阀杆的制作方法
【专利摘要】用于真空阀的阀杆（12），该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件（5）的第一连接区域（40）并且带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域（41），其中，阀杆（12）至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）。
【专利说明】阀杆
[0001]本发明涉及用于真空阀的阀杆，其带有用于真空阀的闭锁器件的第一连接区域和带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域。此外，本发明也涉及真空阀。
[0002]例如从DE 10 2008 049 353 Al中已知这种类型的阀杆。一方面，在这样的阀杆处连接有所述闭锁器件。另一方面，阀杆与(无论如何所述类型(geartet)的)阀驱动装置处于连接中，该阀驱动装置用于:将闭锁器件在至少一个打开位置和至少一个闭合部位之间一般地往复地调节。所述阀杆由此用于将闭锁器件与阀驱动装置相连。在大多情况下，在真空阀中，闭锁器件位于真空区域中，而阀驱动装置常常布置在一般处于正常压力下的其它的区域中。为了彼此相对地密封此两个区域，在现有技术中常常采用波纹管或其它的用于阀杆的导通部。
[0003]在真空阀的改进设计的过程中，存在基本的必要性是，适应越来越小的结构空间。本发明的任务在于，如此程度地改善用于真空阀的阀杆，使得该阀杆需要尽可能少的结构空间。
[0004]为了解决该问题，本发明设置的是，阀杆至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料。
[0005]由此设置的是，考虑用于构造所述阀杆的带有如此高的刚度和硬度的材料，正如到目前为止在真空阀区域中未被考虑的材料那样。在此要考虑的是，真空技术被采用作为用于制造高敏感的、首先电子的和光学的构件的纯净室技术。在这些工作范围中，常常重要的是，要避免过程腔和过程大气的即便最小的脏污。出于这些原因，到目前为止对真空阀始终采用由特种钢等制成的阀杆。新建议的带有至少250千兆帕斯卡、优选至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料比到目前为止为阀杆所采用的材料明显更硬以及还有更脆。对于本领域技术人员意外的是，相应的材料能够在纯净室条件下进行应用，正如该纯净室条件对于用于真空阀的阀杆而言是必要的那样。但是，通过这些很刚性的材料可行的是，将阀杆比到目前为止的明显更细长地构造，从而总体上能够节省在构造真空阀时的结构空间，而在此不降低在借助闭锁器件进行的阀口的闭锁时的抗压强度。
[0006]优选地，带有至少250千兆帕斯卡、优选至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料指的是陶瓷或硬金属。作为用于技术方面合适的陶瓷的示例，能够提到氧化铝(A1203)、碳化硅(SiC)、氮化硅(Si3N4)和氧化锆(Zr02)。这些陶瓷能够借助烧结、反应化合、热压和/或热等静压等进行处理并且成形到相应所需的固体中。相应于合适的陶瓷的弹性模量常常位于250千兆帕斯卡至500千兆帕斯卡的范围中。优选地，它指的是所谓的高性能陶瓷，其在DINV ENV 12212中也定义为高度开发的、高性能的陶瓷材料，该陶瓷材料大多数非金属且无机并且拥有特定的针对性的特性。就此而论，要指出的是，合适的陶瓷在这种意义中也能够具有金属的成分、尤其是碳化物。
[0007]作为对陶瓷的替代方案，也能够例如使用硬金属。优选地，这样的硬金属具有碳化物。尤其优选地，合适的硬金属具有至少50体积百分比的碳化物成分。作为另外的组成部分，这些硬金属能够具有带有较软的金属例如铁基的材料尤其钢的接合剂。所述硬金属粉末冶金地利用金属的接合剂来制造。典型的弹性模量位于超过400千兆帕斯卡。尤其优选的硬金属具有优选地带有多于50%的体积份额的碳化钨(WC)和/或碳化钛(TiC)和/或碳化钽(TaC)和/或碳化银(NbC)。所述硬金属的特征在于其大的硬度和其金属的特性。
