一种新结构的二氧化碳激光管的制作方法

文档序号:9016247阅读:523来源:国知局
一种新结构的二氧化碳激光管的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子器件技术领域,具体地,涉及一种新结构的二氧化碳激光管。
【背景技术】
[0002]当前的封离型二氧化碳激光管的管体,由特硬玻璃料烧制成放电管、水冷管、储气管和回气管而组成,通常为三层套管结构。最里面的是放电管,中间是水冷管,最外一层是储气管,回气管用于连通放电管和储气管。在有回气管一端的管口上设置有全反射镜,在此端放电管处设置有阳极电极;在另一端的管口上设置有输出反射镜,在此端放电管处设置有阴极电极。
[0003]此类二氧化碳激光管的全反射镜和输出反射镜,都用胶直接粘接在管口上;粘接前,需对管口进行研磨,使两端管口平行,并与放电管垂直;由于工艺的原因,很难保证其精度的一致性,致使此类二氧化碳激光管的品质很难保证。
[0004]另外,因所用环氧树脂胶挥发产生的大分子气体会污染激光器内的工作气体,进而降低激光器的使用寿命。
[0005]当前二氧化碳激光管在使用过程中,二氧化碳分子受电子撞击而离解,离解后的一氧化碳分子和氧原子只有少部分能相遇且复合成二氧化碳分子;由于二氧化碳分子离解的速度大于一氧化碳分子和氧原子复合成二氧化碳分子的速度,使得二氧化碳分子的数量不断减少,造成二氧化碳激光管功率下降和使用寿命减少,通常寿命在3000小时以内。
[0006]当前二氧化碳激光管的阳极电极和阴极电极由金属片卷成筒状置于放电管两端,阳极电极在放电过程中,靠近阴极边缘的位置能量高度集中,造成电极材料的不稳定;阴极电极在放电过程中,温度不断升高,因其不能与放电管内壁很好的贴合,导致此处玻璃受热不均匀,容易产生玻璃炸裂情况。
[0007]激光管工作时产生的热量,使水冷管温度高于储气管,受热膨胀后其轴向尺寸大于储气管轴向尺寸,储气管与水冷管之间的连接管较短,不能吸收变形量,使得水冷管、放电管变形,甚至管体破裂,造成激光管功率模式变差或不能使用。
[0008]在实现本实用新型的过程中,发明人发现现有技术中至少存在质量差、使用寿命短、安全性差和稳定性差等缺陷。
【实用新型内容】
[0009]本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种新结构的二氧化碳激光管,包括两端呈锥形储气管,轴向配合设置在所述储气管内部的放电组件,分别配合安装在所述储气管两端的阳极组件和阴极组件,以及配合安装在所述阴极组件与储气管之间的弹簧;所述放电组件,包括轴向设置在所述储气管内部、且自内向外依次配合安装的放电管、水冷管和回气管,在所述放电管内镀有催化剂;所述回气管靠近阴极组件和阳极组件的端部均为水嘴,且伸出所述储气管的管壁;在所述水冷管与所述储气管之间设有环形玻璃管,所述回气管呈环形缠绕在水冷管的外壁;所述阳极组件,包括依次配合安装在所述储气管端部的阳极电极、第一可伐管、全反射镜和高压保护罩,在所述第一可伐管远离所述阳极电极的一侧配合安装有第一管口固定CF法兰,所述第一管口固定法兰通过所述第一可伐管与所述储气管烧结为一体,在所述全反射镜靠近高压保护罩的一侧,配合安装有全反射镜CF法兰;在所述放电管内部,轴向设有不锈钢棒,在所述不锈钢棒的中部设有间距3.7mm的一对贵金属电极。
[0010]进一步地,在所述第一管口固定CF法兰与所述全反射镜CF法兰之间,安装有第一铜垫圈;与所述第一管口固定CF法兰相配合,还设有阳极接线螺钉;在所述高压保护罩与全反射镜CF法兰之间,安装有紧定螺钉。
[0011]进一步地,所述阴极组件,包括依次配合安装在所述弹簧端部的阴极电极、第二可伐管和输出反射镜。
[0012]进一步地,在所述第二可伐管远离阴极电极的一侧,配合安装有第二管口固定CF法兰,所述第二管口固定CF法兰与所述输出反射镜相配合,安装有输出镜座CF法兰。
[0013]进一步地,在所述第二管口固定CF法兰与所述输出镜座CF法兰之间安装有第二铜垫圈;与所述第二管口固定CF法兰相配合,还设有阴极接线螺钉(8);在所述输出反射镜与输出镜座CF法兰之间,安装有紧定螺钉。
[0014]进一步地,所述第二管口固定CF法兰通过所述第二可伐管与所述储气管烧结为一体。
[0015]本实用新型所具有的有益效果:
[0016]I)可伐管与玻璃烧结技术的应用,减少了因环氧树脂胶对工作气体的污染;
[0017]2)在放电管的不锈钢棒上设置了一对贵金属电极,两个贵金属电极之间的距离为
3.7mm,提高了激光管的安全性与稳定性。
[0018]本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本实用新型而了解。
【附图说明】
