一种硅片倒角机冷却液冲洗装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到单晶硅片的生产领域，具体的说是一种硅片倒角机冷却液冲洗
目.ο
【背景技术】
[0002]1C制造过程中的硅片制备阶段，要将单晶硅加工成具有高面型精度和表面质量的原始硅片，加工过程中必须对单晶硅片边缘进行倒角。硅片倒角是1C制造的重要工序，它是指把切割后硅片的锐利边缘通过磨削修整成圆弧形，其目的是消除边缘切应力，防止边缘破裂及颗粒脱落。倒角的方法有磨削、喷砂、化学腐蚀和恰当的抛光等，普遍采用倒角机以成型的砂轮磨削硅片边缘，直到与砂轮形状一致为止。
[0003]室温下单晶硅无延展性，属脆性材料，当温度高于700°C，硅材料具有热塑性，在应力作用下会呈现塑性变形，硅材料的抗拉强度成倍下降，所以硅片容易破裂。硅片在倒角过程中，磨削时消耗大量能量在极短时间变为热能，从而使磨削区的温度以1*105°C /s的数量级的加热速度急剧升温会造成磨粒与硅片接触处达到1000°C以上的高温，硅片表层的组织将迅速变化，并产生表层残余应力。这种情况造成磨削表面热损伤，使硅片出现烧伤和微裂纹。因此磨削温度的控制是倒角工序重要物理因素。倒角机通常要使用冷却液带走磨削热量，采用一个主磨削冷却喷嘴和一个副冷却喷嘴，冷却液呈直线喷射，前者主要冷却磨削硅片，后者清洗磨削轮。倒角机在磨削时磨轮线速度很高，在磨轮周围表面产生强大的气流，当前的冷却方法不能使冷却液有效准确进入磨削区域，从而严重影响硅片倒角质量。
【实用新型内容】
[0004]为解决现有技术中倒角机在磨削硅片时冷却液不能准确有效的进入磨削区域进行冷却从而影响硅片倒角质量的问题，本实用新型提供了一种硅片倒角机冷却液冲洗装置，该装置通过多角度、多方位喷射冷却液进行冷却，从而大幅度提高了冷却效果，降低了倒角机磨削时硅片的表面损伤和碎片。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种硅片倒角机冷却液冲洗装置，包括三个主冷却部件和一个副冷却部件，其中，一个主冷却部件喷出的冷却液用于冲洗硅片的磨削位置，另外两个主冷却部件喷出的冷却液分别用于冲洗硅片磨削位置的两侧面，所述副冷却部件喷出的冷却液用于冲洗磨轮与硅片接触的位置。
[0006]所述三个主冷却部件均通过连接件设置在倒角机上，所述连接件包括与倒角机机架连接的固定板和与主冷却部件连接的连接板，其中，固定板上设置有条状通槽I，调节螺栓I穿过条状通槽I后将固定板固定在倒角机的机架上，并通过改变调节螺栓I位于条状通槽I中的位置调节连接件与倒角机机架的相对位置，所述连接板设置在固定板一端且与其呈一定夹角，该夹角大于ο度小于180度。
[0007]所述主冷却部件包括基板和侧板，其中，侧板设置在基板的一端且与其呈一定夹角，该夹角大于0度小于180度，侧板上设置有条状通槽II，调节螺栓II穿过条状通槽II后将侧板固定，并通过改变调节螺栓II位于条状通槽II中的位置调节主冷却部件的位置，所述基板中设置有冷却液通道I，冷却液通道I的一端通入外接冷却液，另一端与圆形喷管连接。
[0008]所述副冷却部件通过连接件设置在倒角机上，所述连接件包括与倒角机机架连接的固定板和与主冷却部件连接的连接板，其中，固定板上设置有条状通槽，调节螺栓穿过条状通槽后将固定板固定在倒角机的机架上，并通过改变调节螺栓位于条状通槽中的位置调节连接件与倒角机机架的相对位置，所述连接板设置在固定板一端且与其呈一定夹角，该夹角大于0度小于180度。
[0009]所述副冷却部件包括内部设有冷却液通道II的座体，冷却液通道II的一端通入外接冷却液，另一端与喷头连接，所述座体上设置有导柱，以通过转动导柱改变喷头的朝向。
[0010]所述喷头的喷嘴形状为椭圆形，以使其喷出的冷却液呈伞状并完全覆盖磨轮。
[0011]有益效果:本实用新型通过设置三个主冷却部件和一个副冷却部件从多个方向、多个角度进行冷却，主冷却部件能使冷却液顺利进入磨削区域，大大改善磨削区散热条件，不仅使反应生成物迅速脱离硅片表面，更重要的是降低了由于摩擦产生的热量引起硅片表面局部过高的温度，使硅片表面温度一致性好，解决硅片边缘碎裂所引起的表面质量下降的问题。副冷却部件能使磨削时的反应物完全及时脱离磨削区域，避免反应物二次进入磨削区域，保证硅片磨削质量和延长磨轮槽寿命。本装置具有水流稳定、波动微小、冲洗更加精准等显著优点，实现了冷却液有效及时带走磨削热量，降低局部表面温度，避免表面烧伤和磨削时硅片碎裂，保证磨削质量，从而大大提高倒角机的收率及产品的稳定。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型使用时的示意图；
[0013]图2为连接件的结构示意图；
[0014]图3为主冷却部件与连接件的连接示意图；
[0015]图4为副冷却部件的结构示意图；
[0016]图5为副冷却部件中喷嘴的结构示意图；
[0017]附图标记:1、连接件，101、固定板，102、连接板，103、条状通槽I，104、调节螺栓
I，2、主冷却部件，201、侧板，202、基板，203、条状通槽II，204、调节螺栓II，205、冷却液通道I，206、圆形喷管，3、副冷却部件，301、冷却液通道II，302、座体，303、导柱，304、喷头，305、喷嘴，4、硅片，5、磨轮。
【具体实施方式】
[0018]如图所示，一种硅片倒角机冷却液冲洗装置，包括三个主冷却部件2和一个副冷却部件3，其中，一个主冷却部件2喷出的冷却液用于冲洗硅片4的磨削位置，另外两个主冷却部件2喷出的冷却液分别用于冲洗硅片4磨削位置的两侧面，所述副冷却部件3喷出的冷却液用于冲洗磨轮5与硅片4接触的位置。
[0019]以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进或优化:
[0020]如，所述三个主冷却部件2均通过连接件1设置在倒角机上，所述连接件1