一种硅片镀膜用石墨舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片镀膜设备，特别涉及一种硅片镀膜用石墨舟。
【背景技术】
[0002]在光伏行业内，管式PECVD镀膜工艺要求将硅片将插入石墨舟内，通过石墨舟叶片上的石墨卡点将硅片固定住。卡点的设计形状不仅会对镀膜卡点印的大小有影响，也会因其耐用程度和牢固性进而影响镀膜色差、蹦点的比例。传统的卡点有两种:一种是圆形卡点，镀膜卡点印较大，影响外观，且长时间使用后卡得不牢固，影响色差比例；另一种是菱形卡点，有利于改善色差，但是耐用程度较差。
【实用新型内容】
[0003]针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种硅片镀膜用石墨舟。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片镀膜用石墨舟，包括若干依次交错分布的石墨舟片、上电极座、下电极座，所述石墨舟片底部设有支撑座，所述石墨舟片端部上端设有上电极隔板，所述石墨舟片端部底端设有下电极隔板，所述石墨舟片上设有卡点，至少两个所述卡点与被镀膜的硅片边缘卡紧；所述卡点包括与所述石墨舟片连接的放置座、设置于所述放置座两侧的卡爪，所述卡爪为圆台状且两侧对称设有一斜面，即所述卡爪侧面由一对弧面、连接两条弧面的斜面构成。
[0005]上述设计中在卡点的卡爪侧面设置弧面和斜面使得卡点与硅片点接触，有效减小镀膜时产生的卡点印，扩大镀膜面积，外观看起来更加均一；卡点与硅片的接触面为圆润的弧形设计，可以降低硅片在插取过程中产生蹦点的几率，提高外观的良率。
[0006]作为本设计的进一步改进，所述石墨舟片设有放置孔，所述放置座与所述放置孔小间隙配合或过渡配合，兼顾卡点的安装便捷性和卡点稳定性。
[0007]作为本设计的进一步改进，三个所述卡点与硅片边缘卡紧，所述硅片倾斜放置在石墨舟片侧面，所述石墨舟片底面与水平面夹角为3-5°。硅片倾斜，便于卡点与硅片在放置后全接触，提高硅片稳定性，便于放置或拿取硅片。
[0008]本实用新型的有益效果是:本实用新型在卡点的卡爪侧面设置弧面和斜面使得卡点与硅片点接触，有效减小镀膜时产生的卡点印，扩大镀膜面积，外观看起来更加均一；卡点与硅片的接触面为圆润的弧形设计，可以降低硅片在插取过程中产生蹦点的几率，提高外观的良率。
【附图说明】
[0009]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0010]图1是本实用新型的正面结构示意图。
[0011]图2是本实用新型的侧面结构示意图。
[0012]图3是本实用新型的卡点结构示意图。
[0013]图4是本实用新型的卡点与石墨舟片连接示意图。
[0014]在图中1.下电极座，2.上电极座，3.石墨舟片，4.硅片，5.支撑座，6.卡点，7.下电极隔板，8.上电极隔板，9.放置座，10.弧面，11.斜面，12.卡爪，13.放置孔。
【具体实施方式】
[0015]下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
[0016]实施例:一种硅片4镀膜用石墨舟，包括若干依次交错分布的石墨舟片3、上电极座2、下电极座1，所述石墨舟片3底部设有支撑座5，所述石墨舟片3端部上端设有上电极隔板8，所述石墨舟片3端部底端设有下电极隔板7，所述石墨舟片3上设有卡点6，至少两个所述卡点6与被镀膜的硅片4边缘卡紧；所述卡点6包括与所述石墨舟片3连接的放置座9、设置于所述放置座9两侧的卡爪12，所述卡爪12为圆台状且两侧对称设有一斜面11，即所述卡爪12侧面由一对弧面10、连接两条弧面10的斜面11构成。
[0017]上述设计中在卡点6的卡爪12侧面设置弧面10和斜面11使得卡点6与硅片4点接触，有效减小镀膜时产生的卡点6印，扩大镀膜面积，外观看起来更加均一；卡点6与硅片4的接触面为圆润的弧形设计，可以降低硅片4在插取过程中产生蹦点的几率，提高外观的良率。
[0018]作为本设计的进一步改进，所述石墨舟片3设有放置孔13，所述放置座9与所述放置孔13小间隙配合或过渡配合，兼顾卡点6的安装便捷性和卡点6稳定性。
[0019]作为本设计的进一步改进，三个所述卡点6与硅片4边缘卡紧，所述硅片4倾斜放置在石墨舟片3侧面，所述石墨舟片3底面与水平面夹角为3-5°。硅片4倾斜，便于卡点6与硅片4在放置后全接触，提高硅片4稳定性，便于放置或拿取硅片4。
[0020]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种硅片镀膜用石墨舟，包括若干依次交错分布的石墨舟片、上电极座、下电极座，所述石墨舟片底部设有支撑座，其特征在于，所述石墨舟片端部上端设有上电极隔板，所述石墨舟片端部底端设有下电极隔板，所述石墨舟片上设有卡点，至少两个所述卡点与被镀膜的硅片边缘卡紧；所述卡点包括与所述石墨舟片连接的放置座、设置于所述放置座两侧的卡爪，所述卡爪为圆台状且两侧对称设有一斜面，即所述卡爪侧面由一对弧面、连接两条弧面的斜面构成。2.根据权利要求1所述的一种硅片镀膜用石墨舟，其特征是，所述石墨舟片设有放置孔，所述放置座与所述放置孔小间隙配合或过渡配合。3.根据权利要求1所述的一种硅片镀膜用石墨舟，其特征是，三个所述卡点与硅片边缘卡紧，所述硅片倾斜放置在石墨舟片侧面，所述石墨舟片底面与水平面夹角为3-5°。
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片镀膜用石墨舟，包括石墨舟片、上电极座、下电极座，所述石墨舟片底部设有支撑座，所述石墨舟片端部上端设有上电极隔板，所述石墨舟片端部底端设有下电极隔板，所述石墨舟片上设有卡点，至少两个所述卡点与被镀膜的硅片边缘卡紧；所述卡点包括与所述石墨舟片连接的放置座、设置于所述放置座两侧的卡爪，所述卡爪为圆台状且两侧对称设有一斜面。本实用新型在卡点的卡爪侧面设置弧面和斜面使得卡点与硅片点接触，有效减小镀膜时产生的卡点印，扩大镀膜面积，外观看起来更加均一；卡点与硅片的接触面为圆润的弧形设计，可以降低硅片在插取过程中产生蹦点的几率，提高外观的良率。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN204857687
【申请号】CN201520549348
【发明人】黄勤健, 隆霹显, 陈志运, 王世贤, 张华 , 陈清波, 杜教峰
【申请人】张家港国龙光伏科技有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月28日