一种自动去边机用酸槽装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体制造领域，尤其是涉及一种自动去边机用酸槽装置。
【背景技术】
[0002]随着电子产品的日益普及和更新，半导体的制造工艺也得到了飞速的发展。在半导体的制造过程中，酸槽清洗工艺贯穿在整个流程中，发挥着很大的作用。现有技术存在的酸槽装置结构较为简单，存在硅片腐蚀清洗不彻底及硅渣堆积阻塞管道等问题。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型旨在提出一种自动去边机用酸槽装置，以解决硅片腐蚀清洗不彻底及硅渣堆积阻塞管道等问题。
[0004]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0005]—种自动去边机用酸槽装置，包括槽体、槽盖、槽盖气缸、喷淋水路和回收槽，所述槽盖位于槽体顶端，所述槽盖气缸置于槽体外部并且与槽盖相连接，所述喷淋水路固定在槽体内部，所述回收槽位于槽体底端酸液回流口的下方。
[0006]进一步的，所述槽体内部包含有一个圆柱形槽或方形槽。
[0007]进一步的，所述自动去边机用酸槽装置，还包括硅渣过滤片，所述硅渣过滤片覆盖在所述槽体底端酸液回流口上，有效解决了硅片清洗过程中由于硅渣堆积而造成的管道阻塞的问题。
[0008]进一步的，所述槽体侧壁上分布有一个排风口，可将腐蚀过程中产生的气体从酸槽排出。
[0009]进一步的，所述圆柱形槽内部依次设置有一上一下两个喷淋水路。
[0010]进一步的，所述喷淋水路包括环形水槽和喷头，所述环形水槽固定在所述圆柱形槽内壁上，所述喷头嵌在所述环形水槽的侧壁上，所述喷头绕环形水槽的圆心呈圆形均匀分布O
[0011 ] 进一步的，所述槽盖中部开有通孔，所述通孔便于搬运硅片的机械手进出。
[0012]相对于现有技术，本实用新型所述的自动去边机用酸槽装置具有以下优势:
[0013](I)本实用新型所述的自动去边机用酸槽装置相较于同类装置具有更高的集成度。
[0014](2)本实用新型所述的硅渣过滤片可以有效解决清洗过程中由于硅渣堆积而造成的管道阻塞问题。
【附图说明】
[0015]构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0016]图1为本实用新型实施例所述的自动去边机用酸槽装置的结构示意图；
[0017]图2为本实用新型实施例所述的自动去边机用酸槽装置的喷淋水路结构示意图。
[0018]附图标记说明:
[0019]1-槽体，2-槽盖，3-槽盖气缸，4-喷淋水路，41-水路接头，42-喷头，5_硅渣过滤片，6-回收槽。
【具体实施方式】
[0020]需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0021]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0022]如图1所示为自动去边机用酸槽装置的结构示意图，槽盖2位于槽体I顶端，防止在工作过程中将用于清洗的液体喷出工作槽外；所述槽体内部依次设置有一上一下两个喷淋水路4，保证硅片在酸槽中充分清洗；所述回收槽6位于槽体I底端酸液回流口的下方，用于回收残液；所述槽盖气缸3置于槽体I外部并且与槽盖2相连接，槽盖气缸3用来控制槽盖2的打开及闭合；硅渣过滤片5覆盖在所述槽体底端酸液回流口上，用于将去边过程中产生的硅渣过滤掉；槽体I侧壁上分布有若干个排风口，可将腐蚀过程中产生的气体从酸槽排出。
[0023]如图2所示为自动去边机用酸槽装置的喷淋水路结构示意图，所述喷淋水路4包括环形水槽和喷头41，所述环形水槽固定在所述槽体内壁上，所述喷头41嵌在所述环形水槽的侧壁上，所述喷头41绕环形水槽的圆心呈圆形均匀分布，所述环形水槽与外部酸液供给装置连通。
[0024]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种自动去边机用酸槽装置，其特征在于:包括槽体、槽盖、槽盖气缸、喷淋水路和回收槽，所述槽盖位于槽体顶端，所述槽盖气缸置于槽体外部并且与槽盖相连接，所述喷淋水路固定在槽体内部，所述回收槽位于槽体底端酸液回流口的下方。2.根据权利要求1所述的自动去边机用酸槽装置，所述槽体内部包含有一个圆柱形槽或方形槽。3.根据权利要求1所述的自动去边机用酸槽装置，其特征在于:还包括硅渣过滤片，所述硅渣过滤片覆盖在所述槽体底端酸液回流口上。4.根据权利要求1所述的自动去边机用酸槽装置，其特征在于:所述槽体侧壁上分布有一个排风口。5.根据权利要求2所述的自动去边机用酸槽装置，其特征在于:所述圆柱形槽内部依次设置有一上一下两个喷淋水路。6.根据权利要求5所述的自动去边机用酸槽装置，其特征在于:所述喷淋水路包括环形水槽和喷头，所述环形水槽固定在所述圆柱形槽内壁上，所述喷头嵌在所述环形水槽的侧壁上，所述喷头绕环形水槽的圆心呈圆形均匀分布。
【专利摘要】本实用新型提供了一种自动去边机用酸槽装置，包括槽体、槽盖、槽盖气缸、喷淋水路、硅渣过滤片和回收槽，所述槽盖位于槽体顶端，所述槽盖气缸置于槽体外部并且与槽盖相连接，所述喷淋水路固定在槽体内部，所述回收槽位于槽体底端酸液回流口的下方，所述硅渣过滤片覆盖在所述槽体底端酸液回流口上。本实用新型所述的自动去边机用酸槽装置结构新颖，集成度较高，可有效防止清洗过程中由于硅渣堆积造成的管道阻塞问题。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN204732382
【申请号】CN201520461085
【发明人】靳立辉, 白聪轩, 王国瑞, 张学强
【申请人】天津中环半导体股份有限公司
【公开日】2015年10月28日
【申请日】2015年6月30日