一种液帘分叉检测装置及方法
【专利摘要】本发明涉及一种液帘分叉检测装置，该液帘分叉检测装置包括光源发生模块、光源接收模块以及控制器。光源发生模块与液帘间隔一定距离，并且设置于液帘的第一侧面，用于产生多束光线；光源接收模块与光源发生模块相对设置，并且设置于液帘的第二侧面，用于接收由第一侧面穿透液帘后至第二侧面的每束光线，并输出每束光线对应的光信号；控制器用于获取每束光线对应的光信号，判断到所述光信号的强度发生变化，并产生警报以提示液帘出现分叉。本发明还提供一种液帘分叉检测方法。通过本发明从而实现能够自动检测液帘分叉，也因此提高了工作效率。
【专利说明】
一种液帘分叉检测装置及方法
技术领域
[0001]本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种自动检测液帘分叉的液帘分叉检测装置及方法。
【背景技术】
[0002]薄膜晶体管(TFT)制备技术是采用新材料和新工艺的大规模半导体集成电路技术，在玻璃或者塑料基板等非单晶片上制作大规模半导体集成电路，通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必须的各种模。在薄膜晶体管制备工艺中，需要阵列制程、组立制程、模组制程等等步骤。其中，预先对在湿法刻蚀工艺中，需要用到液刀的预湿润。
[0003]发明人在实际操作过程中，发现现有技术至少存在以下问题:液刀预湿润其它设备时，由于液刀的出口受到微粒的堵塞或者其它因素的影响下，液刀吐出的液帘会产生开叉现象，导致不能完全预湿润设备，从而造成后续工艺的刻蚀不均等不良现象发生。因此，为了避免液刀产生的液帘出现分叉现象，操作员都会定期检测液刀，此种方式工作效率低，并且不容易精准聚焦于产生分叉现象的液刀位置。
【发明内容】
[0004]本发明的目的包括提供一种液帘分叉检测装置及方法，从而解决了现有技术不能自动检测液帘分叉而造成工作效率低下的技术问题。
[0005]本发明实施例提供一种液帘分叉检测装置，用于自动检测液帘分叉，所述液帘包括第一侧面及第二侧面，所述液帘分叉检测装置包括:
[0006]光源发生模块，与液帘间隔一定距离，并且设置于所述液帘的第一侧面，用于产生多束光线；
[0007]光源接收模块，与所述光源发生模块相对设置，并且设置于所述液帘的第二侧面，用于接收由所述第一侧面穿透所述液帘后至所述第二侧面的每束光线，并输出每束光线对应的光信号；
[0008]控制器，用于获取每束光线对应的光信号，判断到所述光信号的强度发生变化，并产生警报以提示液帘出现分叉。
[0009]可选地，所述光源发生模块包括多个沿着所述液帘的长度方向并行排列的光源发生器;每个所述光源发生器均设置于所述液帘的第一侧面。
[0010]可选地，所述光源接收模块包括多个沿着所述液帘的长度方向并行排列的光源接收器;每个所述光源接收器均设置于所述液帘的第二侧面，并且和每个所述光源发生器相对设置。
[0011]可选地，所述装置还包括多个第一提示装置，每个所述第一提示装置分别与所述光源发生器和所述控制器连接；当所述控制器判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源发生器连接的第一提示装置，以提示处于所述光源发生器位置的液帘出现分叉;其中，所述光源发生器产生的光信号的强度已经发生变化。
[0012]可选地，所述装置还包括多个第二提示装置，每个所述第二提示装置分别与所述光源接收器和所述控制器连接；当所述控制器判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源接收器连接的第二提示装置，以提示处于所述光源接收器位置的液帘出现分叉;其中，所述光源接收器接收的光信号的强度已经发生变化。
[0013]可选地，所述装置还包括放大器，所述放大器分别与所述光源接收模块和所述控制器连接，用于将所述光信号进行放大，传输给所述控制器。
[0014]可选地，所述装置还包括控制开关，所述控制开关分别与所述控制器和所述光源发生模块连接，用于接收所述控制器发送的控制信号，实现闭合或断开的状态切换。
[0015]可选地，所述装置还包括控制开关，所述控制开关分别与所述控制器和所述光源接收模块连接，用于接收所述控制器发送的控制信号，实现闭合或断开的状态切换。
[0016]本发明实施例提供一种液帘分叉检测方法，用于自动检测液帘分叉，所述液帘包括第一侧面及第二侧面，所述方法包括:
[0017]在所述液帘的第一侧面产生多束光线；
[0018]在所述液帘的第二侧面接收由所述液帘的第一侧面穿透液帘后至第二侧面的每束光线，并输出每束光线对应的光信号；
[0019]获取每束光线对应的光信号，判断所述光信号的强度发生变化，并产生警报以提示液帘出现分叉。
[0020]可选地，方法还进一步包括:
[0021]在所述光信号的强度发生变化的对应产生或者接收每束光线的位置进行标识，以提示处于所述位置的液帘出现分叉。
