全自动双槽清洗机的制作方法

文档序号:10727494阅读:567来源:国知局
全自动双槽清洗机的制作方法
【专利摘要】本发明涉及全自动双槽清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,加热器优选石英外壁。石英槽分别为酸洗槽与快排清洗槽。石英槽中的快排清洗槽内设置快速喷漆及冲洗系统。本发明是一种可以自动补充进液与排液,由机械臂执行运输及工艺切换的自动化设备。由于机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接,因此可以通过信息处理终端对各部件进行控制,产品主要通过机械臂来正确地切换工艺流程并保证运输。
【专利说明】
全自动双槽清洗机
技术领域
[0001]本发明涉及光伏生产设备领域,具体是全自动双槽清洗机。
【背景技术】
[0002]光伏(Solar Power):是太阳能光伏发电系统(Solar power system)的简称,是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应,将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统,有独立运行和并网运行两种方式。同时,太阳能光伏发电系统分类,一种是集中式,如大型西北地面光伏发电系统;一种是分布式(以>6MW为分界),如工商企业厂房屋顶光伏发电系统,民居屋顶光伏发电系统。这种技术的关键元件是太阳能电池。太阳能电池经过串联后进行封装保护可形成大面积的太阳电池组件,再配合上功率控制器等部件就形成了光伏发电装置。太阳能电池的重要原料之一为晶体硅,晶体硅包括单晶硅和多晶硅,晶体硅的制备方法大致是先用碳还原Si02成为Si,用HCl反应再提纯获得更尚纯度多晶娃,单晶娃的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。硅的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。
[0003]由于太阳能电池硅片的生产需要严格杜绝杂质影响,因此,在太阳能电池硅片的生产过程中,需要对产品进行多次清洗。但目前还没有一种专门针对太阳能硅晶片生产过程中的清洗步骤使用的全自动双槽清洗机。

【发明内容】

[0004]本发明正是针对以上技术问题,提供一种专门针对太阳能硅晶片生产过程中的清洗步骤使用的全自动双槽清洗机。
[0005]本发明通过以下技术方案来实现。
[0006]全自动双槽清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,其特征在于照明系统位于机体上部,照明系统下方设置有机械臂,所述机械臂前方为夹爪部分,后方为支撑部分,机械臂的支撑部分下端固定在升降电机输出端上,升降电机设置在电机座上,电机座与横移电机连接,横移电机设置在机体下部的槽形轨道上,机械臂的夹爪部分下面设置有石英槽,石英槽为并列的两个,石英槽下方设置有加热器,机体上与石英槽上表面等高位置设置有排风法兰,机体通过排风法兰连接机体内外空间,机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接。加热器优选石英外壁。石英槽分别为酸洗槽与快排清洗槽。石英槽中的快排清洗槽内设置快速喷漆及冲洗系统。
[0007]本发明是一种可以自动补充进液与排液,由机械臂执行运输及工艺切换的自动化设备。由于机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接,因此可以通过信息处理终端对各部件进行控制,产品主要通过机械臂来正确地切换工艺流程并保证运输。
[0008]本发明结构简单,使用方便。
【附图说明】
[0009]附图中,图1是本发明结构示意图,其中:
I一机体,2—横移电机,3—电机座,4一升降电机,5—加热器,6—石英槽,7—排风法兰,8一机械臂,9一照明系统。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图对本发明作进一步说明。
[0011 ]全自动双槽清洗机,包括机体1、横移电机2、电机座3、升降电机4、加热器5、石英槽
6、排风法兰7、机械臂8、照明系统9,其特征在于照明系统9位于机体I上部,照明系统9下方设置有机械臂8,所述机械臂8前方为夹爪部分,后方为支撑部分,机械臂8的支撑部分下端固定在升降电机4输出端上,升降电机4设置在电机座3上,电机座3与横移电机2连接,横移电机2设置在机体I下部的槽形轨道上,机械臂8的夹爪部分下面设置有石英槽6,石英槽6为并列的两个,石英槽6下方设置有加热器5,机体I上与石英槽6上表面等高位置设置有排风法兰7,机体I通过排风法兰7连接机体I内外空间,机械臂8、升降电机4、横移电机2、加热器
5、排风法兰7、照明系统9、石英槽6、加热器5均通过线缆与外接的信息处理终端连接。加热器5优选石英外壁。石英槽6分别为酸洗槽与快排清洗槽。石英槽6中的快排清洗槽内设置快速喷漆及冲洗系统。
[0012]本发明是一种可以自动补充进液与排液,由机械臂8执行运输及工艺切换的自动化设备。由于机械臂8、升降电机4、横移电机2、加热器5、排风法兰7、照明系统9、石英槽6、加热器5均通过线缆与外接的信息处理终端连接,因此可以通过信息处理终端对各部件进行控制,产品主要通过机械臂8来正确地切换工艺流程并保证运输。
[0013]上述只是说明了发明的技术构思及特点,其目的是在于让本领域内的普通技术人员能够了解发明的内容并据以实施,并不能限制本发明的保护范围。凡是根据本
【发明内容】
的实质所作出的等效的变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围。
【主权项】
1.全自动双槽清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,其特征在于照明系统位于机体上部,照明系统下方设置有机械臂,所述机械臂前方为夹爪部分,后方为支撑部分,机械臂的支撑部分下端固定在升降电机输出端上,升降电机设置在电机座上,电机座与横移电机连接,横移电机设置在机体下部的槽形轨道上,机械臂的夹爪部分下面设置有石英槽,石英槽为并列的两个,石英槽下方设置有加热器,机体上与石英槽上表面等高位置设置有排风法兰,机体通过排风法兰连接机体内外空间,机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接。2.根据权利要求1所述全自动双槽清洗机,其特征在于所述加热器优选石英外壁。3.根据权利要求1所述全自动双槽清洗机,其特征在于所述石英槽分别为酸洗槽与快排清洗槽。4.根据权利要求1所述全自动双槽清洗机,其特征在于所述石英槽中的快排清洗槽内设置快速喷漆及冲洗系统。
【文档编号】H01L21/02GK106098536SQ201610554953
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年7月15日
【发明人】袁树明, 韦建晶
【申请人】苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
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