一种石英舟的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型提出一种结构合理且不影响紧迫氧化扩散的石英舟。
【背景技术】
[0002]石英舟是集成电路制作中晶片运输装置；进行集成电路的制作时，需要对行晶片进行氧化扩散；
[0003]现有技术中，传输装置上的卡槽需要比晶片的厚度宽，放置卡片等问题的出现，因此导致在进行晶片的运输过程中晶片在放置槽中处于各种的方向，直接影响氧化扩散的均匀性和一致性。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型提出一种石英舟，解决了现有技术中运输装置结构不合理，影响晶片氧化扩散的均匀性和一致性的问题。
[0005]本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0006]一种石英舟，包括:
[0007]用于与外部连接的支撑装置；
[0008]用于放置晶片的若干第一槽棒，设置在支撑装置上；
[0009]支撑架体，活动设置在若干第一槽棒上，并可在若干第一槽棒上做直线运动；
[0010]若干第二槽棒，分别设置在支撑架体两侧，且若干第二槽棒与若干第一槽棒平行设置。
[0011]作为进一步的技术方案，第一槽棒包括:
[0012]第一槽杆，设置在支撑装置上；
[0013]若干第一放置槽，设置在第一槽杆上。
[0014]作为进一步的技术方案，第二槽棒包括:
[0015]第二槽杆，设置在支撑架体上；
[0016]若干第二放置槽，设置在第二槽杆上。
[0017]作为进一步的技术方案，还包括:
[0018]第一定位装置和第二定位装置，设置在支撑装置上，且若干第一槽棒置于第一定位装置和第二定位装置之间。
[0019]作为进一步的技术方案，还包括:
[0020]用于限制支撑架体移动距离的第一限位装置和第二限位装置，活动设置在第一槽棒上。
[0021]本实用新型技术方案中通过第一槽棒和第二槽棒进行晶片的放置，且在放置晶片后，进行支撑架体的位置调整，由于第一槽棒设置在支撑架体上，因此支撑架体改变其在第一槽棒时，第一槽棒同样进行位置的改变，进而使得晶片在第二槽棒和第一槽棒之间形成以角度，且能够使得第一槽棒和第二槽棒之间的晶片设置方向及角度均相同，由此能够更为均匀的进行氧化扩散。
【附图说明】
[0022]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本实用新型一种石英舟的结构示意图；
[0024]图2为俯视图1后，石英舟的结构示意图；
[0025]图3为右视图1后，石英舟的结构示意图。
[0026]图中:
[0027]1、支撑装置；2、第一槽棒；21、第一槽杆；22、第一放置槽；3、支撑架体；4、第二槽棒；41、第二槽杆；42、第二放置槽；51、第一定位装置；52、第二定位装置。
【具体实施方式】
[0028]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0029]如图1-3所示，本实用新型提出的一种石英舟，包括:
[0030]支撑装置I与外部连接，本实用新型中与外部传送装置连接，通过支撑装置I与外部装置进行固定，并通过运输带动支撑装置I进行整体的传送；
[0031]若干第一槽棒2设置在支撑装置I上，在使用时，将晶片放置在第一槽棒2上；
[0032]其中，
[0033]第一槽棒2包括:第一槽杆21和若干第一放置槽22，该第一槽杆21设置在支撑装置I上；若干第一放置槽22设置在第一槽杆21上；本实用新型中优选的设置两个第一槽棒2，则本实用新型中第一槽杆21具体为两个，在两个第一槽杆21上分别设置若干第一放置槽22 ;
[0034]支撑架体3活动设置在若干第一槽棒2上，并可在若干第一槽棒2上做直线运动；
[0035]若干第二槽棒4分别设置在支撑架体3两侧，且若干第二槽棒4与若干第一槽棒2平行设置，在使用时与第一槽棒2共同使用进行晶片的放置；且通过平行设置保证第二槽棒4与第一槽棒2同时放置晶片时，能够更好的控制晶片的位置；
[0036]其中，
[0037]第二槽棒4包括:第二槽杆41和若干第二放置槽42，该第二槽杆41设置在支撑架体3上；若干第二放置槽42设置在第二槽杆41上，本实用新型中优选的设置两个第二槽杆41，分别设置在支撑架体3的两侧，在支撑架体3两侧的第一槽杆21上均设置有若干第二放置槽42 ;通过与第一放置槽22的配合实现晶片的防止；