[0022]在本发明实施例中，通过控制器获取每束光线穿透液帘后的光信号，并且判断到所述光信号的强度发生变化时，控制器产生警报以提示液帘出现分叉，从而实现能够自动检测液帘分叉，也因此提高了工作效率。
[0023]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0024]图1是本发明实施例提供的一种液帘分叉检测装置的可能场景实施示意图；
[0025]图2是本发明实施例提供的一种液帘分叉检测装置的结构示意图；
[0026]图3是本发明实施例提供一种液帘分叉检测方法的流程图。
【具体实施方式】
[0027]为更进一步阐述本发明为达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种液帘分叉检测装置及方法的【具体实施方式】、方法、步骤、结构、特征及功效，详细说明如后。
[0028]有关本发明的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参考图式的较佳实施例详细说明中将可清楚的呈现。通过【具体实施方式】的说明，当可对本发明为达成预定目的所采取的技术手段及功效得以更加深入且具体的了解，然而所附图式仅是提供参考与说明之用，并非用来对本发明加以限制。
[0029]请一并参考图1和图2，如图1所示，本实施例提供的液帘14是由液刀12产生的，此处的液帘14可以等效于一个具有一定长度和宽度的平面。在一些实施例中，液帘14还可以是半弧状等其它形状。
[0030]如图1和图2所示，在本实施例中，光源发生模块16与液帘14间隔一定距离，并且设置于液帘14的第一侧面14A，并且产生多束光线。光源接收模块18与光源发生模块16相对设置，并且设置于液帘14的第二侧面14B接收所述光线，用于接收由所述第一侧面穿透所述液帘后至所述第二侧面的每束光线，并输出每束光线对应的光信号；。控制器20获取每束光线对应的光信号。
[0031]如图1所示，液刀12的出口如果遇到微粒的堵塞，在微粒处产生的液帘会出现分叉。光源发生模块16产生的光线照射在出现分叉处的液帘，由于分叉的液帘使原本正常投射液帘的光线出现散射，导致光源接收模块18只能散射一部分光线后的光线。因此，控制器20通过判断光源接收模块18输出的光信号强度，便可以知悉液刀12产生的液帘14是否出现分叉。当控制器20判断到光信号强度发生变化，则此时的液帘14出现分叉，控制器20产生警报以提示操作员关于液帘出现分叉的情况。如果光信号的强度未发生变化，则维持正常状
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[0032]在一些实施例中，控制器20还可以通过分析光源接收模块18输出的光信号强度的具体大小，便可以知悉此时液帘14分叉的程度。比如说，如果光信号强度的变化幅度过大，则此处的液帘14分叉程度严重，液刀未能预湿润设备大部分的表面。如果光信号强度的变化幅度不大，则此处的液帘14出现分叉，但是液刀尚可预湿润设备大部分的表面。
[0033]在一些实施例中，控制器20可以采用可编程逻辑控制器(Programmable LogicController，PLC)，还可以采用微处理器。该技术领域的人员应当明白，微处理器还可以是通用处理器、数字信号处理器(DSP)、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或其它可编程逻辑器件、分立门或晶体管逻辑、分立的硬件组件或者这些部件的任何组合。还有，此处的微处理器可以是任何传统处理器、控制器、微控制器或状态机。处理器也可以被实现为计算设备的组合，例如，DSP和微处理器的组合、多个微处理器、一个或多个微处理器结合DSP核、或任何其它这种配置。
[0034]在实施例中，通过控制器20获取每束光线穿透液帘14后的光信号，并且判断到所述光信号的强度发生变化时，控制器20产生警报以提示液帘14出现分叉，从而实现能够自动检测液帘分叉，也因此提高了工作效率。
[0035]如图1所示，光源发生模块16包括多个沿着液帘14的长度方向并行排列的光源发生器162，每个光源发生器162均设置于液帘14的第一侧面141。该光源发生模块16横贯液帘
14。每个光源发生器162均可以产生光线穿透液帘。控制器20和每个光源发生器162连接，并且产生控制信号控制各个光源发生器162工作。
