一种柔性导电线及设置有所述柔性导电性的柔性背板的制作方法

文档序号:10266672阅读:532来源:国知局
一种柔性导电线及设置有所述柔性导电性的柔性背板的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及柔性显示装置领域,具体涉及一种柔性导电线及设置有所述柔性 导电线的柔性背板。
【背景技术】
[0002] 随着显示技术的不断发展,0LED(有机发光二极管)因其发光亮度高、色彩丰富、低 压直流驱动、制备工艺简单等优点,日益成为国际研究的热点。0LED视野范围更广,可制成 更大尺寸的产品,可满足用户对不同尺寸的要求。上述突出的优点决定了0LED将成为下一 代显示技术的主流。随着材料技术的发展,显示屏已经可以制作成可弯曲的形式。采用柔性 显示屏的设备有很多优点,比如携带方便、可弯曲、可随意变形等。但是柔性背板内部的金 属线在弯曲状态下电阻容易发生巨大的变化甚至断裂,从而影响屏体的寿命。 【实用新型内容】
[0003] 为此,本实用新型所要解决的技术问题现有柔性背板内部的金属线在弯曲状态下 电阻容易发生巨大的变化甚至断裂的问题,提供一种柔性导电线,以及设置有这种柔性导 电线的柔性背板。所述的柔性导电线弯曲过程中电阻率能够保持稳定,延长了柔性背板的 寿命。
[0004] 为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案如下:
[0005] -种柔性导电线,包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层和第二金属层 之间设置有由若干金属线构成的导电连接层,所述金属线的两端分别与所述第一金属层和 第二金属层电连接。
[0006] 所述金属线之间设有间隙。
[0007] 所述金属线与所述第一金属层的夹角α为锐角或钝角。
[0008] 所述金属线之间相互平行设置。
[0009] 导电连接层中的金属线为铜金属线,铝金属线、钼金属线或钛金属线中的一种或 其中几种的组合。
[00?0]所述的第一金属层的厚度为2-5um,所述第二金属层的厚度为2-5um〇
[0011] 所述的第一金属层和第二金属层相同或不同,分别为钼金属层、铜金属层、铝金属 层或钛金属层。
[0012] 一种柔性背板,包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT(薄膜晶体管)背板,所述 TFT背板包括在柔性衬底上形成的栅极层、栅极绝缘层、多晶硅半导体层和源/漏电极层,所 述的栅极层和/或源/漏电极层为所述的柔性导电线。
[0013] 一种柔性背板,包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT(薄膜晶体管)背板,所述 TFT背板包括在柔性衬底上形成的有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层、栅极层和源/漏电极 层,所述的栅极层和/或源/漏电极层为所述的柔性导电线。
[0014] 本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点:
[0015] 本实用新型提供的柔性导电线包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层和 第二金属层之间设置有由若干金属线构成的导电连接层,所述金属线的两端分别与所述第 一金属层和第二金属层电连接。当柔性导电线发生弯曲时,由于金属线之间设有间隙,可以 有效缓冲弯曲时产生的应力集中现象,不会导致导电线的电阻变大;如果上下两层金属层 出现某处断裂的情况,金属线会将上下金属进行连接,不会导致导电线电阻变大或者断裂。 因此本实用新型的柔性导电线在不需要做成弯曲的情况下,通过将现有金属做成网格状的 布线方式,能提升金属的弯曲可靠性电阻变化小,可靠性高。
[0016] 本实用新型提供的TFT的栅极层、源/漏电极层采用了上述柔性导电线结构,当柔 性衬底弯曲时,TFT的导电线电阻不会出现剧烈变大或者断裂情况,增加了装置的可靠性。
【附图说明】
[0017] 为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解,下面根据本实用新型的具体实施 例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明,其中
[0018] 图1是本实用新型柔性导电线的结构示意图;
[0019] 图2是本实用新型柔性背板的结构示意图;
[0020] 图3是本实用新型柔性背板的另一实施方式结构示意图;
[0021] 图中附图标记表示为:1_柔性衬底、2-栅极层、3-栅极绝缘层、4-多晶硅半导体层、 5-钝化层,6-源漏极层,7-层间绝缘层,8-有源层,11-第一金属层,12-导电颗粒,13-第二金 属层。
【具体实施方式】
[0022] 为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本实用新 型实施方式作进一步地详细描述。
[0023] 本实用新型可以以许多不同的形式实施,而不应该被理解为限于在此阐述的实施 例。相反,提供这些实施例,使得本公开将是彻底和完整的,并且将把本实用新型的构思充 分传达给本领域技术人员,本实用新型将仅由权利要求来限定。在附图中,为了清晰起见, 会夸大层和区域的尺寸和相对尺寸。应当理解的是,当元件例如层、区域或柔性衬底被称作 "形成在"或"设置在"另一元件"上"时,该元件可以直接设置在所述另一元件上,或者也可 以存在中间元件。相反,当元件被称作"直接形成在"或"直接设置在"另一元件上时,不存在 中间元件。
[0024] 如图1所示,一种柔性导电线,包括第一金属层11和第二金属层13,所述第一金属 层11和第二金属层13之间设置有由若干金属线12构成的导电连接层,所述金属线12的两端 分别与所述第一金属层11和第二金属层12电连接。所述金属线12之间设有间隙。所述金属 线12与所述第一金属层的夹角α为锐角或钝角。优选地,所述金属线12之间相互平行设置。
[0025] 导电连接层中的金属线12为铜金属线,铝金属线、钼金属线或钛金属线中的一种 或其中几种的组合。
[0026]所述的第一金属层的厚度为2-5um,所述第二金属层的厚度为2-5um〇