[0008]带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料优选地构造为自身相联结的纵向伸展的固体。尤其优选地，该材料构造为管或杆。在此，管是纵向伸展的固体，该固体带有在其内部走向经过所述纵向伸展的中空室，该中空室一般直向着端侧打开。管的围壁包括这种中空室，除此以外以更有利的方式在周部闭合。所述杆指的是不带有内部的中空室的相联结的纵向伸展的固体。所述杆因而一般地连续地坚固地构造。但是，与术语“阀杆”相关联地指出的是，在这里动用常见的术语。作为备选方案，阀杆也能够指的是闭锁器件载体。要指出的是，阀杆一般很不同地造形并且例如也能够构造为管。但是，为简化起见，在这里使用常见的概念“阀杆”，其应包括所有的这些。在任何情况下，以更有利的方式，所述阀杆指的是优选笔直的、纵向伸展的固体，该固体的长度在大多情况下显著大于其直径。所述阀驱动装置能够以不同的方式和方法(正如在现有技术中公知的那样)来构造。优选地，它指的是这样的阀驱动装置，该阀驱动装置将闭锁器件在其最大的经打开的部位和其闭合部位之间(在该闭合部位中，所述闭锁器件向着阀座挤压)沿着至少两个彼此不平行的反而彼此倾斜的、尤其正交的方向运动。这样的阀驱动装置也在术语“L驱动装置”下已知。当然，却也能够将其它的在现有技术中本身公知的阀驱动装置与根据本发明的阀杆组合。
[0009]闭锁器件优选指的是阀盘，也即指的是一种类型的板状的闭锁器件。阀盘的宽度或纵向伸展优选地显著大于阀杆的直径。但是，作为备选方案，所述闭锁器件也能够例如是闭锁针等，例如当该闭锁针装在配量阀中时。
[0010]为完整起见，要指出的是，带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料能够是单矿物以及材料组合或材料混合。但是，为简单起见，还始终指的是一材料，即使该材料能够是材料混合。
[0011]根据本发明的阀杆能够以多件方式进行构造。这意味着，该阀杆不必仅由带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料形成。仍然要指出的是，意外地在真空区域中也可能的是，采用这样的阀杆，该阀杆以区段的方式唯独由所提到的材料形成。作为对此的备选方案，能够(尤其在尽可能绝对避免过程腔或过程气体的污染或到过程腔或过程气体中的气体析出的意义中)给带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料进行包覆。这种包覆部优选地至少构造在这样的区域中，在该区域中，阀杆能够位于真空区域中。在包覆部的第一构造方式中能够设置的是，自身相联结的纵向伸展的固体布置在阀杆的外管的长形地伸展的内部中空室中，其中，所述阀杆的外管由不同于所述自身相联结的纵向伸展的固体的材料形成。在这里，带有相应高的弹性模量的形成所述相联结的纵向伸展的固体的材料因而作为一种类型的内核布置在所述外管的内部中空室中。以更有利的方式，包围所述阀杆的气体由此唯独与外管处于连接中。所述外管能够由钢制成并且在尽可能好的腐蚀防护的意义中尤其由特种钢形成。以更有利的方式，阀杆的外管的内部中空室至少沿着径向、也即沿着正交于阀杆的纵向伸展的方向完全地利用带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料或者利用由其形成的自身相联结的纵向伸展的固体进行填充。在中空室的整个纵向伸展上，这能够是如此的，但是不必是如此的。
[0012]作为备选方案，在所提到的材料的包覆部的意义中也能够设置的是，自身相联结的纵向伸展的固体在其外表面处至少以局部的方式具有涂层。所述涂层能够例如由镍和/或铬制成，当然也能够由带有镍和/或铬的合金形成，仅仅是为了列举不同的可行方案中的一些。它能够指的是PVD(物理气相沉积)涂层或DLC(类金刚石)涂层。
[0013]为了易化将闭锁器件紧固在阀杆处，优选的构造方式设置的是，用于真空阀的闭锁器件的第一连接区域具有由特种钢或其它的钢形成的外套或完全地由特种钢或其它的钢进行构造。在阀杆的相应的刚度的意义中，但是在另一方面以更有利的方式设置的是，带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料延伸经过所述阀杆的长度的至少50%、优选至少75%。所述阀杆的长度在此指的是(正如所述那样)阀杆的最大的延展。带有所提到的弹性模量的材料以更有利的方式作为唯一的自身相联结的纵向伸展的固体延伸经过所述阀杆的这种长度范围。
