包括射频识别标签的半导体器件的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及包括射频识别(RFID)标签的半导体器件。此外，本发明涉及制造和操作这样的器件的方法。
【背景技术】
[0002]半导体组件可以包括可以使用标识号来标识的多个半导体器件。可能期望的是，从半导体器件的制造到关联的半导体组件的最终组装(而且在半导体组件的使用期期间)识别并且追踪半导体器件。可以使用光学标记(比如像数据矩阵(DMX)码)来显示半导体器件的标识号。这些标记需要被布置成可见的，以便提供可以由光学标记编码的显示信息。
【附图说明】
[0003]附图被包含来提供对多个方面的进一步理解，并且并入且构成了本说明书的一部分。图中图示了多个方面并且连同说明书一起用来阐明多个方面的原理。随着它们通过参考以下详细说明而被更好地理解，其他方面以及多个方面的许多意图优点将是容易被认识到的。附图的元素不必须相对于彼此成比例。类似的附图标记可以指定对应的相似部分。
[0004]图1图示了根据本公开内容的器件100的示意图。
[0005]图2示意性地图示了根据本公开内容的另一器件200的截面图。
[0006]图3示意性地图示了根据本公开内容的另一器件300的截面图。
[0007]图4示意性地图示了根据本公开内容的另一器件400的截面图。
[0008]图5图示了根据本公开内容的另一器件500的透视图。
[0009]图6是用于操作根据本公开内容的器件的方法600的框图。
[0010]图7示意性地图示了用于执行根据本公开内容的方法的系统700。
【具体实施方式】
[0011]在以下详细说明中，对附图进行参考。附图以图示的方式示出了可以在其中实践本发明的特定方面。对此，诸如“顶部”、“底部”、“前”、“后”等方向性术语可以参考所描述的图的取向来使用。由于所描述的器件的组件是以多个不同的取向被定位的，所以方向性术语可以用于说明的目的，而绝不是限制性的。在不脱离本发明的概念的情况下，可以使用其他方面并且可以做出结构上或逻辑上的改变。因此，以下详细说明不以限制性意义来理解，并且本发明的概念由随附的权利要求来限定。
[0012]如在本说明书中采用的，术语“连接”、“耦合”、“电连接”和/或“电耦合”不打算必然意味着元件必须直接连接或耦合在一起。可以在“连接”、“耦合”、“电连接”或“电耦合”的元件之间提供中间元件。
[0013]另外，关于例如形成于或位于对象的表面“上”的材料层而使用的词语“在……上”在本文中可以被用来意味着材料层可以“直接”位于(例如，形成、沉积等等)所暗示的表面“上”(例如直接与之接触)。关于例如形成于或位于表面“上”的材料层而使用的词语“在……上”在本文中也可以被用来意味着材料层可以“间接”位于(例如，形成、沉积等等)所暗示的表面“上”，其中例如在所暗示的表面与材料层之间布置了一个或多个附加层。
[0014]本文描述了器件和用于制造器件的方法。结合所描述的器件进行的评注对于对应的方法可以同样适用，并且反之亦然。例如，如果描述了器件的特定组件，则对应的制造器件的方法可以包括以合适的方式提供该组件的动作，即使这样的动作没有在图中被明确地描述或图示。此外，除非另外具体注明，否则本文中描述的各个方面和示例的特征可以彼此组合。
[0015]本文描述的器件和方法可以基于射频识别(RFID)技术。RFID技术可以包括无线使用电磁辐射来传递数据以识别、跟踪和/或追踪可以附着到器件或包含在器件中的RFID标签。为此目的，RFID标签可以包括电存储的信息。在一个示例中，RFID标签可以由来自电磁场的电磁感应来供电，所述电磁场可以是在RFID读取器附近或者由RFID读取器产生。RFID标签可以从询问无线电波收集能量并且可以使用该能量来生成和发送射频信号形式的响应。这样的RFID标签可以称作无源RFID标签。在另一示例中，RFID标签可以由诸如像电池这样的电源供电，并且可以称作有源RFID标签。注意，本文描述的器件和方法可以优选地基于无源RFID标签。与光学标记相比，RFID标签不需要必然被布置在RFID读取器的视线内。相反，RFID标签也可以被嵌入或包封在要识别、跟踪和/或追踪的器件内。
[0016]本文描述的器件可以包括一个或多个RFID标签，所述一个或多个RFID标签可以是RFID系统的一部分。RFID系统可以包括附着到要识别、跟踪和/或追踪的对象的RFID标签。此外，RFID系统可以包括双向无线电收发机，其可以向RFID标签发送无线电信号并读取其响应。这样的收发机可以称作RFID读取器或询问器。
[0017]通常，RFID标签可以是无源的、有源的或者电池辅助无源的。有源RFID标签可以例如包括板上电池，并且可以周期性地发送标识信号，所述标识信号被配置成标识RFID标签以及因此与RFID标签关联的器件。电池辅助无源RFID标签可以例如包括板上电池，并且可以在存在RFID读取器的情况下被激活。无源RFID标签可以特别地不包括电源，但是可以从外部辐射汲取操作所需的能量。
[0018]在一个示例中，RFID标签可以是至少部分地只读的。RFID标签的这样的部分可以提供标识号，所述标识号可以是只读的并且被用作进入数据库的密钥。标识号可以被配置成唯一地标识RFID标签以及因此与RFID标签关联的器件。这里，可能合理的是，确保标识号不被任何境况改变。在另一示例中，RFID标签可以是至少部分地读/写的。也就是说，可以例如由RFID系统将数据写入RFID标签的存储器。
[0019]RFID标签可以包括用于存储和处理信息的集成电路。此外，集成电路可以被配置成调制和解调射频信号并且还从可能已从RFID读取器接收到的射频信号收集电力。RFID标签还可以包括天线，所述天线被配置成接收和发送射频信号。在一个示例中，RFID标签和天线可以被包括(或集成)在单一芯片中。另外，RFID标签可以包括被配置成存储数据的存储器。RFID标签的存储器可以包括只读存储器和/或读/写存储器。在一个示例中，存储器可以是至少部分地非易失性的。RFID标签还可以包括被配置成处理数据的芯片接线逻辑或已编程的或可编程的数据处理器。
[0020]RFID系统可以包括RFID读取器。在一个示例中，RFID读取器可以是无源的，即，RFID读取器可以仅从有源RFID标签接收无线电信号。在另一示例中，RFID读取器可以是有源的，即，RFID读取器可以被配置成发送询问器信号并接收来自无源RFID标签的回复。RFID读取器可以包括双向无线电收发机，所述双向无线电收发机被配置成向RFID标签发送无线电信号并读取RFID标签的响应。
[0021]在RFID系统的操作期间，RFID读取器可以发送(可能地，已编码的)无线电信号来询问RFID标签。RFID标签可以接收RFID读取器的请求并且可以通过发送响应数据来响应。也就是说，RFID标签可以被配置成以无接触方式，具体地经由近场无接触通信链路，向RFID读取器提供信息。这样的响应数据可以例如包括标识了 RFID标签以及进一步信息的数据。响应数据可以仅表示唯一标签序列号，或者可以是关于产品的信息，比如货号、组或批号、生产日期或如在以下指定的