一种风刀及具有风刀的湿法处理装置的制造方法

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一种风刀及具有风刀的湿法处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及湿制程设备领域,尤其涉及一种风刀及具有风刀的湿法处理装置。
【背景技术】
[0002]太阳能电池生产过程中,在对太阳能电池片化学湿法处理清洗后,需要对硅片进行干燥以便后续作业。
[0003]传统方法,需要把硅片装入硅片盒中,放入甩干机进行甩干。生产效率较低,不适合水平湿法处理。
[0004]现有的水平湿法处理设备中采用的风刀结构,具有如下问题:一是采用压缩空气吹干,需要一直消耗洁净的压缩空气,成本较高;二是采用一般高压风机供气的风刀,但是由于现有的风刀结构不合理,经过风刀吹气处理后的硅片上仍会有少量的水残留,为了去除残留的水分,需要增加空气压力和流量,容易导致硅片破裂,碎片率上升。
[0005]现有技术中没有一种结构合理的风机,在压力与风量需求适中的前提下,既能够保证硅片不会破裂,又能够完全去除硅片上的水分。
【实用新型内容】
[0006]为克服现有技术的不足,本实用新型的目的是:提供一种风刀及具有风刀的湿法处理装置,风刀的进风压力与风量需求适中,气流结构设计合理,出气均匀且向不同的角度喷出,防止硅片受力不均而发生破裂或残留水渍。
[0007]为了解决【背景技术】中的技术问题,本实用新型提供了一种风刀,包括壳体和出风壳体,所述进风壳体与出风壳体连通,所述进风壳体设置有进风口,所述出风壳体设置有多个排风通道,每个排风通道向水平面倾斜设置,所述排风通道与水平面的夹角为排风通道的倾斜角度,且多个排风通道的倾斜角度不完全相同。
[0008]可选地,所述排风通道的孔径范围为0.5mm-1.5mm。
[0009]优选地,所述出风壳体和进风壳体均为长条体,所述出风壳体上远离进风壳体的端部为排风部,所述排风通道设置在所述排风部上。
[0010]优选地,所述排风部上设置有多个排风通道组,每个排风通道组包括多个排风通道,每个排风通道组的多个排风通道排成一排,每个排风通道与排风部端面形成夹角,所述夹角范围为40° -80°。
[0011]进一步地,每一个排风通道组的排风通道沿着排风部的长度方向设置,任意两个排风通道组的排风通道交错分布。
[0012]具体地,每个排风通道在出风方向上均向着出风壳体长度方向的同一侧面倾斜,同一个排风通道组的排风通道的倾斜角度均相同,越靠近所述同一侧面的排风通道组中排风通道的倾斜角度越小。
[0013]优选地,相邻两个排风通道组的排风通道的倾斜角度差值均相等。
[0014]进一步地,优选地,所述进风腔的宽度大于排风腔的宽度,所述进风壳体和出风壳体均由玻璃纤维增强环氧树脂板制成。
[0015]优选地,所述进风壳体上远离出风壳体的表面为中部高两边低的倾斜结构,所述倾斜结构由倾斜结构中部向进风壳体上沿着长度方向的两个侧面倾斜而形成。
[0016]本实用新型还提供了一种具有风刀的湿法处理装置,包括两个如上所述的风刀,两个风刀的排风部相对设置。
[0017]采用上述技术方案,本实用新型的风刀的进风压力与风量需求适中,气流结构设计合理,出气均匀且向不同的角度喷出,防止硅片受力不均而发生破裂或残留水渍。
【附图说明】
[0018]为了更清楚地说明本实用新型的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它附图。
[0019]图1是本实用新型实施例提供的风刀的正视图;
[0020]图2是本实用新型实施例提供的风刀的左视图;
[0021]图3是本实用新型实施例提供的风刀的安装示意图;
[0022]图4是本实用新型实施例提供的风刀的出风壳体的侧视图;
[0023]图5是本实用新型实施例提供的风刀的排风通道的分布示意图。
[0024]其中,图中附图标记对应为:1_风刀壳体,2-出风壳体,21-排风腔,22-排风通道,23-排风部,3-进风壳体,31-进风腔,32-进风口,41-固定块,42-连接件,43-螺检,44-支撑块,5-娃片。
【具体实施方式】
[0025]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0026]实施例1:图1是本实用新型实施例提供的风刀的正视图,图2是本实用新型实施例提供的风刀的左视图,从图中可以清楚地看出,本实施例提供的风刀包括进风壳体3和出风壳体2,所述进风壳体3内部具有进风腔31,所述出风壳体2内部具有排风腔21,所述进风腔31与排风腔21连通,所述进风壳体3表面设置有进风口 32,所述出风壳体2设置有多个排风通道22,每个排风通道22向水平面倾斜设置,所述排风通道22与水平面的夹角为排风通道22的倾斜角度,且多个排风通道22的倾斜角度不完全相同。
[0027]为了同时能对多个硅片5进行干燥处理,本实施例中,所述出风壳体2和进风壳体3均为长条体,为了保证所述进风壳体3与出风壳体2的密封连接,所述风刀上设置有多个用于连接所述进风壳体3与出风壳体2的连接件42,所述出风壳体2上远离进风壳体3的端部为排风部23,所述排风通道22设置在所述排风部23上。
[0028]如图1所示,所述进风壳体3上远离出风壳体2的表面为中部高两边低的倾斜结构,所述倾斜结构由倾斜结构中部向进风壳体3上沿着长度方向的两个侧面倾斜而形成,本实施例中,所述进风壳体3具有一个进风口 32,所述进风口 32设置在进风壳体3的前端面上,进入进风口 32的气流在进风壳体3的倾斜结构侧面导流作用下更容易进入到出风壳体2。
[0029]由于风机的出口与进风壳体3的进风口 32连接,所述风机的排风气流通过进风壳体3的进风腔31再进入排风腔21,最后通过排风通道22排出所述风刀并对硅片5进行吹干,因此,所述进风腔31的宽度优选设置为大于排风腔21的宽度,本实施例中缩减排风腔21的宽度是为了减小风机的排风气流排出风刀的强度,避免在对硅片5进行干燥处理时造成娃片5破裂的情况。
[0030]本实施例中,所述排风部23上设置有三个排风通道组,每个排风通道组包括多个排风通道22,每个排风通道组的多个排风通道22排成一排,每个排风通道22与排风部23端面形成夹角,所述夹角范围为40° -80°,如图4所示,当所述风刀水平放置时,所述排风通道22与排风部23端面形成的夹角即为所述排风通道22向水平面倾斜的倾斜角度。
[0031 ] 具体地,每一个排风通道组的排风通道22沿着排风部23的长度方向设置,任意两个排风通道组的排风通道22交错分布,从图5中可以清楚地看出所述的交错分布是指三个排风通道组中的排风通道22没有上下一一对齐,最为最优的一种交错分布的排列方式为三排中的第一排的第一个排风通道22的左边沿与第三排的第一个排风通道22的右边沿对齐,而右边沿与第二排的第一个排风通道22的左边沿对齐,依次这样排列形成三个排风通道组。
[0032]具体地,每个排风通道22在出风方向上均向着出风壳体2长度方向的同一侧面倾斜,同
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