非晶硅薄膜太阳能pecvd芯片清洁装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种清洁装置，特别涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁
目.ο
【背景技术】
[0002]在非晶硅薄膜太阳能电池生产过程中，由于工艺本身及车间环境等不良因素，从工件架卸出的芯片，不可避免会在芯片的膜面上残留硅粉或落上异物，在经过PVD沉积背电极时，影响背电极的成膜质量，造成由硅粉等异物导致的透空，进而影响产品的电性能。
[0003]由于PVD膜在非晶硅膜太阳能电池起到增加太阳光的反射及背电极的作用，是整个电池生产技术的关键步骤，所以需要把残留在膜面上的硅粉等异物清洁干净，减少PVD成膜过程中因硅粉等异物导致的脱膜或透空。然而，目前还没有比较有效的措施，临时措施是直接用CDA对膜面进行吹扫，这样做会有两个弊端:一方面，对芯片的膜面有损坏；另一方面对洁净车间的污染，得不偿失。因此对芯片膜面硅粉等异物的清洁是PECVD工艺工作中不可忽略的问题。
【发明内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置。
[0005]本实用新型是通过以下技术方案实现的:
[0006]本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，安装于传动线上方、激光机左侧，该清洁装置包括:
[0007]外壳；
[0008]设于外壳左右两侧的两个感应器；
[0009]设于外壳下方的支架；
[0010]安装于外壳左上方的抽风机；
[0011]安装于外壳内的风刀管；
[0012]安装于外壳外部、通过管路连接风刀管的吹风机；
[0013]安装于外壳内、用于控制抽风机和吹风机工作的控制开关。
[0014]作为优化，该清洁装置内部为弧线结构。
[0015]作为优化，所述感应器为优先级感应器。
[0016]作为优化，所述支架可上下移动，且包括4个支架，分别两两设于外壳前、后下方。
[0017]作为优化，所述支架可调0.5-5cm间距。
[0018]作为优化，所述抽风机带有过滤装置。
[0019]作为优化，所述吹风机为等离子风机，且位于外壳右侧感应器的右边。
[0020]作为优化，所述风刀管包括旋转轴、3个进风口和若干个吹风口，所述每个吹风口均呈扇形，所述旋转轴端部设有旋转开关。
[0021]作为优化，所述旋转轴的调节角度为10° -30°。
[0022]本实用新型非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置的有益效果是:
[0023]本实用新型，设计科学、使用方便，可有效降低因硅粉等异物导致PVD成膜质量变差的影响，且不会损坏芯片膜面，减少红色透空产生的几率，进而产品的电性能及提高产品良率。具有较好的实际应用价值和推广价值。
【附图说明】
[0024]下面结合附图对本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置作进一步说明:
[0025]图1是本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置的俯视结构示意图；
[0026]图2是本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置的剖视结构示意图；
[0027]图3是本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置的风刀管结构示意图。
[0028]图中为传动线、2为芯片、3为外壳、4为感应器、5为支架、6为抽风机、7为吹风机、8为管路、9为风刀管、9.1为旋转轴、9.2为进风口、9.3为吹风口、10为控制开关、11为旋转开关、12为硅粉等异物、13为激光机。
【具体实施方式】
[0029]为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。
[0030]如图1-图3所示，本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，安装于传动线1上方、激光机13左侧，该清洁装置包括:
[0031]外壳3 ；
[0032]设于外壳3左右两侧的两个感应器4 ；
[0033]设于外壳3下方的支架5 ;
[0034]安装于外壳3左上方的抽风机6 ；
[0035]安装于外壳3内的风刀管9 ;
[0036]安装于外壳3外部、通过管路8连接风刀管9的吹风机7 ;
[0037]安装于外壳3内、用于控制抽风机6和吹风机7工作的控制开关10。
[0038]具体的，该清洁装置内部为弧线结构。如此设计，在等离子风机吹扫时，保证硅粉等异物12沿弧线结构运动，保证更有效的吸收，保证抽风机更有效的抽风。
[0039]具体的，所述感应器4为优先级感应器。如此设计，可保证传动线1的连续传动性。
[0040]具体的，所述支架5可上下调0.5-5cm间距，且包括4个支架，分别两两设于外壳3前、后下方。如此设计，便于调节该清洁装置与芯片2的间距，提高使用便利性。