[0019]附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0020]图1为本实用新型新结构的二氧化碳激光管的安装结构示意图;
[0021]图2为本实用新型新结构的二氧化碳激光管中镀催化剂装置的结构示意图。
[0022]结合附图,本实用新型实施例中附图标记如下:
[0023]1、储气管;2、回气管;3、水冷管;4、放电管;5 (15)、水嘴;6、阴极电极;7、弹簧;8、阴极接线螺钉;9、输出反射镜;10(21)、紧定螺钉;11、输出镜座CF法兰;12、第二铜垫圈;
13、第二管口固定CF法兰;14、第二可伐管;16、阳极电极;17、第一管口固定CF法兰;18、第一铜垫圈;19、全反射镜CF法兰;20、高压保护罩;22、全反射镜;23、阳极接线螺钉;24、第一可伐管;25(28)、橡胶塞;26(27)、贵金属电极;29、阴极不锈钢棒;30、阳极不锈钢棒。
【具体实施方式】
[0024]下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0025]根据本实用新型实施例,为了克服现有二氧化碳激光管的缺陷,需要提高二氧化碳激光管品质的一致性,可以采用改进二氧化碳激光管结构的方式,即采用如图1和图2所示的新结构的二氧化碳激光管。使用该新结构的二氧化碳激光管,可以吸收放电管和水冷管因受热产生的变形,提高管体的稳定性。
[0026]在该新结构的二氧化碳激光管中,为了降低对管口研磨精度的依赖,需要全反射镜和输出反射镜在安装固定后仍可对其进行进一步的微调;为了增加二氧化碳激光管的使用寿命,需要增加管体的储气量,加快一氧化碳分子和氧原子的复合速度;为了提高阳极电极材料的稳定性,需使用性能更稳定的材料;为了减少阴极处玻璃炸裂的情况,需要提高阴极电极的制造精度,使阴极电极与放电管内壁完全贴合。
[0027]如图1和图2所示,本实施例的新结构的二氧化碳激光管,包括两端呈锥形的储气管(如储气管I),轴向配合设置在储气管内部的放电组件,分别配合安装在储气管两端的阳极组件和阴极组件,以及配合安装在阴极组件与储气管之间的弹簧(如弹簧7)。
[0028]其中,上述放电组件,包括轴向设置在储气管内部、且自内向外依次配合安装的放电管(如放电管4)、水冷管(如水冷管3)和回气管(如回气管2),在放电管内镀有催化剂;回气管靠近阴极组件和阳极组件的端部均为水嘴(如水嘴5、15),且伸出储气管的管壁;在水冷管与储气管之间设有环形玻璃管,回水管呈环形缠绕在水冷管的外壁。
[0029]在对激光管镀催化剂的工艺中,在放电管内部,轴向设有不锈钢棒,在不锈钢棒的中部设有间距为3.7mm的一对贵金属电极(如贵金属电极26、27);不锈钢棒靠近阳极组件的一端为用于连接到磁控溅射电源阳极的阳极不锈钢棒(如阳极不锈钢棒30),不锈钢棒靠近阴极组件的一端为用于连接到磁控溅射电源阴极的阴极不锈钢棒(如阴极不锈钢棒29)。
[0030]上述阳极组件,包括依次配合安装在储气管端部的阳极电极(如阳极电极16)、第一可伐管24、全反射镜(如全反射镜22)和高压保护罩(如高压保护罩20)。在第一可伐管远离阳极电极16的一侧,配合安装有第一管口固定CF法兰17 ;在全反射镜靠近高压保护罩的一侧,配合安装有全反射镜CF法兰19。在第一管口固定CF法兰与全反射镜CF法兰之间,安装有第一铜垫圈18 ;与第一管口固定CF法兰17相配合,还设有阳极接线螺钉23 ;在高压保护罩与全反射镜CF法兰之间,安装有紧定螺钉21。
[0031]上述阴极组件,包括依次配合安装在弹簧端部的阴极电极(如阴极电极6)、第二可伐管14和输出反射镜9。在第二可伐管远离阴极电极的一侧,配合安装有第二管口固定CF法兰13 ;与输出反射镜相配合,安装有输出镜座CF法兰11。在第二管口固定CF法兰13与输出镜座CF法兰之间,安装有第二铜垫圈12 ;与第二管口固定CF法兰13相配合,还设有阴极接线螺钉8 ;在输出反射镜与输出镜座CF法兰之间,安装有紧定螺钉10。CF法兰(英文名是Conflat Flange),是一种用于超高真空中的法兰连接,采用金属静密封方式,可以承受高温烘烤。
[0032]在上述实施例中,该新结构的二氧化碳激光管的玻璃部分,由储气管1、回气管2、水冷管3、放电管4、水嘴5、管口 14(即第二可伐管14)、水嘴15和管口 24(即第一可伐管24)组成。可以按图2显示的连接结构,对图1显示的新结构的二氧化碳激光管进行组装,具体包括以下几个过程:
[0033](I)将一端镶有贵金属电极26的阳极不锈钢棒30,与一端镶有贵金属电极27的阴极不锈钢棒29插入放电管中,管口 24处用橡胶塞25密封、管口 14处用橡胶塞28密封;
[0034](2)将密封后的管口 24和管口 14接入真空排气系统,抽真空30分钟,将阳极不锈钢棒30连接
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