15所述的生产装置， 其中所述无机膜形成部在不同步骤中形成层压在所述有机膜的光入射表面上的所述无机膜以及层压在所述有机膜的所述侧表面上的所述无机膜。18.—种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括: 形成对从外部进入的入射光进行光电转换的光电转换设备； 通过将有机膜层压在所述光电转换设备的光入射表面上形成所述有机膜； 处理形成的所述有机膜，同时给予所述有机膜的侧表面一倾斜角，在所述倾斜角下，通过被层压在所述侧表面上而形成的所述无机膜的厚度成为预定的厚度；以及 通过将无机膜层压在所述有机膜的光入射表面和侧表面上形成密封所述有机膜的无机膜。19.一种生产图像拾取设备的生产装置，包括: 图像拾取设备形成部，其形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备； 肋条形成部，其在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条； 无机膜形成部，其通过将无机膜层压在其上形成有由所述肋条形成部形成的所述肋条的所述透明层的表面上形成无机膜； 有机膜形成部，其通过将有机膜层压在由所述无机膜形成部层压在所述透明层上而形成的无机膜上形成有机膜；以及 结合部，其将通过被所述有机膜形成部层压在所述透明层上而形成的所述有机膜与由所述图像拾取设备形成部形成的所述图像拾取设备的光入射表面相结合。20.—种用于生产图像拾取设备的生产装置的生产方法，包括: 形成对从外部进入的入射光进行光电转换的图像拾取设备； 在由玻璃或树脂形成的透明层上形成肋条； 通过将无机膜层压在其上形成有所述肋条的所述透明层的表面上形成无机膜； 通过将有机膜层压在因被层压在所述透明层上而形成的所述无机膜上形成有机膜；以及 将通过被层压在所述透明层上而形成的所述有机膜与所形成的图像拾取设备的光入射表面相结合。
【专利摘要】本公开涉及图像拾取设备、图像拾取装置、以及生产装置和方法，凭借该生产装置和方法，可以改善对有机膜的保护性能。根据本公开的图像拾取设备包括：光电转换设备，其对从外部进入的入射光进行光电转换，有机膜，其通过被层压在该光电转换设备的光入射表面侧而形成，以及无机膜，其通过被层压在该有机膜的光入射表面和侧表面上而形成，且密封该有机膜，该有机膜的该侧表面倾斜一角度，在该角度下，通过被层压在该侧表面上而形成的该无机膜的厚度成为预定的厚度。本公开可应用于图像拾取设备、图像拾取装置、图像拾取设备的生产装置，等等。
【IPC分类】H04N5/374, H01L27/14, H01L31/02
【公开号】CN105556671
【申请号】CN201480046376
【发明人】岩崎正则
【申请人】索尼公司
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2014年8月15日
【公告号】WO2015029799A1