[0014]除了阀杆本身，本发明也涉及带有至少一个由阀座包围的阀口和用于闭锁所述阀口的闭锁器件(尤其阀盘)和带有至少一个阀杆和带有至少一个阀驱动装置的真空阀，其中，所述闭锁器件保持在所述阀杆处并且所述阀杆保持在所述阀驱动装置处，该真空阀的特征在于，所述阀杆是根据本发明的阀杆。尤其优选地，根据本发明的阀杆被装入这样的真空阀中，在该真空阀中，所述阀杆尤其强地横向于其纵向伸展被加载。在这种意义中，按照本发明的优选的真空阀设置的是，用于将闭锁器件按压至阀座的行程方向倾斜地、优选正交地相对于纵轴线布置，所述阀杆沿着该纵轴线纵向地伸展。用于将闭锁器件按压至阀座的行程方向在这样的真空阀中因而既不同轴于也不平行于阀杆的纵轴线走向。
[0015]上文所提到的包覆部(假定它此时以涂层或阀杆的所提到的外管为形式)以更有利的方式延伸至少经过阀杆的这样的区域，该区域位于或能够位于所述真空阀的真空区域中。
[0016]为完整起见，还要指出的是，一般指的是真空技术，当达到了带有小于或等于
0.001 mbar或0.1帕斯卡的压力的运行状态时。真空阀是这样的阀，该阀被设计用于这种压力范围和相应的相对于环境的差压。仍然要指出的是，根据本发明所使用的材料的至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量以更有利的方式在普通条件中、也即在普通的大气的环境压力下和在室温(例如20° C)中达到。
[0017]本发明的其它优点和具体情况在下文中借助附图被阐释。其中示出:
图1是按照本发明的第一实施方式的带有阀杆的真空阀的视图，在阀板的打开部位中； 图2至4是沿着图1的线AA、BB和CC的剖面；
图5是相应于图1的视图，但是是在阀板的中间部位中；
图6至8是沿着图5的线AA、BB和CC的剖面；
图9是相应于图1的视图，但是是在阀板的闭合部位中；
图10至12是沿着图9的线AA、BB和CC的剖面；
图13是相应于本发明的第一实施方式的真空阀的驱动装置的斜视图，该真空阀带有阀杆和安装在其处的阀板；
图14是相应于图13的斜视图，阀的部件彼此分开地展示；
图15是相应于本发明的第一实施方式的真空阀的一个另外的实施变型方案，在视图中； 图16是沿着图15中的线II1-1II的剖视图，并且
图17和18是根据本发明的阀杆的备选的构造方式，该阀杆同样能够装入按照图1至16的真空阀中。
[0018]在根据本发明的阀杆12的第一实施方式中(正如其在按照图1至16的真空阀中所示那样)，带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料布置在阀杆12的外管47的纵向伸展的内部中空室45中。材料42由此形成了阀杆12的内核并且本身作为自身相联结的纵向伸展的固体以杆44的形式被造形。杆44的长度(沿着纵轴线14测量)在此示例中也计为阀杆12的长度49的多于50%、在这里甚至多于75%。杆44完全地填充了外管47的内部中空室45。在背离于在这里作为阀板实施的闭锁器件5的端部处，所述外管47的内部中空室45借助闭锁部50来闭锁。它能够指的是经拧入的也或者经铸入的或另外地经紧固的闭锁部50ο也能够设置的是，由所提到的材料42形成的杆44如此好地在内部中空室45中独自地保持，使得能够省去闭锁部50。第一连接区域40用于将闭锁器件5紧固在阀杆12处。正如在这里也实现的是，此第一连接区域40以更有利的方式完全地或至少作为外套由特种钢或其它的钢制成。在所示的实施例中，在在真空区域中的免除颗粒和免除腐蚀的意义中指的是这样的特种钢，其余的外管47也由该特种钢制成。在这里包括纵向驱动设备15和横向驱动设备16的阀驱动装置作用在所述第二连接区域41中。阀驱动装置在阀杆12处的紧固在这里经过轭28来进行。借助阀杆12在阀驱动装置处的这种紧固，阀杆12连同闭锁器件5在在图2至4中所示的完全的打开部位之间沿着纵向6运动到按照图6至8的中间部位中并且然后沿着行程方向或横向7运动到闭合部位中，以用于将闭锁器件5按压至阀座4。这正如从DE10 2008 049 353 Al中本身公知那样实现。就此而论，指出下文:
