横向双扩散场效应管的制作方法
【专利摘要】一种横向双扩散场效应管，对单个元胞中的源极结构部分加入多于一个的栅极沟槽结构，并从该栅极沟槽结构引出栅极引出端作为栅电极，因而当在栅电极加上一定电压时，沟槽两侧的栅绝缘层与第一导电类型阱都形成反型层，即导电沟道；当漏极结构(第二导电类型漏极掺杂区)上有电压时，导电沟道中有电流流过。如果栅极沟槽结构的个数为N个，则电流流过的导电沟道就有2N个，较之传统的LDMOS的单个元胞结构中电流密度显著增加，从而可以在多元胞结构下总体提高了单个器件的电流密度。因而，在同样的工作电流下，上述横向双扩散场效应管因为单个元胞结构更大的工作电流使得器件面积小、导通电阻小。
【专利说明】
横向双扩散场效应管
技术领域
[0001]本发明涉及半导体器件技术领域，特别涉及一种横向双扩散场效应管。【背景技术】
[0002]功率场效应管主要包括垂直双扩散场效应管(Vertical Double-Diffused MOSFET，VDM0S)和横向双扩散场效应管(Lateral Double-Diffused MOSFET，LDM0S)两种类型。其中，相较于垂直双扩散场效应管VDM0S，横向双扩散场效应管LDM0S具有诸多优点， 例如，后者具有更好的热稳定性和频率稳定性、更高的增益和耐久性、更低的反馈电容和热阻，以及恒定的输入阻抗和更简单的偏流电路。
[0003]传统的LDM0S器件，器件的导电沟道和漂移区都为横向，所以在器件正向导通时， 载流子通过器件表面的漂移而运动；反向耐压时，从漏端沿着器件表面漂移区耗尽。电流只能通过横向漂移到另一端，载流子的注入均集中在表面，因此这样的单个器件在导通时的工作电流就很小。为了达到更高的工作电流，将漂移区设计得很长，器件的尺寸也随之拉长，这样导致器件面积很大，同时导致器件的导通电阻变大，器件的开关特性也随之减弱。
【发明内容】
[0004]基于传统LDM0S器件面积大、导通电阻大至少其中一种缺点，有必要提供一种横向双扩散场效应管，该横向双扩散场效应管具有工作电流大、器件面积小、导通电阻小的优点。
[0005]—种横向双扩散场效应管，包括:
[0006]第一导电类型衬底；
[0007]绝缘层，形成于所述第一导电类型衬底上；
[0008]第二导电类型外延层，形成于所述绝缘层上；
[0009]场氧化层结构，形成于所述第二导电类型外延层上；
[0010]第一导电类型阱，形成于所述第二导电类型外延层上，且位于所述场氧化层结构的一侧；
[0011]多于一个的栅极沟槽结构，所述多于一个的沟槽栅结构分开穿插设置在所述第一导电类型阱中，所述栅极沟槽结构的槽底延伸至所述第二导电类型外延层；所述栅极沟槽结构包括沟槽和填充于所述沟槽内的导电材料，所述沟槽内的表面还形成有栅绝缘层；
[0012]第二导电类型源极掺杂区，形成于各所述栅极沟槽结构两侧的所述第一导电类型阱的表层上；
[0013]第一导电类型源极掺杂区，形成于所述第二导电类型掺杂区远离所述栅极沟槽结构一侧的所述第一导电类型阱的表层上；
[0014]第二导电类型漏极掺杂区，形成于所述第二导电类型外延层上，且位于所述场氧化层结构异于所述第一导电类型阱一侧的一侧；
[0015]栅极引出端，所述栅极引出端与所述沟槽内的导电材料电连接；
[0016]源极引出端，所述源极引出端与第二导电类型源极掺杂区、第一导电类型源极掺杂区电连接；
[0017]及漏极引出端，所述漏极引出端与所述第二导电类型漏极掺杂区电连接。
[0018]在其中一个实施例中:
[0019]所述第一导电类型为P型，所述第二导电类型为N型。
[0020]在其中一个实施例中:[0021 ]所述第一导电类型衬底为P+型衬底，所述第二导电类型外延层为N-型外延层；所述第一导电类型阱为P-型阱，所述第二导电类型源极掺杂区为N+源极掺杂区，所述第一导电类型源极掺杂区为P+源极掺杂区；所述第二导电类型漏极掺杂区为n+型漏极掺杂区。
[0022]在其中一个实施例中:
