一种太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于机械装置技术领域，涉及一种在太阳能电池生产过程中使用的多晶制绒蚀刻设备，特别是一种太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置。
【背景技术】
[0002]在太阳能电池生产制造中，制绒清洗工序主要用于对硅片表面进行处理，通过多晶制绒蚀刻设备将太阳能电池生产线上硅片扩散前的硅片表面的油类分子、金属杂质、机械损伤层去除以及制作金字塔绒面。对于不同的硅片有不同的蚀重要求(把硅片表面损伤层、油污等通过化学品腐蚀的原理进行清洗，清洗后和硅片清洗前的重量比称为蚀重)，目前采用的是人工使用电子秤测量，只能抽检，且检测数据精确度不够。
[0003]我国专利(公告号:CN201397822 ;公开日:2010-02-03)公开了一种带预热的手动制绒清洗机，包括清洗槽总成、冷水进水管、排水管和电气控制单元，在清洗槽总成的每个工作槽内分别设有第一电加热装置，第一电加热装置与电气控制单元电联接，在清洗槽总成的后面通过支架设有一个预热水箱，预热水箱的进水口连接冷水进水管，预热水箱的出水口通过管路和阀门分别通向清洗槽总成的每个工作槽内，在预热水箱内设有与电气控制单元电联接的第二电加热装置。
[0004]上述专利中没有专门的蚀重检测设备，只能采用传统的抽检测量方法，工作量大，工作效率低，且难以保证测量的准确性。
【发明内容】
[0005]本实用新型针对现有的技术存在的上述问题，提供一种太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置，本实用新型所要解决的技术问题是:如何对太阳能电池多晶制绒蚀刻的蚀重进行自动化的实时监测。
[0006]本实用新型目的可通过下列技术方案来实现:
[0007]—种太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置，多晶制绒蚀刻设备包括蚀刻装置，其特征在于，所述蚀重监测装置包括控制器以及能够称出硅片重量的天平秤一和天平秤二，所述天平秤一位于蚀刻装置的进料端，所述天平秤二位于蚀刻装置的出料端，所述天平秤一上具有称重托盘一，所述天平秤二上具有称重托盘二，所述称重托盘一与所述蚀刻装置之间以及所述称重托盘二与所述蚀刻装置之间均具有传动滚轮，所述天平秤一和天平秤二均能够将所称出的硅片重量数据传输至所述控制器。
[0008]其原理如下:本技术方案中通过在蚀刻装置的进料端设置天平秤一，将蚀刻前的硅片放置在称重托盘一上称出蚀刻前的重量，称重后通过传动滚轮进行蚀刻，蚀刻装置的出料端设置天平秤二，蚀刻后的硅片进入天平秤二的称重托盘二上称出硅片蚀刻后的重量，天平秤一和天平秤二所称出的硅片重量数据均传输至控制器，控制器进行运算，得出硅片蚀刻前与蚀刻后的重量比，即得出蚀刻数值，控制器中事先根据生产需要设定允许误差的范围区间，得出的蚀刻数值与该范围区间进行比对，看是否满足工艺要求，如蚀刻重量不在标准范围区间内，则通过控制器自动报警提醒技术人员调整工艺。
[0009]本蚀重监测装置能够自动对每个硅片进行实时监控，实现在线监测蚀重，保证产品工艺质量。自动化程度高，检测精准，误差小。
[0010]在上述的太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置中，所述天平秤一下方设有能够带动称重托盘一升降的升降结构一，所述天平秤二下方设有能够带动称重托盘二升降的升降结构二，所述天平秤一和天平秤二上方两侧均设有传动滚轮，所述升降结构一能够带动称重托盘一伸到所述传动滚轮的上方，所述升降结构二能够带动称重托盘二伸到所述传动滚轮的上方。称重托盘一在有硅片时高与传动滚轮，对硅片称重后自动下降，硅片经传动滚轮进入蚀刻装置进行蚀刻，清洗蚀刻后的硅片经过传动滚轮移送到天平秤二的上方，称重托盘二上升对硅片称重，称重后再自动下降。能够避免硅片的传送与硅片的称重相互干涉。
[0011]在上述的太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置中，所述升降结构一和升降结构二均包括至少两幅交叉剪伸缩臂，所述交叉剪伸缩臂为两个中部相互铰接连杆，两个连杆之间还设有能使两连杆做剪切运动的液压缸。
[0012]在上述的太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置中，所述升降结构一和升降结构二均为气缸。
[0013]在上述的太阳能电池多晶制绒蚀刻设备的蚀重监测装置中，所述控制器为单片机控制器或PLC控制器。单片机控制器具有系统结构简单、用方便、可靠性高、低电压、低功耗等优点；PLC控制器具有功能完善、可靠性高、抗干扰能力强等优点。
[0014]与现有技术相比，本实用新型的优点如下:
[0015]1、本蚀重监测装置能够自动对每个硅片进行实时监控，实现在线监测蚀重，保证产品工艺质量，其自动化程度高，检测精准，误差小。
[0016]2、本蚀重监测装置通过设置升降结构一和升降结构二，分别带动称重托盘一和称重托盘二升降，能够避免硅片的传送与硅片的称重相互干涉。
【附图说明】
[0017]图1是本蚀重监测装置结构示意图。
[0018]图中，1、蚀刻装置；2、天平秤一 ；3、天平秤二 ；4、称重托盘一 ；5、称重托盘二 ；6、传动滚轮；7、控制器；8、升降结构一 ；9、升降结构二。
【具体实施方式】
[0019]以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
[0020]如图1所示，多晶制绒蚀刻设备包括蚀刻装置1，本蚀重监测装置包括控制器7以及能够称出硅片重量的天平秤一 2和天平秤二 3，天平秤一 2位于蚀刻装置1的进料端，天平秤二 3位于蚀刻装置1的出料端，天平秤一 2上具有称重托盘一 4，天平秤二 3上具有称重托盘二 5，称重托