二极管端面泵浦全固态激光器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光器技术领域，具体涉及一种二极管端面泵浦全固态激光器。
【背景技术】
[0002]高平均功率全固态调Q 355nm与532nm激光器在微电子、激光加工、光刻技术、精密材料加工等领域应用广泛，如在电路板加工与立体印刷方面。电路板加工要求紫外激光在高重复频率时提供大于300 μ J的脉冲能量；立体印刷技术要求的是平均功率(一般在0.4?I W之间)；而一般的激光材料加工要求的平均功率在5?10 W水平。
[0003]紫外光的短波长对于微加工应用有以下两个优越性:
[0004]第一，较短的波长能够加工更小的部件。光束的衍射现象是限制加工部件最小尺寸的主要因素，最小可达到的聚焦点的直径随着波长的增加而线性增加。
[0005]第二，高能量的光子可以直接破坏材料的化学键。紫外光加工材料过程称为“光蚀”效应，高能量的光子直接破坏材料的化学键，是“冷”处理过程，热影响区域微乎其微；相比之下，可见光和红外激光器利用聚焦到加工部位的热量来熔化材料，热量经过传导会影响到周围的材料，产生热影响区域。
[0006]现有技术中大部分的端面泵浦紫外激光器都是腔内和频方式。如何将激光谐振腔内的紫外光导出腔外，是个值得探讨的问题。有些设计直接在腔内加导出镜，将532nm和355nm同时导出，由于镜片上需要镀双反射膜，膜层较厚，镜片很容易损伤。另有在谐振腔内加一小石英棱镜或将三倍频晶体做布儒斯特角切割将三波长分离开来，但这种方法使激光器的调节难度大为增加。
[0007]鉴于此，克服以上现有技术中的缺陷，提供一种新的能够同时输出两种不同波长激光的激光器成为本领域亟待解决的技术问题。
【发明内容】
[0008]本实用新型的目的在于针对现有技术的上述缺陷，提供一种二极管端面泵浦全固态激光器，能够同时输出两种不同波长激光，调节简便。
[0009]本实用新型的目的可通过以下的技术措施来实现:
[0010]一种二极管端面泵浦全固态激光器，与现有技术相比，其不同之处在于，该激光器包括:
[0011]激光谐振腔，由第一全反镜、第二全反镜和至少一个折叠镜组成；
[0012]布置于所述激光谐振腔内的激光晶体；
[0013]布置于所述激光谐振腔内的第一倍频晶体和第二倍频晶体；
[0014]布设于所述第一倍频晶体和第二倍频晶体之间的双波长波片；
[0015]布置于所述激光谐振腔内的输出镜；
[0016]泵浦光源，所述泵浦光源通过泵浦光照射所述激光晶体泵浦所述激光晶体以产生激光；以及
[0017]至少一个光学耦合系统，所述光学耦合系统设置于泵浦光源和激光谐振腔之间；
[0018]其中，激光晶体产生的激光在激光谐振腔内震荡并通过第一倍频晶体和第二倍频晶体进行倍频以产生两个不同波长的输出激光分别经输出镜和折叠镜射出。
[0019]优选地，所述激光谐振腔还包括一 Q调制元件。
[0020]优选地，所述激光谐振腔被构造为L型，所述激光晶体和所述Q调制元件依次设于所述折叠镜和所述第一全反镜之间，输出镜、第一倍频晶体、双波长波片和第二倍频晶体依次设于所述折叠镜和所述第二全反镜之间。
[0021 ] 优选地，所述激光谐振腔被构造为V型，所述激光晶体和所述Q调制元件依次设于所述折叠镜和所述第一全反镜之间，输出镜、第一倍频晶体、双波长波片和第二倍频晶体依次设于所述折叠镜和所述第二全反镜之间。