[0041]具体的，所述抽风机6带有过滤装置。如此设计，可以保护洁净车间的洁净度。
[0042]具体的，所述吹风机7为等离子风机，且位于外壳3右侧感应器4的右边。如此设计，通过采用等离子风机吹扫，可以消除芯片膜面静电的作用。
[0043]具体的，所述风刀管9包括可调角度为10° -30°的旋转轴9.1、3个进风口 9.2和16个吹风口 9.3，所述每个吹风口均9.3呈扇形，所述旋转轴9.1端部设有旋转开关11。如此设计，可以大面积的把硅粉等异物12清洁干净。
[0044]工作原理:
[0045]本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置工作前，首先把4个支架上下调节及压力值调到工艺所需的参数，再打开控制开关，方可进行芯片膜上硅粉等异物的清理。在工作时，芯片在传动线传输到第一个优先级感应器时，该装置会进行一个打开的动作，等离子风机及抽风机开关会同时打开，压缩空气通过管路进入到装置的风刀管，由风刀管的扇形吹风口喷出等离子风到芯片的膜面上，把芯片膜面上的硅粉等异物扬起，然后会通过带有过滤装置的抽风机排出，当芯片头端传输到第二个优先级感应点时，该装置会关闭，可以起到节约能源的作用，如果连续的有芯片经过时，装置会自动打开，进行对芯片膜面上的硅粉等异物吹扫，然后再通过抽风机排出，这样周而复始运行，保证传动线的连续传动性，从而完成该装置的一切动作。
[0046]本实用新型，设计科学、使用方便，可有效降低因硅粉等异物导致PVD成膜质量变差的影响，且不会损坏芯片膜面，减少红色透空产生的几率，进而产品的电性能及提高产品良率。
[0047]上述【具体实施方式】仅是本实用新型的具体个案，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施方式。但是凡是未脱离本实用新型技术原理的前提下，依据本实用新型的技术实质对以上实施方式所作的任何简单修改、等同变化与改型，皆应落入本实用新型的专利保护范围。
【主权项】
1.一种非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，该清洁装置安装于传动线上方、激光机左侧，其特征在于，该清洁装置包括: 夕卜壳; 设于外壳左右两侧的两个感应器； 设于外壳下方的支架； 安装于外壳左上方的抽风机； 安装于外壳内的风刀管； 安装于外壳外部、通过管路连接风刀管的吹风机； 安装于外壳内、用于控制抽风机和吹风机工作的控制开关。
2.如权利要求1所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:该清洁装置内部为弧线结构。
3.如权利要求1所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:所述感应器为优先级感应器。
4.如权利要求1所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:所述支架可上下移动，且包括4个支架，分别两两设于外壳前、后下方。
5.如权利要求4所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:所述支架可调0.5-5cm间距。
6.如权利要求1所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:所述抽风机带有过滤装置。
7.如权利要求1所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:所述吹风机为等离子风机，且位于外壳右侧感应器的右边。
8.如权利要求1所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:所述风刀管包括旋转轴、3个进风口和若干个吹风口，所述每个吹风口均呈扇形，所述旋转轴端部设有旋转开关。
9.如权利要求8所述的非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，其特征在于:所述旋转轴的调节角度为10° -30°。
【专利摘要】本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置。本非晶硅薄膜太阳能PECVD芯片清洁装置，安装于传动线上方，该清洁装置包括：外壳；设于外壳左右两侧的两个感应器；设于外壳下方的支架；安装于外壳左上方的抽风机；安装于外壳内的风刀管；安装于外壳外部、通过管路连接风刀管的吹风机；安装于外壳内、用于控制抽风机和吹风机工作的控制开关。本实用新型，设计科学、使用方便，可有效降低因硅粉等异物导致PVD成膜质量变差的影响，且不会损坏芯片膜面，减少红色透空产生的几率，进而产品的电性能及提高产品良率。
【IPC分类】H01L21-02, H01L31-18
【公开号】CN204558508
【申请号】CN201520217738
【发明人】王有峰
【申请人】山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年4月13日