[0023]还包括第二导电类型阱，形成于所述第二导电类型外延层上，且位于所述场氧化层结构异于所述第一导电类型阱一侧的一侧；所述第二导电类型漏极掺杂区形成于所述第二导电类型阱的表层上；
[0024]在其中一个实施例中:
[0025]还包括导电材料结构，所述导电材料结构形成于所述场氧化层结构上靠近所述第二导电类型漏极掺杂区的一端；所述漏极引出端还与所述导电材料结构电连接。
[0026]在其中一个实施例中:
[0027]还包括第一导电类型嵌入区，所述第一导电类型嵌入区形成于所述第一导电类型源极掺杂区与所述第一导电类型阱之间，使得所述第一导电类型源极掺杂区与所述第一导电类型阱之间隔绝；所述第一导电类型嵌入区为P型嵌入区。
[0028]在其中一个实施例中:
[0029]还包括第二导电类型嵌入区，所述第二导电类型嵌入区形成于所述栅极沟槽结构的槽底和第二导电类型外延层交接之处；所述第二导电类型嵌入区为N型嵌入区。
[0030]在其中一个实施例中，所述第一导电类型衬底的材料和第二导电类型外延层的材料为硅、碳化硅、砷化镓、磷化铟或锗硅。
[0031]在其中一个实施例中，所述绝缘层、场氧化层和栅绝缘层的材料均为硅的氧化物。
[0032]在其中一个实施例中，所述导电材料为多晶硅。
[0033]上述横向双扩散场效应管，对单个元胞中的源极结构部分加入多于一个的栅极沟槽结构，并从该栅极沟槽结构引出栅极引出端作为栅电极，因而当在栅电极加上一定电压时，沟槽两侧的栅绝缘层与第一导电类型阱都形成反型层，即导电沟道；当漏极结构(第二导电类型漏极掺杂区)上有电压时，导电沟道中有电流流过。如果栅极沟槽结构的个数为N 个，则电流流过的导电沟道就有2N个，较之传统的LDM0S的单个元胞结构中电流密度显著增加，从而可以在多元胞结构下总体提高了单个器件的电流密度。因而，在同样的工作电流下，上述横向双扩散场效应管因为单个元胞结构更大的工作电流使得器件面积小、导通电阻小。而在同样的器件面积下，上述横向双扩散场效应管则拥有更大的工作电流。【附图说明】
[0034]图1是第一实施例横向双扩散场效应管的结构示意图；
[0035]图2是栅极沟槽结构的结构示意图；
[0036]图3是第二实施例横向双扩散场效应管的结构示意图；
[0037]图4是第三实施例横向双扩散场效应管的结构示意图；
[0038]图5是第四实施例横向双扩散场效应管的结构示意图；
[0039]图6是第五实施例横向双扩散场效应管的结构示意图。【具体实施方式】
[0040]为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
[0041]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0042]本文所引用的半导体领域词汇为本领域技术人员常用的技术词汇，例如对于P型和N型杂质，为区分掺杂浓度，简易的将P+型代表重掺杂浓度的P型，P型代表中掺杂浓度的P型，P-型代表轻掺杂浓度的P型，N+型代表重掺杂浓度的N型，N型代表中掺杂浓度的 N型，N-型代表轻掺杂浓度的N型。
[0043]下面结合附图，对本发明的【具体实施方式】进行详细描述。以下描述中，第一导电类型为P型，第二导电类型为N型。
[0044]图1是第一实施例横向双扩散场效应管的结构示意图。
[0045]第一实施例:
[0046]—种横向双扩散场效应管，包括:第一导电类型衬底100、绝缘层200、第二导电类型外延层300、场氧化层结构400、第一导电类型阱500、栅极沟槽结构600、第一导电类型源极掺杂区710、第二导电类型源极掺杂区720、第二导电类型漏极掺杂区910、栅极引出端 10、源极引出端20和漏极引出端30。
[0047]第一导电类型衬底100的材料为硅、碳化硅、砷化镓、磷化铟或锗硅，第一导电类型衬底为P+型衬底(psub)。
[0048]绝缘层200形成于第一导电类型衬底100上，绝缘层的材料为硅的氧化物，可以是二氧化硅。绝缘层200从功能上而言为埋氧层。由于绝缘层200的阻隔作用，第一导电类型衬底100对器件影响不大，因而第一导电类型衬底100可以是重掺杂的(P+)。