[0022]优选地，所述激光谐振腔被构造为Z型，所述激光谐振腔包括两个折叠镜，所述Q调制元件设于第一折叠镜和第一全反镜之间，所述激光晶体设于第一折叠镜和第二折叠镜之间，输出镜、第一倍频晶体、双波长波片和第二倍频晶体依次设于所述第二折叠镜和所述第二全反镜之间。
[0023]优选地，所述激光晶体选自Nd:YV04或Nd = YAG或Nd:YLF或Nd:Glass。
[0024]优选地，所述第一倍频晶体为二次谐波晶体，所述第二倍频晶体为三次谐波晶体。
[0025]优选地，所述二次谐波晶体选自磷酸二氢钾或三硼酸锂或硼酸铋或磷酸氧钛钾或偏硼酸钡非线性光学晶体；所述三次谐波晶体选自三硼酸锂或三硼酸铯或硼酸铯锂或偏硼酸钡非线性光学晶体。
[0026]优选地，所述Q调制元件为声光调Q器件、电光调Q器件或被动调Q器件。
[0027]优选地，所述第一全反镜或第二全反镜为平面镜、平-凹镜或平-凸镜。
[0028]与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于，本实用新型的激光器通过两个倍频晶体与双波长波片的配合，实现了分别输出波长不同的两种激光，无需使用单透射双反射膜，减小镜片的损伤；本实用新型的激光器安装和调节简便。
【附图说明】
[0029]图1是本实用新型实施例1的激光器的结构示意图。
[0030]图2是本实用新型实施例2的激光器的结构示意图。
[0031]图3是本实用新型实施例3的激光器的结构示意图。
【具体实施方式】
[0032]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0033]本实施例提供了一种二极管端面泵浦全固态激光器，与现有技术相比，其不同之处在于，该激光器包括:
[0034]激光谐振腔，由第一全反镜、第二全反镜和至少一个折叠镜组成；
[0035]布置于所述激光谐振腔内的激光晶体；
[0036]布置于所述激光谐振腔内的第一倍频晶体和第二倍频晶体；
[0037]布设于所述第一倍频晶体和第二倍频晶体之间的双波长波片；
[0038]布置于所述激光谐振腔内的输出镜；
[0039]泵浦光源，所述泵浦光源通过泵浦光照射所述激光晶体泵浦所述激光晶体以产生激光；以及
[0040]至少一个光学耦合系统，所述光学耦合系统设置于泵浦光源和激光谐振腔之间；
[0041]其中，激光晶体产生的激光在激光谐振腔内震荡并通过第一倍频晶体和第二倍频晶体进行倍频以产生两个不同波长的输出激光分别经输出镜和折叠镜射出。
[0042]具体地，上述的激光器通过两个倍频晶体与双波长波片的配合，实现了分别输出波长不同的两种激光，无需使用单透射双反射膜，减小镜片的损伤；另外，上述的激光器安装和调节简便。
[0043]例如，其中，将第一波长为532nm，由第二倍频晶体产生，第二波长为355nm，由第一倍频晶体产生，可以将355nm输出镜的膜层由单透射双反射膜变为单反射双透射膜，在一定程度上提高膜层的抗损伤阈值，激光器调节简便。同时可以通过调节二倍频晶体和三倍频晶体的温度来调节355nm激光和532nm激光的输出功率，实现双波长输出，满足对不同材料选择性的加工。
[0044]双波长波片使基波和具有第一波长的激光(532nm激光)成为同一偏振态激光，再第一倍频晶体转换为偏振方向与基波偏振方向相互垂直的355nm激光(具有第二波长的激光)，355nm激光经由输出镜(例如可以是偏振分光片)导出腔外。由于输出镜只在一面镀单一的355nm介质反射膜，可一定程度上提高膜层的抗损伤阈值，激光器调节简便。
[0045]实施例1:
[0046]本实施例提供了一种二极管端面泵浦全固态激光器，请参见图1所示，该激光器包括:泵浦光源1、光学耦合系统2、