[0036]进一步地，该液帘分叉检测装置还包括多个第一提示装置22，每个第一提示装置22分别与光源发生器162和控制器20连接。当控制器20判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源发生器162连接的第一提示装置22，以提示处于所述光源发生器162位置的液帘出现分叉;其中，此处的光源发生器162产生的光信号的强度已经发生变化。因此，本实施例提供的帘分叉检测装置不仅能够检测液帘出现分叉，还可以检测液帘出现分叉的位置，一方面，操作员可以及时发现液帘出现分叉，另一方，操作员还可以根据第一提示装置22的位置，精准定位液帘分叉位置，并在该位置进行清理。因此，一方面，采用该检测装置，其能够提高操作员的工作效率，另一方面，其能够及时发现液帘分叉并进行清理，从而提高预湿润设备的成功概率，也因此提供工艺的良品率。
[0037]如图1所示，光源接收模块18包括多个沿着液帘14的长度方向并行排列的光源接收器182，每个光源接收器182均设置于液帘14的第二侧面142，并且和每个光源发生器162相对设置。每个光源接收器182接收对应光源发生器162发射并且穿透液帘14的光线。控制器20和每个光源接收器182连接，并且产生控制信号控制各个光源接收器182工作。
[0038]进一步地，该液帘分叉检测装置还包括多个第二提示装置24，每个第二提示装置24分别与光源接收器182和控制器20连接；当控制器20判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源接收器182连接的第二提示装置24，以提示处于光源接收器182位置的液帘出现分叉;其中，光源接收器182接收的光信号的强度已经发生变化。在本实施例中，除了通过第一提示装置22标识液帘分叉的位置，还可以通过第二提示装置24标识液帘分叉的位置。因此，本实施例提供的检测装置具有高可靠性。
[0039]在一些实施例中，第一提示装置22或者第二提示装置24可以为蜂鸣器或者LED灯。
[0040]在一些实施中，光源发生模块16的产生光线作用和光源接收模块18接收光线作用可以集合于一个光传感器来实现，进一步的，该光传感器和控制器连接，控制器通过产生控制信号控制该光传感器的产生光线和接收光线。该领域技术人员应当明白:此处所提到的光源发生模块16和光源接收模块18可以由各个电路模块功能组合一起实现，或者通过硬件搭配软件来实现。
[0041]如图1所示，该检测装置还包括放大器26，放大器26分别与光源接收模块18和控制器20连接。光源接收模块18输出光信号，放大器26将该光信号进行放大，传输给控制器20。
[0042]在一些实施例中，放大器26可以是一个集成的放大器芯片，可以是驱动放大电路。其中，放大器26的具体放大能力要结合作业目的来设计。放大器26放大信号可以是通过各个电路之间的相互配合来实现，还可以是通过放大器芯片结合算法来实现。
[0043]如图1所示，该检测装置还包括控制开关28，控制开关28分别与控制器20和光源发生模块16连接。控制开关28接收控制器20发送的控制信号，实现闭合或断开的状态切换。当需要启动或者停止光源发生模块16工作时，控制器20向控制开关28发送控制信号，从而实现闭合或断开的状态切换。
[0044]在另一实施例中，控制开关28还可以分别与控制器20和光源接收模块18连接，用于接收控制器20发送的控制信号，实现闭合或断开的状态切换。
[0045]在一些实施例中，控制开关28可以是电子开关，也可以是继电器开关。由于液刀从打开阀门到液帘吐出需要一定的时间，进一步的，该控制开关28是一个延时继电器开关，控制器向该控制开关28传输控制信号，控制开关延时I或2秒后，再闭合开关，从而满足实际作业的需要。
[0046]作为本发明的另一方面，本发明实施例提供一种液帘分叉检测方法。请参考图3，图3是本发明实施例提供一种液帘分叉检测方法的流程图。如图3所示，该方法包括:
[0047]S31、在所述液帘的第一侧面产生多束光线；
[0048]S32、在所述液帘的第二侧面接收由所述液帘的第一侧面穿透液帘后至第二侧面的每束光线，并输出每束光线对应的光信号；
[0049]S33、获取每束光线对应的光信号，判断所述光信号的强度发生变化，并产生警报以提示液帘出现分叉。
[0050]在本实施例中，光源发生模块与液帘间隔一定距离，并且设置于液帘的第一侧面，并且产生多束光线。光源接收模块与光源发生模块相对设置，并且设置于液帘的第二侧面接收所述光线，输出每束光线对应的光信号。控制器获取每束光线穿透液帘后的光信号。[0051 ]当液刀的出口如果遇到微粒的堵塞，在微粒处产生的液帘会出现分叉。光源发生模块产生的光线照射在出现分叉处的液帘，由于分叉的液帘使原本正常投射液帘的光线出现散射，导致光源接收模块只能散射一部分光线后的光线。因此，控制器通过判断光源接收模块输出的光信号强度，便可以知悉液刀产生的液帘是否出现分叉。当控制器判断到光信号强度发生变化，则此时的液帘出现分叉，控制器产生警报以提示操作员关于液帘出现分叉的情况。如果光信号的强度未发生变化，则维持正常状态。
[0052]进一步地，该方法还包括:
[0053]在所述光信号的强度发生变化的对应产生或者接收每束光线的位置进行标识，以提示处于所述位置的液帘出现分叉。