[0049]第二导电类型外延层300形成于绝缘层200上，第二导电类型外延层300为N-型外延层。第二导电类型外延层300作为漂移区，具有的导电类型与第一导电类型衬底100 相反。第二导电类型外延层300的材料为硅、碳化硅、砷化镓、磷化铟或锗硅。
[0050]场氧化层结构400形成于第二导电类型外延层300上，场氧化层结构400的材料为硅的氧化物，可以是二氧化硅。场氧化层结构400主要用于分隔源极结构和漏极结构。 [0051 ]第一导电类型阱500形成于第二导电类型外延层300上，且位于场氧化层结构400的一侧。第一导电类型阱为P-型阱，作为源极结构缓冲区域，对器件导通空穴注入和耐压起一定作用。
[0052]多于一个的沟槽栅结构600分开穿插设置在第一导电类型阱500中，栅极沟槽结构600的槽底延伸至第二导电类型外延层300。栅极沟槽结构600包括沟槽610和填充于沟槽内的导电材料620,沟槽610内的表面还形成有栅绝缘层630。导电材料620为多晶硅， 栅绝缘层630的材料为硅的氧化物，可以是二氧化硅。栅极引出端10与沟槽610内的导电材料620电连接，栅极引出端10就是栅极接触电极。
[0053]图2是栅极沟槽结构的结构示意图。
[0054]将栅极以沟槽的形式埋入第一导电类型阱500中，因而当在栅电极(栅极引出端 10)加上一定电压时，沟槽610内两侧的栅绝缘层630与第一导电类型阱500都形成反型层，即导电沟道；当漏极结构(第二导电类型漏极掺杂区910)上有电压时，导电沟道中有电流流过。如果栅极沟槽结构600的个数为N个，则电流流过的导电沟道就有2N个，较之传统的单沟道S01-LIGBT的单个元胞结构中电流密度显著增加，从而可以在多元胞结构下总体提高了单个器件的电流密度。因而，在同样的工作电流下，单个元胞结构更大的工作电流可以使得器件面积小、导通压降小。而在同样的器件面积下，可以使得上述横向双扩散场效应管则拥有更大的工作电流。
[0055]第二导电类型源极掺杂区720形成于各栅极沟槽结构600两侧的第一导电类型阱 500的表层上。第二导电类型源极掺杂区720为N+源极掺杂区，被第一导电类型阱500包住。
[0056]第一导电类型源极掺杂区710形成于第二导电类型掺杂区720远离栅极沟槽结构 600 —侧的第一导电类型阱500的表层上。第一导电类型源极掺杂区为P+源极掺杂区，同样被第一导电类型阱500包住。即从栅极沟槽结构600两边延伸，依次分别是第二导电类型源极掺杂区720、第一导电类型源极掺杂区710。
[0057]源极引出端20与第二导电类型源极掺杂区720、第一导电类型源极掺杂区710电连接，源极引出端20就是源极接触电极。
[0058]第二导电类型漏极掺杂区910形成于第二导电类型外延层300上，且位于场氧化层结构400异于第一导电类型阱500 —侧的一侧。第二导电类型漏极掺杂区910为n+型漏极掺杂区。即场氧化层结构400的一侧为第一导电类型阱500,另一侧为第二导电类型漏极掺杂区910。
[0059]漏极引出端30与第二导电类型漏极掺杂区910电连接，漏极引出端30就是漏极接触电极。
[0060]栅极引出端10、源极引出端20和漏极引出端30通常由导电材料形成，例如铜、铝、 铝硅合金、钛、氮化钛、钨、多晶硅、金属硅化物等，可以通过物理/化学气相沉积形成。
[0061]在实现的原材料使用是以埋氧层(绝缘层200)为中间层的三明治结构，即SOI结构，也可以是绝缘衬底(第一导电类型衬底100)加顶层单晶硅(第二导电类型外延层300) 的双层材料。在SOI结构制作器件时，仅使用顶层的硅层(第二导电类型外延层300)来作为器件制作层，即形成源、漏、沟道区等结构，衬底(第一导电类型衬底100)仅起支撑作用， 这种结构中的埋氧层与衬底在电学上实现了隔离开，且在器件与器件之间再加以介质型隔离结构，就可以实现整个器件的完全隔离。
[0062]在原始材料中，顶层硅(第二导电类型外延层300)需要具有一定的厚度，要厚于沟槽栅结构600的深度，这样可以使沟槽栅结构600到埋氧层(绝缘层200)之间有足够大的距离，使得电子的流通路径更为宽阔，而使得在导通状态下的开态电阻更小，同时也使得在反向耐压时电场的分布更加均匀。