[0027]所述的第一金属层和第二金属层相同或不同,分别为钼金属层、铜金属层、铝金属 层或钛金属层。
[0028] 如图2所示,一种柔性背板,包括柔性衬底1和形成在柔性衬底1上的底栅型TFT薄 膜晶体管)背板,所述TFT(薄膜晶体管)背板包括在柔性衬底上形成的栅极层2、栅极绝缘层 3、多晶硅半导体层4和源/漏电极层6,所述的栅极层2和源/漏电极层6为所述的柔性导电 线。作为其他实施方式,所述的TFT背板也可以为:栅极层2采用图1所示的柔性导电线结构, 源/漏电极层6采用普通的现有结构;或者源/漏电极层6采用图1所示柔性导电线,栅极层2 采用普通的现有结构。
[0029] 所述栅极绝缘层3选自但不限于氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化铝、氧化钛中的一 种或多种材料的堆叠结构层,本实施例优选氧化硅层;本实施例中所述栅极绝缘层3的厚度 为1200人,作为本实用新型的其他实施例,所述栅极绝缘层3的厚度还可以为 800~3000人,均可以实现本实用新型的目的,属于本实用新型的保护范围。
[0030] 所述多晶硅半导体层4在源/漏电极层6的图案化的过程中容易受到损伤,为此,本 实施例中所述多晶硅半导体层上还设置有覆盖所述多晶硅半导体层4远离所述基板1的表 面和侧面的钝化层5。所述钝化层选自但不限于氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化铝、氧化钛 中的一种或多种材料的堆叠结构层,均可以实现本实用新型的目的,属于本实用新型的保 护范围。本实施例中所述钝化层5优选刻蚀阻挡层,所述刻蚀阻挡层优选氧化硅层,厚度为 100()A〇
[0031] 在薄膜晶体管TFT背板中,所述源极和漏极通常采用同种原料形成在同一层中,为 了方便描述,通常将所述源极和所述漏极所在层统称为源/漏极层6。源/漏极层6通过钝化 层5中的过孔与多晶硅半导体层4的源区和漏区连接。在本实用新型所有附图中,所述源极 和所述漏极的位置可以互换。
[0032]上述柔性背板的制备工艺中TFT(薄膜晶体管)背板、像素显示单元同现有技术,其 中柔性导电线制备方法如下:
[0033] S1、采用磁控溅射方法在栅绝缘层或者层间绝缘层沉积金属层;
[0034] S2、刻蚀金属层留出第一金属层和第二金属层,二者之间的金属层采用刻蚀方式 形成若干相互平行的金属线12,所述的金属线12形成导电连接层。
[0035] 作为另一实施方式,如图3所示柔性背板,采用顶栅TFT(薄膜晶体管)背板,具体包 括柔性衬底1和形成在柔性衬底1上的顶栅型TFT,所述TFT包括在柔性衬底上形成的有源层 8、栅极绝缘层3、层间绝缘层7、栅极层2和源/漏电极层6,所述的栅极层2和源/漏电极层6为 所述的柔性导电线。作为其他实施方式,所述的TFT也可以为:栅极层2采用图1所示的柔性 导电线结构,源/漏电极层6采用普通的现有结构;或者源/漏电极层6采用图1所示柔性导电 线,栅极层2采用普通的现有结构。
[0036] 显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对 于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或 变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或 变动仍处于本实用新型的保护范围之中。
【主权项】
1. 一种柔性导电线,其特征在于,包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层和第 二金属层之间设置有由若干金属线构成的导电连接层,所述金属线的两端分别与所述第一 金属层和第二金属层电连接。2. 根据权利要求1所述的柔性导电线,其特征在于,所述金属线之间设有间隙。3. 根据权利要求2所述的柔性导电线,其特征在于,所述金属线与所述第一金属层的夹 角α为锐角或钝角。4. 根据权利要求3所述的柔性导电线,其特征在于,所述金属线之间相互平行设置。5. 根据权利要求3所述的柔性导电线,其特征在于,导电连接层中的金属线为铜金属 线,铝金属线、钼金属线或钛金属线中的一种或其中几种的组合。6. 根据权利要求1所述的柔性导电线,其特征在于,所述的第一金属层的厚度为2-5um, 所述第二金属层的厚度为2_5um〇7. 根据权利要求1或5所述的柔性导电线,其特征在于,所述的第一金属层和第二金属 层相同或不同,分别为钼金属层、铜金属层、铝金属层或钛金属层。8. -种柔性背板,包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT背板,所述TFT背板包括在 柔性衬底上形成的栅极层、栅极绝缘层、多晶硅半导体层和源/漏电极层,其特征在于,所述 的栅极层和/或源/漏电极层为权利要求1-7任一所述的柔性导电线。9. 一种柔性背板,包括柔性衬底和形成在柔性衬底上的TFT背板,所述TFT背板包括在 柔性衬底上形成的有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层、栅极层和源/漏电极层,其特征在于, 所述的栅极层和/或源/漏电极层为权利要求1-7任一所述的柔性导电线。
【专利摘要】本实用新型提供的一种柔性导电线及设置有所述柔性导电线的柔性背板,包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层和第二金属层之间设置有由若干金属线构成的导电连接层,所述金属线的两端分别与所述第一金属层和第二金属层电连接。所述的柔性导电线弯曲过程中电阻率能够保持稳定,延长了柔性背板的寿命。
【IPC分类】H01L29/43, H01L27/12
【公开号】CN205177844
【申请号】CN201520984524
【发明人】高胜, 刘玉成, 袁波
【申请人】昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司, 昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年12月2日
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