一种便于清洁的asm2000plus外延机台后法兰装置的制造方法

文档序号:10248415阅读:736来源:国知局
一种便于清洁的asm2000plus外延机台后法兰装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种便于清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置。
【背景技术】
[0002]国内现有的ASM2000PLUS外延设备,ASM公司说明书和工程师,建议短期维护后法兰不要拆下,直接在设备上直接清洁。半年期维护,在较长的维护时间时,再拆下后法兰彻底清洁。但是由于后法兰下部倒三角区域空间狭小,清洁困难,短期维护时如果不把后法兰整体拆下,很难彻底清洁干净。
[0003]设备外延生长期间,ASM2000PLUS在装取片时的气流流量变化,会引起后法兰中残留颗粒回流腔体,对于传统的小尺寸产品影响不大,而8英寸硅外延产品对颗粒要求很高,后法兰中的颗粒回流会造成产品颗粒超标等缺陷。
[0004]生产8英寸外延产品时,高标准的质量要求短期维护也要保证后法兰的洁净,而机台设计时没有考虑到这一点,后法兰下侧与冷却水管相连,拆装非常麻烦。因此方便拆装清洁后法兰的装置亟待开发。
【实用新型内容】
[0005]实用新型目的:本实用新型的目的是提供一种便于拆装和清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置。
[0006]技术方案:为达到此目的,本实用新型采用以下技术方案:
[0007]本实用新型所述的便于清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置,包括后法兰、第一冷却水管、第二冷却水管和VCR组件,第一冷却水管的一端连接后法兰,第一冷却水管的另一端连接VCR组件,第二冷却水管的一端连接VCR组件,第二冷却水管的另一端连接冷却水管路。
[0008]进一步,所述VCR组件包括两个1/4英寸卡套直通接头、一个1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR母接头以及一个1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR公接头。
[0009]有益效果:本实用新型在两段冷却水管之间连接了可拆卸的VCR组件,在清洁时只需拆开VCR组件,就能将后法兰与冷却水管之间断开,能够方便、快速地完成ASM2000PLUS外延机台后法兰的清洁,特别适用于短期维护时间紧的情形。
【附图说明】
[0010]图I为本实用新型的结构示意图;
[0011 ]图2为本实用新型的后法兰的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图,对本实用新型的技术方案做进一步的阐述。
[0013]本实用新型公开了一种便于清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置,如图I所示,包括后法兰I、第一冷却水管2、第二冷却水管3和VCR组件4,第一冷却水管2的一端连接后法兰I,第一冷却水管2的另一端连接VCR组件4,第二冷却水管3的一端连接VCR组件4,第二冷却水管3的另一端连接冷却水管路。后法兰的结构如图2所示。VCR组件4包括两个1/4英寸卡套直通接头、一个1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR母接头以及一个1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR公接头。其中,“1/4英寸卡套直通接头”的英文全称为“1/4〃SWAGEL0K TubeStraight Fitting”,“1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR母接头”的英文全称为“1/4〃SffAGELOK Male to 1/4〃VCR Female Connectors”,“1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR公接头”的英文全称为 “l/VSWAGELOK Male tol/T'VCR Male Connectors”。
[0014]本实用新型在进行拆装清洁时非常方便,具体过程如下:
[0015]步骤一:清洁前,放空第一冷却水管2与第二冷却水管3中的水,使用扳手将VCR组件4的内螺纹螺母和外螺纹螺母松开,使得后法兰I与第二冷却水管3分离;
[0016]步骤二:清洁后法兰I;
[0017]步骤三:清洁完毕后,在VCR组件4的内螺纹螺母和外螺纹螺母之间安装新的垫片,用扳手拧紧,打开冷却水回路,观察是否漏水,如漏水则需要重新更换垫片或再次用扳手拧紧,如不漏水则安装完毕。
[0018]8英寸外延产品对颗粒度要求极高,而采用常规短期维护方法不能完全清洁后法兰I,产品的颗粒度超标难以避免。本实用新型提出的将与后法兰I连接的冷却水管从中间断开,在断开的两端加上VCR组件4,可以方便在短期维护的时候进行后法兰I的拆装清洁,保证后法兰I的洁净。而VCR组件4的拆装较原装置而言,十分方便快捷,所以本实用新型可以在短期维护时间紧的情况下,快速拆装清洁后法兰I。
【主权项】
1.一种便于清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置,其特征在于:包括后法兰(I)、第一冷却水管(2)、第二冷却水管(3)和VCR组件(4),第一冷却水管(2)的一端连接后法兰(I),第一冷却水管(2)的另一端连接VCR组件(4),第二冷却水管(3)的一端连接VCR组件(4),第二冷却水管(3)的另一端连接冷却水管路。2.根据权利要求I所述的便于清洁的ASM2000PLUS外延机台后法兰装置,其特征在于:所述VCR组件(4)包括两个1/4英寸卡套直通接头、一个1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR母接头以及一个1/4英寸卡套公接头-1/4英寸VCR公接头。
【专利摘要】本实用新型公开了一种便于清洁的ASM2000?PLUS外延机台后法兰装置,包括后法兰、第一冷却水管、第二冷却水管和VCR组件,第一冷却水管的一端连接后法兰,第一冷却水管的另一端连接VCR组件,第二冷却水管的一端连接VCR组件,第二冷却水管的另一端连接冷却水管路。本实用新型在两段冷却水管之间连接了可拆卸的VCR组件,在清洁时只需拆开VCR组件,就能将后法兰与冷却水管之间断开,能够方便、快速地完成ASM2000?PLUS外延机台后法兰的清洁,特别适用于短期维护时间紧的情形。
【IPC分类】H01J37/32
【公开号】CN205159278
【申请号】CN201520955381
【发明人】邱孟逊, 袁夫通, 肖健, 金龙
【申请人】南京国盛电子有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月25日
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