一种用于硅片清洗的大花篮的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于硅片清洗的大花篮，属于光伏组件技术领域。
【背景技术】
[0002]面对不断加重的全球能源危机、环境问题，太阳能光伏发电技术已经成为半导体行业的新的发展热点。
[0003 ]太阳能电池的制造分为制绒、扩散、等离子刻蚀、PSG清洗、PECVD
[0004]镀膜、丝网印刷、烧结等工序，而在扩散工序之后，需要对扩散后的硅片进行化学试剂清洗，清洗扩散后硅片N面的PSG层。现有的清洗设备为常规槽式清洗装置，使用的大花篮的底部均是水平的，小花篮则平放在大花篮内部，硅片在小花篮内是向小花篮两侧随机倾斜的。由于清洗过程的鼓泡及水流作用，部分硅片N面会接触到小花篮的边缘，造成化学试剂不能与N面充分接触，导致N面的PSG层不能去除干净，硅片表面最终形成脏污，对电池片效率有较大的负面影响。
[0005]有鉴于此，开发一种新的大花篮，解决硅片N面接触小花篮边缘的问题，显然具有积极的现实意义。
【发明内容】
[0006]本实用新型的发明目的是提供一种用于硅片清洗的大花篮。
[0007]为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于硅片清洗的大花篮，大花篮内设有复数个小花篮，所述大花篮和小花篮之间还设有垫块，所述垫块使得小花篮向一侧倾斜。
[0008]优选地，所述倾斜的角度范围为8°?12°。
[0009]优选地，所述垫块为三角形垫块。
[0010]进一步技术方案中，所述三角形垫块为直角三角形垫块，所述直角三角形垫块的斜边与小花篮相抵，所述直角三角形垫块的一条直角边与大花篮固定连接。
[0011 ]优选地，在小花篮倾斜方向的一侧设有挡板。
[0012]进一步技术方案中，所述挡板为矩形挡板。
[0013]优选地，所述大花篮和垫块为一体结构。
[0014]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
[0015]I.本实用新型在大花篮和小花篮之间设置垫块，使放置在小花篮内的硅片因重力向一侧倾斜，避免了硅片N面接触小花篮边缘，使得硅片的N面的PSG层可以充分接触化学试剂，提高了去除PSG的清洗效果，减少了脏污，提高了电池片效率；
[0016]2.本实用新型结构简单，便于推广使用。
【附图说明】
[0017]图I是本实用新型实施例一的结构示意图。
[0018]其中：1、大花篮;2、小花篮;3、垫块;4、挡板。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
[0020]实施例一：
[0021]参见图I所示，一种用于硅片清洗的大花篮，大花篮I内设有复数个小花篮2，大花篮I和小花篮2之间还设有垫块3，垫块使得小花篮2向一侧倾斜，所斜的角度范围为8°?12。。
[0022]本实施例中，垫块3为直角三角形垫块，所述直角三角形垫块的斜边与小花篮相抵，所述直角三角形垫块的一条直角边与大花篮固定连接。
[0023]本实施例中，在小花篮倾斜方向的一侧设有矩形挡板4。
[0024]本实施例中，大花篮I和垫块3为一体成型结构。
[0025]在清洗硅片的时候，将硅片放在本实用新型的小花篮里面，P面与小花篮接触，N面不与小花篮的接触。由于N面不与小花篮接触，那么N面的PSG层可以充分接触化学试剂，提高了去除PSG的清洗效果，减少脏污，提高了效率。
【主权项】
1.一种用于硅片清洗的大花篮，大花篮内设有复数个小花篮(2)，其特征在于:所述大花篮(I)和小花篮(2)之间还设有垫块(3)，所述垫块(3)使得小花篮(2)向一侧倾斜。2.根据权利要求I所述的用于硅片清洗的大花篮，其特征在于:所述垫块(3)为三角形垫块。3.根据权利要求2所述的用于硅片清洗的大花篮，其特征在于:所述三角形垫块为直角三角形垫块，所述直角三角形垫块的斜边与小花篮相抵，所述直角三角形垫块的一条直角边与大花篮固定连接。4.根据权利要求I所述的用于硅片清洗的大花篮，其特征在于:在小花篮倾斜方向的一侧设有挡板(4)。5.根据权利要求4所述的用于硅片清洗的大花篮，其特征在于:所述挡板(4)为矩形挡板。6.根据权利要求I所述的用于硅片清洗的大花篮，其特征在于:所述大花篮（I)和垫块(3)为一体结构。7.根据权利要求I所述的用于硅片清洗的大花篮，其特征在于:所述倾斜的角度范围为8。?12。。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于硅片清洗的大花篮，大花篮内设有复数个小花篮，所述大花篮和小花篮之间还设有垫块，所述垫块使得小花篮向一侧倾斜。本实用新型在大花篮和小花篮之间设置垫块，使放置在小花篮内的硅片因重力向一侧倾斜，避免了硅片N面接触小花篮边缘，使得N面的PSG层可以充分接触化学试剂，提高了去除PSG的清洗效果，减少脏污，提高了电池片效率。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN205159295
【申请号】CN201521018573
【发明人】明伟辉, 曹洋洋, 徐义胜
【申请人】苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月10日