一种大尺寸发光二极管的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及发光二极管技术领域，尤其是指一种大尺寸发光二极管。
【背景技术】
[0002]现有技术中，大尺寸发光二极管包括p区、η区及有源区，有源区设置在ρ区与η区之间，在Ρ区的ΙΤ0 (氧化铟锡)导电层上设置第一电极(Ρ电极);在η区的衬底上设置第二电极(η电极)。
[0003]所述大尺寸发光二极管通常在有源区上设置限制层，在限制层上设置电流扩展层，在电流扩展层上设置一层欧姆接触层，在单层的欧姆接触层上直接蒸镀ΙΤ0 (氧化铟锡)导电层，其缺陷在于:
[0004]单层ΙΤ0导电层的电流扩展效果较差，使得扩展电极的挡光面积较大，进而使得二极管发光效率较低。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种大尺寸发光二极管，以提高ΙΤ0导电层的电流扩展效果，减少扩展电极的挡光面积，提高发光二极管的发光效率，降低制造成本。
[0006]为达成上述目的，本实用新型的解决方案为:
[0007]—种大尺寸发光二极管，包括ρ区、η区及有源区，有源区设置在ρ区与η区之间，在Ρ区上设置第一电极，在η区上设置第二电极；其特征在于:ρ区设置复合的多层欧姆接触层结构，ΙΤ0导电层蒸镀在复合的多层欧姆接触层结构上，第一电极设置在ΙΤ0导电层上。
[0008]进一步，复合的多层欧姆接触层结构为多层欧姆接触层之间分别形成腐蚀截止层。
[0009]进一步，复合的多层欧姆接触层结构为多层欧姆接触层之间分别形成电流阻挡层。
[0010]进一步，ΙΤ0导电层与复合的多层欧姆接触层结构之间形成阶梯状接触面。
[0011]进一步，阶梯状接触面形成于复合的多层欧姆接触层结构的外周缘。
[0012]进一步，阶梯状接触面形成于复合的多层欧姆接触层结构的中心位置。
[0013]进一步，在有源区与复合的多层欧姆接触层结构之间依次生成第二型限制层和电流扩展层。
[0014]进一步，η区为在衬底上生成布拉格反射层，在布拉格反射层上生成第一型限制层，第一型限制层与有源层连接，第二电极生成在衬底上。
[0015]进一步，在有源区与复合的多层欧姆接触层结构之间依次生成限制层和第二型导电层。
[0016]进一步，η区为在衬底上生成非故意掺杂层，在非故意掺杂层上生成第一型导电层，第一型导电层与有源层连接，第二电极生成在第一型导电层上。
[0017]一种大尺寸发光二极管制作工艺，在发光二极管顶部外延生长复合的多层欧姆接触层结构，在多层欧姆接触层结构上设置阶梯状的多个接触平面与ΙΤ0导电层形成立体的欧姆接触，包括以下步骤:
[0018]一，在外延衬底上依次生成布拉格反射层、第一型限制层、有源区、第二型限制层、电流扩展层；
[0019]二，在电流扩展层上设置η组交替生长的欧姆接触层与腐蚀截止层，组成复合多层欧姆接触层结构；
[0020]三，在复合多层欧姆接触层结构顶部第η层的欧姆接触层表面采用掩膜、光刻、湿法腐蚀工艺，除去非预留区域的第η层的欧姆接触层表面及腐蚀截止层，露出第η-1层的欧姆接触层。
[0021]四、在裸露第η-1层的欧姆接触层表面再采用掩膜、光刻、湿法腐蚀工艺，除去非预留区域的第η-1层的欧姆接触层表面及腐蚀截止层，露出第η-2层的欧姆接触层。
[0022]五、重复步骤四的工艺直至裸露出第一层欧姆接触层，形成阶梯状表面；
[0023]六，蒸镀ΙΤ0导电层与阶梯状的多欧姆接触面形成接触，在ΙΤ0导电层上设置第一电极，在衬底上设置第二电极。
[0024]进一步，阶梯状接触面形成于复合的多层欧姆接触层结构的外周缘。
[0025]进一步，阶梯状接触面形成于复合的多层欧姆接触层结构的中心位置。
[0026]一种大尺寸发光二极管制作工艺，在发光二极管顶部外延生长复合的多层欧姆接触层结构，在多层欧姆接触层结构上设置阶梯状的多个接触平面与ΙΤ0导电层形成立体的欧姆接触，包括以下步骤:
[0027]—，在外延衬底上依次生成非故意掺杂层、第一型导电层、有源区、限制层、第二型导电层；
[0028]二，在第二型导电层上设置η组交替生长的欧姆接触层与电流阻挡层，组成复合多层欧姆接触层结构；
[0029]三，在复合多层欧姆接触层结构顶部第η层的欧姆接触层表面采用掩膜、光刻、ICP干法腐蚀工艺，除去非预留区域的第η层的欧姆接触层表面及电流阻挡层，露出第η-1层的欧姆接触层。
[0030]四、在裸露第η-1层的欧姆接触层表面再采用掩膜、光刻、ICP干法腐蚀工艺，除去非预留区域的第η-1层的欧姆接触层表面及电流阻挡层，露出第η-2层的欧姆接触层。
[0031]五、重复步骤四的工艺直至裸露出第一层欧姆接触层，形成阶梯状表面；
[0032]六，蒸镀ΙΤ0导电层与阶梯状的多欧姆接触面形成接触；
[0033]七，采用ICP蚀刻至第一型导电层；
[0034]八、在ΙΤ0导电层上设置第一电极，在第一型导电层上设置第二电极。
[0035]进一步，阶梯状接触面形成于复合的多层欧姆接触层结构的外周缘。
[0036]进一步，阶梯状接触面形成于复合的多层欧姆接触层结构的中心位置。
[0037]采用上述方案后，本实用新型采用复合的多层欧姆接触层结构，其总厚度远小于ΙΤ0导电层厚度，ΙΤ0导电层较好地与复合的多层欧姆接触层结构蒸镀在一起，达到电流扩展和电流阻挡相互结合的作用；从而提高ΙΤ0导电层的电流扩展效果，减少扩展电极的挡光面积，提高发光二极管的发光效率，降低制造成本。
[0038]复合的多层欧姆接触层结构为多层欧姆接触层之间分别形成腐蚀截止层，设计腐蚀截止层既能用于之后的阶梯式欧姆接触层的芯片制作，又能充当电流阻挡的作用。
[0039]ΙΤ0导电层与复合的多层欧姆接触层结构之间形成阶梯状接触面，从而可以调整与ΙΤ0导电层接触的欧姆接触层随着电极距离的变大，欧姆接触值渐变地变小，使得ΙΤ0电流扩展效果在离电极距离越远欧姆接触越好，使得电流更易于流向离电极远的芯片部分，增加ΙΤ0的电流扩展效果，进而使得大尺寸的芯片在无扩展电极情况下，电流也能较好地扩展到边沿；主要通过欧姆接触层材料A1组分的变化或掺杂浓度的变化来实现不同的欧姆接触。
【附图说明】
[0040]图1为本实用新型实施例一的工艺步骤一；
[0041]图2为本实用新型实施例一的工艺步骤二 ；
[0042]图3为本实用新型实施例一的工艺步骤三；
[0043]图4为本实用新型实施例一的工艺步骤四；
[0044]图5为本实用新型实施例一的工艺步骤五；
[0045]图6a为本实用新型实施例一的结构示意图；
[0046]图6b为本实用新型实施例一的另一结构示意图；
[0047]图7为本实用新型实施例二的工艺步骤一；
[0048]图8为本实用新型实施例二的工艺步骤二 ；
[0049]图9为本实用新型实施例二的工艺步骤三；
[0050]图10为本实用新型实施例二的工艺步骤四；
[0051]图11为本实用新型实施例二的结构示意图。
[0052]标号说明
[0053]ρ区1第一电极11
[0054]欧姆接触层结构12ΙΤ0导电层13
[0055]第一欧姆接触层121第一腐蚀截止层122
[0056]第二欧姆接触层123第二腐蚀截止层124
[0057]第三欧姆接触层125第一电流阻挡层126
[0058]第二电流阻挡层127阶梯状接触面14
[0059]第二型限制层15电流扩展层16
[0060]限制层17第二型导电层18
[0061]η区2第二电极21
[0062]衬底22布拉格反射层23
[0063]第一型限制层24非故意掺杂层25
[0064]第一型导电层26有源区3
[0065]电极隔离层4。
【具体实施方式】
[0066]以下结合附图及具体实施例对本实用新型做详细描述。
[0067]参阅图1至图6a所示，本实用新型揭示的一种大尺寸发光二极管实施例一，如图6a所示，包括ρ区1、η区2及有源区3，有源区3设置在ρ区1与η区2之间，在ρ区1上设置第一电极11，在