图1至14的真空阀包括带有阀口 2的壁I，该阀口具有轴线3并且被阀座4包围，该阀座在实施例中由密封面形成。为了将阀口 2在真空阀的经闭合的状态中进行真空密封地闭锁(参见图9至12)，将阀板5设置作为闭锁器件。在真空阀的经打开的状态中(参见图1至4)，阀板5以更有利的方式完全地释放所述阀口2，其中，该阀板优选地涉及阀口2的轴线3的方向地完全地布置在所述阀口2的旁边。以阀板5的此打开部位为出发点，所述阀板5能够为了闭合真空阀而首先沿着纵向6推移，直到该阀板覆盖所述阀口 2(沿着轴线3的方向观察)，但是在此还从阀座4升高。在图5至8中展示了阀板5的这种中间部位。阀板5从其打开部位至其中间部位中的推移经过整个调节行程地直线地沿着纵向6来进行。另外，阀板5以其中间部位为出发点沿着垂直于纵向6设立的在这里平行于轴线3的横向方向或行程方向7向着阀座4的方向移动并且为了密封所述阀口 2而压接至阀座4。在阀板5的此闭合部位上(参见图9至12)，所述真空阀被闭合。所述从中间部位至闭合部位中的移动经过在整个调节行程上直线地沿着横向方向7来进行。为了将闭锁器件5沿着行程方向7按压至阀座4，阀杆12相对于其纵轴线14沿着倾斜的、优选正交的方向被加载。通过开文提到的带有相应高的弹性模量的材料42，所述阀杆12由于其根据本发明的构造方案尤其好地适用于此应用，因为抗弯。
[0019]在闭合部位中，布置在阀板5处的弹性的密封圈压接至形成所述阀座4的密封面。真空阀的打开在倒转的顺序中进行，也即从阀板5的闭合部位到其中间部位中并且进一步地到其打开部位中。
[0020 ]布置在真空阀的真空区域(=能够真空化的区域)中的阀板5安装在阀杆12处，该阀杆借助波纹管导通部从真空阀的真空区域中向外引出，也即，阀杆12的一个区段位于真空区域中并且阀杆12的另一个区段位于真空区域的外部。所述波纹管导通部由在附图中仅示意地示出的波纹管13、例如褶皱波纹管或膜波纹管形成，该波纹管一方面与阀杆12真空密封地相连另一方面与壁46真空密封地相连，该壁与壁I刚性地相连并且倾斜地优选垂直于壁I设立，并且具体而言是在通过壁46的口部的区域中，阀杆12通过该口部伸出。阀板5能够(正如所示那样)刚性地与阀杆12相连或此连接部能够具有弹性，以便在阀板5的闭合部位中实现阀板5至阀座4的某种匹配。在阀板5和阀杆4之间的这样的弹性的连接部是公知的。
[0021]阀杆12的纵轴线14平行于纵向6设立。为了将阀板5在其打开部位和其中间部位之间调节，阀杆12能够沿着纵向6相对于壁I进行移动。为了将阀板5在其闭合部位和其中间部位之间调节，阀杆12能够沿着横向方向7相对于壁I平行地移动。取代用于将阀杆从真空区域中引出的波纹管导通部，也能够设置推移导通部。该推移导通部能够具有推移件，该推移件拥有通孔，通过该通孔使得阀杆12借助密封部经密封地导引。阀杆12由此沿着纵向6相对于此推移件能够推移。所述推移件本身相对于壁46沿着横向方向7能够推移地支承，其中，该推移件借助密封部相对于壁46密封。所述推移件因而形成了相对于壁46密封的并且沿着横向方向7能够移动的滑座的类型。这样的实现了在两个尤其彼此正交地设立的方向上的可移动性的推移导通部是公知的。
[0022]所述阀驱动装置用于打开和闭合所述真空阀，该阀驱动装置具有布置在所述真空区域外的纵向驱动设备15(该阀杆12被该纵向驱动设备能够沿着纵向6推移)和同样布置在所述真空区域外的横向驱动设备16，该阀杆12被该横向驱动设备能够沿着横向或行程方向7推移。
[0023]在所不的实施例中，壁I形成了阀壳8的一部分，该阀壳也具有(在壁I的实施例中的)带有另外的口部1的对置的壁9。阀口 2和口部1是在阀的经打开的状态中经释放的穿过所述阀壳8的贯通通道的一部分，该贯通通道在实施例中直线地走向。阀板5容纳在阀壳8的内室11中，该内室表现为真空阀的真空区域。
[0024]作为取代方案，壁I也能够是真空腔的一部分(正如进一步在下文借助图15和16所阐释的那样)。另外，所述真空阀能够形成一种类型的插件，在该插件的情况中，所述壁I被插入真空腔的真空区域中。
[0025]此时接下来进行阀杆12沿着纵向和横向6、7的能够移动的支承以及纵向和横向驱动设备15、16的更加准确的说明。