[0063]图3是第二实施例横向双扩散场效应管的结构示意图。
[0064]第二实施例:
[0065]与第一实施例不同之处在于，还包括第二导电类型阱800。第二导电类型阱800形成于第二导电类型外延层300上，且位于场氧化层结构400异于第一导电类型阱500 —侧的一侧。第二导电类型阱为N型阱，属于中掺杂浓度。即场氧化层结构400的一侧为第一导电类型阱500,另一侧为第二导电类型阱800。
[0066]这种结构下，第二导电类型漏极掺杂区910形成于第二导电类型阱800的表层上。 第二导电类型漏极掺杂区910为n+型漏极掺杂区，被第二导电类型阱800包住。
[0067]第二导电类型阱800的作用是将漏极结构周围的漂移区浓度提高，当器件反向耐压时，保护漏端结构的第二导电类型漏极掺杂区910不被耗尽，通过调整第二导电类型阱 800的注入剂量可以保证在纵向完全耗尽时横向还有余量，这样就可以保证该器件纵向击穿可以从表面移至体内，同时也降低了漏端漂移区的导通电阻。
[0068]图4是第三实施例横向双扩散场效应管的结构示意图
[0069]第三实施例:
[0070]与第一实施例不同之处在于，还包括导电材料结构40。导电材料结构40形成于场氧化层结构400上靠近第二导电类型漏极掺杂区910的一端。漏极引出端30还与导电材料结构40电连接。导电材料结构的材料可以是多晶硅。
[0071]当器件在反向耐压时，导电材料结构40与漏极结构上有相同的电位，使得氧化层结构400的电位从漏极结构至源极结构有一个近似于线性的变化，漂移区(第二导电类型外延层300)内的电场分布也随之近似一个线性的变化，这样可以辅助漂移区进行耗尽，让反向耗尽的速率能保持均匀，当漂移区的浓度略大时不会产生局部的电场线聚集而出现峰值电场。如此可以适当提高漂移区的浓度来降低导通压降而不改变击穿电压和击穿点。
[0072]图5是第四实施例横向双扩散场效应管的结构示意图
[0073]第四实施例:
[0074]与第一实施例不同之处在于，还包括第一导电类型嵌入区730。第一导电类型嵌入区730为P型掺杂区，属于中掺杂浓度。第一导电类型嵌入区730形成于第一导电类型源极掺杂区710与第一导电类型阱500之间，也即第一导电类型嵌入区730将第一导电类型源极掺杂区710包住，使得第一导电类型源极掺杂区710与第一导电类型阱500之间隔绝。
[0075]当器件导通时，源端结构下方有一个寄生NPN三极管，当满足三极管的基极少子可以渡越的条件后，可能会使得此三极管开启，这样会使得器件在开启阶段发生失效。在第一导电类型源极掺杂区710下方加一个P型掺杂区，可以提高NPN管的基区浓度，少子寿命减小而无法渡越到发射极，这样就有效地避免了源端寄生三极管开启的现象。
[0076]图6是第五实施例横向双扩散场效应管的结构不意图
[0077]第五实施例:
[0078]与第一实施例不同之处在于，还包括第二导电类型嵌入区740。第二导电类型嵌入区740为N型嵌入区，属于中掺杂浓度。第二导电类型嵌入区740形成于栅极沟槽结构 600的槽底和第二导电类型外延层(漂移区)300交接之处，也即第二导电类型嵌入区740将栅极沟槽结构600的槽底包住，使得纵向导电沟道下方的N型载流子浓度变大。当器件正向导通时，电子通过导电沟道后，由于这片区域的载流子浓度较大，导通电阻明显减小， 电流密度显著增强。调整好栅极沟槽结构600的深度和第二导电类型嵌入区740的杂质浓度之后，可以使器件横向击穿电压和漂移区导通电阻得到最合理的折中。当横向击穿电压大于纵向击穿电压时，击穿点仍在体内。
