扩散硅板舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种扩散硅板舟，尤其涉及一种防止进出扩散炉时出现推拉杆撞击硅片导致破片的扩散硅板舟。
【背景技术】
[0002]目前使用的硅板舟(如中国专利“高温扩散舟”，专利号“ZL201020612510.1”)在生产过程中已频繁出现操作工在进出炉时，推拉杆没有准确挂到拉孔上，而撞击到硅片边缘，出现硅片破损缺角，导致在后道工序中出现更多地破片，造成生产成本高，生产效率低下。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型针对以上问题，提供了一种增加保护硅片装置、降低生产成本的扩散娃板舟。
[0004]本实用新型的技术方案是:包括矩形底板和两排立柱一，所述矩形底板的一端设有拉孔，所述两排立柱一对称设在所述矩形底板长边的两侧，四根相邻立柱一形成硅片的容置空间，在所述矩形底板上设有硅片的保护机构，所述保护机构位于所述拉孔和与所述拉孔相邻的立柱一之间。
[0005]所述保护机构为立板，所述立板上均匀设有若干通孔，所述立板的中心线与所述拉孔的中心线在所述矩形底板的轴线上。
[0006]所述保护机构为两根立柱二，所述两根立柱二的间距小于拉孔的孔径。
[0007]所述立柱一和立柱二为锥形的碳化硅棒。
[0008]本实用新型的有益效果是:在拉孔和硅片放置位置之间增加保护机构，有效避免在进出扩散炉时，因推拉杆没有准确挂到拉孔上，而撞击到硅片边缘，出现硅片破损缺角的情况，保证了整个工序的产品品质，提高生产效率。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型第一种实施方式的主视图，
[0010]图2是图1的A-A剖视图，
[0011 ]图3是本实用新型第二种实施方式的主视图，
[0012]图4是图3的B-B剖视图；
[0013]图中1是底板，2是立柱一，3是拉孔，4是立板，5是立柱二，6是硅片。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本实用新型作具体说明。
[0015]本实用新型包括矩形底板1和两排立柱一2，所述矩形底板1的一端设有拉孔3，方便推拉杆勾住，将整个扩散硅片舟推进或拉出扩散炉;所述两排立柱一 2对称设在所述矩形底板1长边的两侧，四根相邻立柱一2形成硅片6的容置空间，若干硅片6堆叠在这个容置空间中；在所述矩形底板1上设有硅片6的保护机构，所述保护机构位于所述拉孔3和与所述拉孔3相邻的立柱一 2之间。
[0016]图1-2是本实用新型的第一种实施方式，所述保护机构为立板4，所述立板4上均匀设有若干通孔，方便扩散源的扩散，所述立板4的中心线与所述拉孔3的中心线在所述矩形底板1的轴线上，有效阻挡推拉杆碰到硅片。
[0017]图3-4是本实用新型的第二种实施方式，所述保护机构为两根立柱二5，所述两根立柱二 5的间距小于拉孔3的孔径，在不影响扩散源扩散的情况下有效阻挡推拉杆碰到硅片。
[0018]所述立柱一2和立柱二 5为锥形的碳化硅棒，碳化硅耐高温，提高本实用新型的使用寿命;锥形碳化硅棒比长方体的碳化硅棒接触面积大，提升扩散效果，并方便将立柱一 2、立板4和立柱二 5设为相对于矩形底板1可拆卸的，有利于运输及清洗。
【主权项】
1.扩散硅板舟，包括矩形底板和两排立柱一，所述矩形底板的一端设有拉孔，所述两排立柱一对称设在所述矩形底板长边的两侧，四根相邻立柱一形成硅片的容置空间，其特征在于，在所述矩形底板上设有硅片的保护机构，所述保护机构位于所述拉孔和与所述拉孔相邻的立柱一之间。2.根据权利要求1所述的扩散硅板舟，其特征在于，所述保护机构为立板，所述立板上均匀设有若干通孔，所述立板的中心线与所述拉孔的中心线在所述矩形底板的轴线上。3.根据权利要求1所述的扩散硅板舟，其特征在于，所述保护机构为两根立柱二，所述两根立柱二的间距小于拉孔的孔径。4.根据权利要求3所述的扩散硅板舟，其特征在于，所述立柱一和立柱二为锥形的碳化娃棒。
【专利摘要】扩散硅板舟。涉及一种扩散硅板舟，尤其涉及一种防止进出扩散炉时出现推拉杆撞击硅片导致破片的扩散硅板舟。增加保护硅片装置、降低生产成本。所述矩形底板的一端设有拉孔，所述两排立柱一对称设在所述矩形底板长边的两侧，四根相邻立柱一形成硅片的容置空间，在所述矩形底板上设有硅片的保护机构，所述保护机构位于所述拉孔和与所述拉孔相邻的立柱一之间。所述保护机构为立板，所述立板上均匀设有若干通孔，所述立板的中心线与所述拉孔的中心线在所述矩形底板的轴线上。有效避免在进出扩散炉时，因推拉杆没有准确挂到拉孔上，而撞击到硅片边缘，出现硅片破损缺角的情况，保证了整个工序的产品品质，提高生产效率。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN205092227
【申请号】CN201520899458
【发明人】喻慧丹, 裘立强, 王毅
【申请人】扬州杰利半导体有限公司
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2015年11月12日