[0026]在真空阀的真空区域外，支承单元17刚性地与壁I相连。支承单元17在所示的实施例中包括刚性地与壁I或与具有壁I的阀壳8相连的具有容纳室19的驱动壳18。在容纳室19中布置有导引单元20，该导引单元在容纳室19中沿着横向方向7直线地能够移动地导引。再者，从导引单元20将阀杆12沿着纵向6能够移动地导引。在此，导引单元20的基体23具有被阀杆12贯穿的贯通通道，在该贯通通道中，所述阀杆12借助导套21、22沿着纵向6能够移动地导引。导引单元20相对于支承单元17的能够移动的导引进一步在下文更加准确地阐释。
[0027]纵向驱动设备15在所示的实施例中包括作为执行器的两个活塞25，该活塞分别布置在在导引单元20的基体23中的缸体空隙26中。缸体空隙26被导引单元20的缸盖24闭锁，该缸盖被安装在活塞25处的活塞杆27贯穿。活塞杆27经过轭28稳固地与阀杆12相连，从而在活塞25在缸体空隙26中推移时借助压力介质、优选压缩空气将阀杆12沿着纵向6进行携带。为了与阀杆12相连，所述轭28例如在该阀杆处旋紧或形状配合和/或摩擦配合和/或材料配合地与该阀杆相连。
[0028]横向驱动设备16包括带有密封部36的作为执行器的两个活塞29，该活塞布置在缸体空隙30中，该缸体空隙构造在导引单元20的基体23中。活塞29稳固设置在活塞杆31处，该活塞杆在所示的实施例中一体式地与支承单元17的驱动壳18构造。在这种意义中，活塞29表现为支承单元17的部件。活塞杆31也能够由支承单元17的单独的部件来构造，该部件刚性地与支承单元17的驱动壳18相连。
[0029]活塞29在所示的实施例中构造为简单地起作用的活塞。通过加载位于在活塞29和驱动壳18之间的活塞杆31的侧部上的空间，所述导引单元20和随着该导引单元所述阀杆12如此地相对于支承单元17沿着横向方向7推移，使得阀板5以其闭合部位为出发点向着其中间部位推移。在所示的实施例中首先一次地所述弹簧机构用于沿着反转的方向来推移导引单元20并且随着该导引单元推移所述阀杆12和所述阀板5。该弹簧机构包括多个作用在导引单元20和驱动壳18之间的螺旋弹簧32。螺旋弹簧32布置在包围相应的活塞杆31的圆上(在图14中，为了清楚起见，仅在活塞杆31处展示了螺旋弹簧)。同样地，螺旋弹簧32的其它的布置方式和/或采用其它的弹簧以用于构造这样的弹簧机构是能够考虑和可行的。
[0030]如果在阀板5的闭合部位中，没有较大的(在阀板5从阀座4挤压离开的意义中起作用的)差压作用至阀板5，从而由弹簧机构施加至阀板5的至阀座4的按压力足以密封所述阀口 2。这能够例如是这种情况，当真空阀设置用于在两个真空腔之间密封并且在所述腔之一中执行例如用于半导体工业的真空过程时。
[0031 ]如果在较大的将阀板5从阀座4离开地加载的差压的情况中，需要阀板5至阀座4的较大的按压力，从而能够额外地将设置在导引单元的基体23和支承单元17的驱动壳18之间的压力室33或在所示的实施例中两个这样的压力室33利用压力介质、尤其压缩空气进行加载。压力室33被密封部34、35密封。
[0032]将阀板5向着阀座4或从该阀座离开地加载的较高的差压能够例如在两个通过真空阀相连的真空腔之一的充溢的情况中例如为了保养的目的而产生。
[0033]也能够省去所述螺旋弹簧32或其它构造的弹簧。取代弹簧和/或压力室33，也能够设置双重作用的活塞29。
[0034]布置在活塞杆31和导引单元20的基体23之间的导套37用于将导引单元20相对于支承单元17导引(参见图4、8和12)。同样地，密封部34和/或密封部35和/或密封部36能够如此地构造，使得其接管导引功能。在该情况中，也能够省去导向轴套37。
[0035]在导引单元20的背离于阀板5的侧部上从导引单元20伸出的阀杆12在这种从导引单元20伸出的区段中在阀板5的闭合部位中与布置在支承单元17的驱动壳18处的横向止挡部38配合作用，优选地正如在阀杆12的端部区域中所示那样。在阀板5的打开部位和阀板5的中间部位中，所述阀杆12与横向止挡部38间隔。在阀板5从中间部位向着闭合部位移动时，阀杆12优选地同时随着阀板5至阀座4的运行而运行至横向止挡部38。由此，阀杆12在在阀杆12处的横向驱动设备16的作用区域的两侧(其中，此作用区域位于在阀杆12的相对于支承单元20的能够移动的支承的区域中)在壁I处或刚性地与壁I相连的部分处支撑。由此能够以简单的方式将阀板5的必要的按压力传输至阀座4，而不必能够从阀杆12的纵向导引部和导引单元20的横向导引部承受大的倾翻力。