[0079]上述横向双扩散场效应管，对单个元胞中的源极结构部分加入多于一个的栅极沟槽结构，并从该栅极沟槽结构引出栅极引出端作为栅电极，因而当在栅电极加上一定电压时，沟槽两侧的栅绝缘层与第一导电类型阱都形成反型层，即导电沟道。当漏极结构(第二导电类型漏极掺杂区)上有电压时，导电沟道中有电流流过。如果栅极沟槽结构的个数为N 个，则电流流过的导电沟道就有2N个，较之传统的单沟道LDM0S的单个元胞结构中电流密度显著增加，从而可以在多元胞结构下总体提高了单个器件的电流密度。因而，在同样的工作电流下，上述横向双扩散场效应管因为单个元胞结构更大的工作电流使得器件面积小、 导通压降小。而在同样的器件面积下，上述横向双扩散场效应管则拥有更大的工作电流。
[0080]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种横向双扩散场效应管，其特征在于，包括:第一导电类型衬底；绝缘层，形成于所述第一导电类型衬底上；第二导电类型外延层，形成于所述绝缘层上；场氧化层结构，形成于所述第二导电类型外延层上；第一导电类型阱，形成于所述第二导电类型外延层上，且位于所述场氧化层结构的一 侧；多于一个的栅极沟槽结构，所述多于一个的沟槽栅结构分开穿插设置在所述第一导电 类型阱中，所述栅极沟槽结构的槽底延伸至所述第二导电类型外延层；所述栅极沟槽结构 包括沟槽和填充于所述沟槽内的导电材料，所述沟槽内的表面还形成有栅绝缘层；第二导电类型源极掺杂区，形成于各所述栅极沟槽结构两侧的所述第一导电类型阱的 表层上；第一导电类型源极掺杂区，形成于所述第二导电类型掺杂区远离所述栅极沟槽结构一 侧的所述第一导电类型阱的表层上；第二导电类型漏极掺杂区，形成于所述第二导电类型外延层上，且位于所述场氧化层 结构异于所述第一导电类型阱一侧的一侧；栅极引出端，所述栅极引出端与所述沟槽内的导电材料电连接；源极引出端，所述源极引出端与第二导电类型源极掺杂区、第一导电类型源极掺杂区 电连接；及漏极引出端，所述漏极引出端与所述第二导电类型漏极掺杂区电连接。2.根据权利要求1所述的横向双扩散场效应管，其特征在于:所述第一导电类型为P型，所述第二导电类型为N型。3.根据权利要求2所述的横向双扩散场效应管，其特征在于:所述第一导电类型衬底为P+型衬底，所述第二导电类型外延层为N-型外延层；所述第 一导电类型阱为P-型阱，所述第二导电类型源极掺杂区为N+源极掺杂区，所述第一导电类 型源极掺杂区为P+源极掺杂区；所述第二导电类型漏极掺杂区为n+型漏极掺杂区。4.根据权利要求3所述的横向双扩散场效应管，其特征在于:还包括第二导电类型阱，形成于所述第二导电类型外延层上，且位于所述场氧化层结 构异于所述第一导电类型阱一侧的一侧；所述第二导电类型漏极掺杂区形成于所述第二导 电类型阱的表层上。5.根据权利要求3所述的横向双扩散场效应管，其特征在于:还包括导电材料结构，所述导电材料结构形成于所述场氧化层结构上靠近所述第二导 电类型漏极掺杂区的一端；所述漏极引出端还与所述导电材料结构电连接。6.根据权利要求3所述的横向双扩散场效应管，其特征在于:还包括第一导电类型嵌入区，所述第一导电类型嵌入区形成于所述第一导电类型源极 掺杂区与所述第一导电类型阱之间，使得所述第一导电类型源极掺杂区与所述第一导电类 型阱之间隔绝；所述第一导电类型嵌入区为P型嵌入区。7.根据权利要求3所述的横向双扩散场效应管，其特征在于:还包括第二导电类型嵌入区，所述第二导电类型嵌入区形成于所述栅极沟槽结构的槽底和第二导电类型外延层交接之处；所述第二导电类型嵌入区为N型嵌入区。8.根据权利要求1?7任一项所述的横向双扩散场效应管，其特征在于，所述第一导电 类型衬底的材料和第二导电类型外延层的材料为硅、碳化硅、砷化镓、磷化铟或锗硅。9.根据权利要求1?7任一项所述的横向双扩散场效应管，其特征在于，所述绝缘层、 场氧化层和栅绝缘层的材料均为硅的氧化物。10.根据权利要求1?7任一项所述的横向双扩散场效应管，其特征在于，所述导电材 料为多晶娃。
【文档编号】H01L29/08GK105990423SQ201510054806
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2015年2月2日
【发明人】顾炎, 苏巍, 张森
【申请人】无锡华润上华半导体有限公司