[0054]当控制器判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源发生器连接的第一提示装置，以提示处于所述光源发生器位置的液帘出现分叉;其中，此处的光源发生器产生的光信号的强度已经发生变化。因此，本实施例提供的帘分叉检测装置不仅能够检测液帘出现分叉，还可以检测液帘出现分叉的位置，一方面，操作员可以及时发现液帘出现分叉，另一方，操作员还可以根据第一提示装置的位置，精准定位液帘分叉位置，并在该位置进行清理。因此，一方面，采用该检测装置，其能够提高操作员的工作效率，另一方面，其能够及时发现液帘分叉并进行清理，从而提高预湿润设备的成功概率，也因此提供工艺的良品率。
[0055]当控制器判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源接收器连接的第二提示装置，以提示处于光源接收器位置的液帘出现分叉;其中，光源接收器接收的光信号的强度已经发生变化。在本实施例中，除了通过第一提示装置标识液帘分叉的位置，还可以通过第二提示装置标识液帘分叉的位置。因此，本实施例提供的检测装置具有高可靠性。
[0056]以上所述，仅是发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种液帘分叉检测装置，用于自动检测液帘分叉，所述液帘包括第一侧面及第二侧面，其特征在于，所述液帘分叉检测装置包括: 光源发生模块，与液帘间隔一定距离，并且设置于所述液帘的第一侧面，用于产生多束光线； 光源接收模块，与所述光源发生模块相对设置，并且设置于所述液帘的第二侧面，用于接收由所述第一侧面穿透所述液帘后至所述第二侧面的每束光线，并输出每束光线对应的光信号； 控制器，用于获取每束光线对应的光信号，判断到所述光信号的强度发生变化，并产生警报以提示液帘出现分叉。2.根据权利要求1所述的液帘分叉检测装置，其特征在于，所述光源发生模块包括多个沿着所述液帘的长度方向并行排列的光源发生器;每个所述光源发生器均设置于所述液帘的第一侧面。3.根据权利要求2所述的液帘分叉检测装置，其特征在于，所述光源接收模块包括多个沿着所述液帘的长度方向并行排列的光源接收器;每个所述光源接收器均设置于所述液帘的第二侧面，并且和每个所述光源发生器相对设置。4.根据权利要求3所述的液帘分叉检测装置，其特征在于，所述液帘分叉检测装置还包括多个第一提示装置，每个所述第一提示装置分别与所述光源发生器和所述控制器连接；当所述控制器判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源发生器连接的第一提示装置，以提示处于所述光源发生器位置的液帘出现分叉;其中，所述光源发生器产生的光信号的强度已经发生变化。5.根据权利要求3所述的液帘分叉检测装置，其特征在于，所述液帘分叉检测装置还包括多个第二提示装置，每个所述第二提示装置分别与所述光源接收器和所述控制器连接；当所述控制器判断到光信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发与光源接收器连接的第二提示装置，以提示处于所述光源接收器位置的液帘出现分叉;其中，所述光源接收器接收的光信号的强度已经发生变化。6.根据权利要求1至5任一所述的液帘分叉检测装置，其特征在于，所述液帘分叉检测装置还包括放大器，所述放大器分别与所述光源接收模块和所述控制器连接，用于将所述光信号进行放大，传输给所述控制器。7.根据权利要求6所述的液帘分叉检测装置，其特征在于，所述液帘分叉检测装置还包括控制开关，所述控制开关分别与所述控制器和所述光源发生模块连接，用于发生所述控制器发送的控制信号，实现闭合或断开的状态切换。8.根据权利要求6所述的液帘分叉检测装置，其特征在于，所述液帘分叉检测装置还包括控制开关，所述控制开关分别与所述控制器和所述光源接收模块连接，用于接收所述控制器发送的控制信号，实现闭合或断开的状态切换。9.一种液帘分叉检测方法，用于自动检测液帘分叉，所述液帘包括第一侧面及第二侧面，其特征在于，所述方法包括: 在所述液帘的第一侧面产生多束光线； 在所述液帘的第二侧面接收由所述液帘的第一侧面穿透液帘后至第二侧面的每束光线，并输出每束光线对应的光信号； 获取每束光线对应的光信号，判断所述光信号的强度的是否发生变化，如发生变化则产生警报以提示液帘出现分叉。10.根据权利要求1所述的液帘分叉检测方法，其特征在于，方法还进一步包括: 在所述光信号的强度发生变化的同时对产生或者接收每束光线的位置进行标识，以提示处于所述位置的液帘出现分叉。
【文档编号】H01L21/66GK106098580SQ201610496840
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月29日
【发明人】陈宇新
【申请人】昆山国显光电有限公司