[0036]纵向驱动设备15和/或横向驱动设备16也能够具有多于或少于所述两个所示的活塞25或29。取代将用于纵向驱动设备15的活塞25和/或用于横向驱动设备16的活塞29的缸体空隙26或30构造为在导引单元20的基体23中的空隙，也能够设置单独的缸体，该缸体刚性地与所述导引单元相连。同样地，缸体和活塞的倒转的布置方式能够考虑和可行。
[0037]从而，纵向驱动设备15的活塞能够刚性地与导引单元20相连并且此活塞的缸体能够与阀杆12相连和/或横向驱动设备16的活塞29能够刚性地与导引单元20相连并且用于这些活塞的缸体能够刚性地与支承单元17相连或构造为在支承单元17中的缸体空隙的形式。
[0038]在在图15和16中所示的实施变型方案中，阀驱动装置、阀杆12和与该阀杆相连的阀板5正如在图1至14中所示那样相同地构造。这些实施变型方案的区别仅在于，真空阀的具有阀口 2的壁I在这里是在图15和16中仅部分地和示意展示的真空腔39的一部分。阀板5位于真空腔39内，该真空腔表现为阀的真空区域，当真空腔被栗出时。壁46(通过该壁的口部将阀杆12从真空腔39的真空区域向外引出)在在图15和16中表现为独立的部件，该部件经过法兰连接部与真空腔39相连，并且具体而言是在在真空腔39的口部周围的区域中。由此，通过打开这种法兰连接部，所述壁46能够利用安装在该壁处的阀驱动装置并且利用阀杆12和阀盘5被取出。
[0039]在真空阀的两个上述的变体方案中(正如开文所说明的那样)，分别采用带有例如由特种钢形成的外管47和带有布置在其内部中空室45中的由具有所提到的较高的弹性模量的材料4 2制成的杆4 4的阀杆12。例如在图17和18中示出了备选的阀杆12 (该阀杆在这些真空阀中当然也在其它的真空阀中能够被采用并且按照本发明来构造)。在图17中，阀杆12具有同样以连杆44为形式构造的纵向伸展的由带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料42制成的相联结的固体。该固体在外部设有涂层48。该涂层能够(正如开文阐释的那样)例如指的是镍涂层和/或铬涂层。涂层48正如外管47那样尤其好地确保的是，阀杆12不腐蚀并且除此以外也没有阀杆12的颗粒敞露。为完整起见，要指出的是，在按照第一图1至16的阀杆12时以及在按照图17的阀杆12时，取代杆44也能够采用由相应的材料42形成的管43。图18此时还示出了根据本发明的阀杆12的变体方案，其中带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料42构造为管43。在该实施例中，材料42至少以局部的方式直接形成了阀杆12的外部的表面。在这里因而既不存在涂层48也不存在外管47。但是，在该实施例中，用于将闭锁器件5紧固在阀杆12处的第一连接区域40由特种钢构造。这简化了(正如所述那样)闭锁器件5在阀杆12处的紧固，但是不是强制的前提条件。闭锁器件5在阀杆12处的紧固能够在此实施例中以及在其它的实施例中不同地也直接在材料42处进行。在所示的实施例中，第一连接区域40以局部的方式作为一种类型的插头(Propfen)的引入到管43中。同样的情况适用于布置在在另一侧上的闭锁部50，该闭锁部在这里完全地推入所述管中并且必要时也能够被省去。闭锁部50以及第一连接区域40能够作为备选方案当然也具有一种类型的套筒，所述管43或由所提到的材料44制成的相应的杆44能够插入所述套筒中。
[0040]这仅是根据本发明的阀杆12的几个示例。根据本发明的阀杆12和该阀杆的优选的构造方式的所提到的特征也能够以其它的方式和方法彼此组合。首先，根据本发明的阀杆12当然也能够应用在不同于在图1至16中所示的和所说明的真空阀中。
[0041 ] 附图标记单 I壁2阀口3轴线4阀座5闭锁器件6纵向7行程方向8阀壳9壁10 □部11内室12阀杆13波纹管
14纵轴线