[0038]工作阶段，将晶片防止与第一槽棒2和第二槽棒4上，并调整支撑架体3在第一槽棒2上的位置，进而通过支撑架体3调整第二槽棒4的位置，进而使得晶片的上端产生位移，实现晶片呈一定角度放置在第一槽棒2和第二槽棒4上，且放置在第一槽棒2和第二槽棒4上的晶片会因为支撑架体3的调整其放置方向变为统一朝向，进而使得在氧化扩散是能够保证其均匀性和一致性。
[0039]另外，
[0040]本实用新型中，还包括第一定位装置51和第二定位装置52，设置在支撑装置I上，且若干第一槽棒2置于第一定位装置51和第二定位装置52之间；通过将第一定位装置51和第二定位装置52分别设置在第一槽棒2两侧的架体上，实现通过第一定位装置51和第二定位装置52控制并限制第一槽板的位置，避免其在支撑架体3的调整时出现变形，进而造成第一槽棒2的损坏；
[0041]当然为更好的控制支撑架体3的调整，本实用新型中，有限的设置第一限位装置和第二限位装置，该第一限位装置和第二限位装置活动设置在第一槽棒2上，用于限制支撑架体3移动距离；根据不同尺寸的晶片支撑架体3的调整距离相同，但是如果调整距离过大，有可能对晶片造成损坏，因此，本实用新型中通过第一限位装置和第二限位装置控制支撑架体3的调整距离；
[0042]该第一限位装置和第二限位装置分别设置在第一槽棒2的两端，当然根据需要可以在每个第一槽棒2上均设置第一限位装置和第二限位装置，且，第一限位装置和第二限位装置可以在第一槽棒2上动作，以保证支撑架体3能够调整不同的距离，并在调整距离时能够把卡住支撑架体3的位置，避免调整距离过大，对晶片造成损坏。
[0043]以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种石英舟，其特征在于，包括: 用于与外部连接的支撑装置(I); 用于放置晶片的若干第一槽棒(2)，设置在所述支撑装置(I)上； 支撑架体(3)，活动设置在若干所述第一槽棒(2)上，并可在若干所述第一槽棒(2)上做直线运动； 若干第二槽棒，分别设置在所述支撑架体(3)两侧，且若干所述第二槽棒与若干所述第一槽棒(2)平行设置。2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一槽棒(2)包括: 第一槽杆(21)，设置在所述支撑装置(I)上； 若干第一放置槽(22)，设置在所述第一槽杆(21)上。3.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第二槽棒包括: 第二槽杆(41)，设置在所述支撑架体(3)上； 若干第二放置槽(42)，设置在所述第二槽杆(41)上。4.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，还包括: 第一定位装置(51)和第二定位装置(52)，设置在所述支撑装置(I)上，且若干所述第一槽棒(2)置于所述第一定位装置(51)和所述第二定位装置(52)之间。5.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，还包括: 用于限制所述支撑架体(3)移动距离的第一限位装置和第二限位装置，活动设置在所述第一槽棒(2)上。
【专利摘要】本实用新型提出了一种石英舟，解决了现有技术中运输装置结构不合理，影响晶片氧化扩散的均匀性和一致性的问题；包括用于与外部连接的支撑装置；用于放置晶片的若干第一槽棒，设置在支撑装置上；支撑架体，活动设置在若干第一槽棒上，并可在若干第一槽棒上做直线运动；若干第二槽棒，分别设置在支撑架体两侧，且若干第二槽棒与若干第一槽棒平行设置，本实用新型提出的石英舟能够使得第一槽棒和第二槽棒之间的晶片设置方向及角度均相同，由此能够更为均匀的进行氧化扩散。
【IPC分类】H01L21/673
【公开号】CN205177801
【申请号】CN201520845197
【发明人】张忠恕, 张娟, 陈强, 孙云涛, 冯继瑶, 边占宁, 赵晓亮, 于洋, 李宝军, 王笑波, 王连连, 张连兴, 李翔星, 于立臣
【申请人】北京凯德石英股份有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年10月29日