一种硅片载片篮的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片承载器具，尤其涉及一种硅片载片篮。
【背景技术】
[0002]电池硅片在自动生产制造过程中，需要通过花篮进行周转，由于花篮基本都是在自动设备上使用，对花篮的尺寸精确度有较为严格的要求。现有的硅片花篮主要是25片装的整体注塑成型花篮，原50片或100片硅片花篮采用焊接插片杆的结构方式，这些插片杆容易松动或掉落，影响硅片处理过程中固定的可靠性，且由于为了保证产品强度，通常的通透型布筋硅片花篮普遍采用横向设置档杆，这样就容易导致插入硅片时因档杆阻挡硅片而导致硅片碎裂，从而导致损失，如果布筋不采用通透型，则又无法实现溶液清洗。
【实用新型内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种硅片载片篮，以解决现有技术中的不足。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的:
[0005]—种硅片载片篮，其中，包括花篮本体，所述花篮本体包括两块端板和若干固定杆，所述固定杆两端可拆卸式固定在所述端板上后相互平行地设置在两块所述端板之间，所述固定杆包括四根侧杆和两根底杆，所述侧杆均匀分布在所述花篮本体的两侧，所述侧杆的内侧均勾分布有槽齿。
[0006]上述硅片载片篮，其中，所述端板一块为“U”型结构，另一块的中部设有加强孔。
[0007]上述硅片载片篮，其中，所述固定杆两端与所述端板为螺纹连接。
[0008]与已有技术相比，本实用新型的有益效果在于:
[0009]方便维修，降低使用成本，保证硅片处理过程中固定的可靠性，提高工作效率。
【附图说明】
[0010]构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0011]图1示出了本实用新型硅片载片篮的结构示意图；
[0012]图2是图1的俯视图；
[0013]图3a和图3b分别是图1的左视图和右视图。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0015]需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0016]参考图1、图2、图3a和图3b所示，本实用新型硅片载片篮包括花篮本体1，花篮本体I包括两块端板2和若干固定杆，固定杆两端可拆卸式固定在端板2上后相互平行地设置在两块端板2之间，固定杆包括四根侧杆3和两根底杆4，侧杆3均匀分布在花篮本体I的两侧，侧杆3的内侧均匀分布有用于承载硅片的槽齿5。
[0017]继续参看图示，端板2—块为“U”型结构，另一块的中部设有加强孔6，以增强花篮整体的可靠性。
[0018]固定杆两端与端板2为螺纹连接，方便拆卸与维修。
[0019]从上述实施例可以看出，本实用新型的优势在于:
[0020]方便维修，降低使用成本，保证硅片处理过程中固定的可靠性，提高工作效率。
[0021]以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例，其只是作为范例。对于本领域技术人员而言，任何等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作出的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。
【主权项】
1.一种硅片载片篮，其特征在于，包括花篮本体(I)，所述花篮本体(I)包括两块端板(2)和若干固定杆，所述固定杆两端可拆卸式固定在所述端板(2)上后相互平行地设置在两块所述端板(2)之间，所述固定杆包括四根侧杆(3)和两根底杆(4)，所述侧杆(3)均匀分布在所述花篮本体(I)的两侧，所述侧杆(3)的内侧均匀分布有槽齿(5)。2.如权利要求1所述硅片载片篮，其特征在于，所述端板(2)—块为“U”型结构，另一块的中部设有加强孔(6)。3.如权利要求1所述硅片载片篮，其特征在于，所述固定杆两端与所述端板(2)为螺纹连接。
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片载片篮，包括花篮本体，所述花篮本体包括两块端板和若干固定杆，所述固定杆两端可拆卸式固定在所述端板上后相互平行地设置在两块所述端板之间，所述固定杆包括四根侧杆和两根底杆，所述侧杆均匀分布在所述花篮本体的两侧，所述侧杆的内侧均匀分布有槽齿。与已有技术相比，本实用新型的有益效果在于：方便维修，降低使用成本，保证硅片处理过程中固定的可靠性，提高工作效率。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN204857690
【申请号】CN201520631185
【发明人】钱钢
【申请人】上海嘉氟新材料科技有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年8月20日