15纵向驱动设备16横向驱动设备17支承单元18驱动壳19容纳室20导引单元21导套22导套23基体24缸盖25活塞26缸体空隙27活塞杆28轭29活塞30缸体空隙31活塞杆32螺旋弹簧33压力室34密封部35密封部36密封部37导套38横向止挡部39真空腔40第一连接区域41第二连接区域42材料43管44杆
45内部中空室46壁47外管48涂层49长度50闭锁部
【主权项】
1.用于真空阀的阀杆(12)，该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件(5)的第一连接区域(40)和带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域(41)，其特征在于，阀杆(12)至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料(42)。2.按照权利要求1所述的阀杆(12)，其特征在于，带有至少250千兆帕斯卡、优选至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料(42)是陶瓷或硬金属。3.按照权利要求1或2所述的阀杆(12)，其特征在于，所述带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料构造了自身相联结的纵向伸展的固体，优选是管(43)或杆(44)。4.按照权利要求3所述的阀杆(12)，其特征在于，自身相联结的纵向伸展的固体布置在阀杆(12)的外管(47)的长形地伸展的内部中空室(45)中，其中，所述阀杆(12)的外管(47)由不同于所述自身相联结的纵向伸展的固体的材料形成。5.按照权利要求4所述的阀杆(12)，其特征在于，所述外管(47)由钢制成，尤其由特种钢制成。6.按照权利要求3所述的阀杆(12)，其特征在于，自身相联结的纵向伸展的固体在该固体的外表面处至少以局部的方式具有涂层(48)，该涂层优选地带有镍和/或带有铬。7.按照前述权利要求1到6中任一项所述的阀杆(12)，其特征在于，用于真空阀的闭锁器件(5)的第一连接区域(40)具有由特种钢或其它的钢形成的外套或完全地由特种钢或其它的钢构成。8.按照权利要求1至7中任一项所述的阀杆(12)，其特征在于，带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料(42)延伸经过所述阀杆(12)的长度(49)的至少50%、优选至少75%。9.真空阀，其带有至少一个由阀座(4)包围的阀口(2)和用于闭锁所述阀口(2)的闭锁器件(5)尤其阀盘和带有至少一个阀杆(12)和带有至少一个阀驱动装置，其中，所述闭锁器件(5)保持在所述阀杆(12)处并且所述阀杆(12)保持在所述阀驱动装置处，其特征在于，所述阀杆(12)是按照权利要求1至8中任一项所述的阀杆(12)。10.按照权利要求9所述的真空阀，其特征在于，用于将闭锁器件(5)按压至阀座(4)的行程方向(7)倾斜地、优选正交地相对于纵轴线(14)布置，所述阀杆(12)沿着该纵轴线纵向地伸展。
【文档编号】H01L21/67GK106062942SQ201580014298
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2015年2月27日 公开号201580014298.4, CN 106062942 A, CN 106062942A, CN 201580014298, CN-A-106062942, CN106062942 A, CN106062942A, CN201580014298, CN201580014298.4, PCT/2015/467, PCT/EP/15/000467, PCT/EP/15/00467, PCT/EP/2015/000467, PCT/EP/2015/00467, PCT/EP15/000467, PCT/EP15/00467, PCT/EP15000467, PCT/EP1500467, PCT/EP2015/000467, PCT/EP2015/00467, PCT/EP2015000467, PCT/EP201500467
【发明人】F.埃尔内, C.巴奇曼恩, M.内特泽, M.沃扎塞克
【申请人】Vat 控股公司