一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于太阳能电池生产设备技术领域，更具体地说，涉及一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置。
【背景技术】
[0002]随着石油、天然气、煤炭等不可再生能源的日益减少，人类面临着越来越严重的能源危机，从而促进了世界各国对风能、潮汐能和太阳能等可再生能源的开发和利用。其中，太阳能作为一种可再生能源，以其取之不尽、用之不竭、无污染、廉价等优点越来越受到人类的重视。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏发电，可以将太阳能直接转换为电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。
[0003]目前，晶硅太阳能电池以其良好的稳定性和成熟的工艺流程已被大规模应用到各个领域其中，扩散工序是晶硅太阳能电池生产中的关键步骤，主要用于在硅片上制备PN结。现有太阳能电池的扩散工序主要在管式扩散炉内进行，由于在扩散工序过程中会产生残余的废气，因此，通常会在管式扩散炉上设置尾气出口，尾气出口通过尾气输出管道与尾气处理装置入口的排废管相连，从而将扩散尾气输送至尾气处理装置，大部分尾气经尾气处理装置的接液瓶冷凝为液体或固体，残存的尾气则通过尾气排放管道由风排抽走。
[0004]但由于现有技术中的尾气处理装置冷却路径较短，从而导致废气没有完全冷却即直接被风排抽走，当尾气到达尾气排放管道时开始冷却，从而造成尾气排放管道堵塞和接液瓶内部积霜，严重时，排废管内由于聚集太多偏磷酸而断裂，且过多的偏磷酸也会使尾气输出管道与尾气处理装置入口的排废管黏连拔不出来，需要拆除尾气输出管道并水洗才能拔除排废管，严重影响了设备的稼动率。
[0005]如，中国专利申请号:201320470628.9，申请日:2013年08月02日，发明创造名称为:太阳能电池扩散尾气处理装置，该申请案中的扩散炉管即通过尾气输出管道将扩散尾气输送至尾气处理机构，大部分扩散尾气在尾气处理机构的残液罐内冷凝为液体或固体，部分扩散尾气则通过尾气排泄管道进行排放。由于该申请案中尾气处理机构的冷却行程较短，大部分尾气易进入尾气排泄管道内发生冷凝，从而导致尾气排泄管道堵塞，严重影响设备的正常运行。
【实用新型内容】
[0006]1.实用新型要解决的技术问题
[0007]本实用新型的目的在于克服现有太阳能电池扩散尾气处理装置的冷却路径较短，对扩散尾气的冷却效果较差，从而易导致尾气排放管道堵塞和接液瓶内部积霜的不足，提供了一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置。通过使用本实用新型的扩散尾气处理装置，可显著提高对扩散尾气的冷凝效果，防止尾气排放管道堵塞和接液瓶内部积霜。
[0008]2.技术方案
[0009]为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为:
[0010]本实用新型的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，包括一级接液瓶和二级接液瓶，所述的一级接液瓶的进气口通过排废管与扩散炉的尾气输出管道相连，一级接液瓶的出气口通过管道与二级接液瓶的进气口相连，所述二级接液瓶的进气口位于其侧壁底部，二级接液瓶顶部的排气口与尾气排放管道相连，且在二级接液瓶内部填充有石英玻珠。
[0011 ]更进一步地，在所述的二级接液瓶的侧面设有排风扇。
[0012]更进一步地，所述的尾气排放管道还通过气管与气源相连，且在气管上设有流量调节阀。
[0013]更进一步地，所述的气源为氮气源。
[0014]3.有益效果
[0015]采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果:
[0016](I)本实用新型的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，其通过设置两级接液瓶在一定程度上可以增长废气的冷却行程，增大冷却效果。本实用新型中二级接液瓶的进气口位于其侧壁底部，二级接液瓶顶部的排气口与尾气排放管道相连，且在二级接液瓶内部填充有大量石英玻珠，从而可以显著增大废气的冷却接触面积，保证废气在二级接液瓶内可以进行充分冷却，从而可以有效防止废气在尾气排放管道中发生冷凝，造成尾气排放管道的堵塞和接液瓶内部积霜，进而能够防止排废管内由于聚集太多偏磷酸而断裂以及尾气输出管道与排废管之间发生黏连，大大提高了设备的稼动率，减少了维护周期。
[0017](2)本实用新型的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，在二级接液瓶的侧面设有排风扇，从而可以进一步增强对废气的冷却效果。
[0018](3)本实用新型的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，其尾气排放管道还通过气管与气源相连，且在气管上设有流量调节阀，从而可以对尾气排放管道进行定时冲洗，避免长时间使用后尾气排放管道上聚积大量偏磷酸，保证设备的正常运行。
[0019](4)本实用新型的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，结构设计合理，原理简单，便于推广使用。
【附图说明】
[0020]图1为本实用新型的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置的结构示意图。
[0021 ] 不意图中的标号说明:
[0022]1、扩散炉；101、尾气输出管道;2、排废管;301、一级接液瓶;302、二级接液瓶;4、石英玻珠;5、排风扇;6、尾气排放管道;7、气源。
【具体实施方式】
[0023]为进一步了解本实用新型的内容，现结合附图和实施例对本实用新型作详细描述。
[0024]实施例1
[0025]如图1所示，本实施例的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，包括一级接液瓶301和二级接液瓶302。一级接液瓶301的进气口通过排废管2与扩散炉I的尾气输出管道1I相连，一级接液瓶301的出气口通过管道与二级接液瓶302的进气口相连。所述二级接液瓶302的进气口位于其侧壁底部，二级接液瓶302顶部的排气口与尾气排放管道6相连，且在二级接液瓶302内部填充有大量石英玻珠4。电池片在扩散炉I中进行扩散处理产生的废气通过尾气输出管道101向尾气处理装置输送，废气首先通过排废管2进入一级接液瓶301进行初步冷凝，由于冷却行程较短，在一级接液瓶301中只有少量废气发生冷凝，大部分废气进入二级接液瓶302进行冷凝。由于二级接液瓶302内填充有大量石英玻珠4，大大增大了废气的冷却接触面积，保证废气在二级接液瓶302内可以进行充分冷却，从而可以有效防止废气在尾气排放管道6中发生冷凝，造成尾气排放管道6的堵塞和接液瓶内部积霜，进而能够防止排废管2内由于聚集太多偏磷酸而断裂以及尾气输出管道101与排废管2之间发生黏连，大大提高了设备的稼动率，减少了维护周期。在上述二级接液瓶302的侧面设有排风扇5，从而可以进一步提高对废气的冷却效果，在实际生产中，可根据生产需要在二级接液瓶302的四周设置多个排风扇5。本实施例中尾气排放管道6还通过气管与气源7相连，且在气管上设有流量调节阀，从而可以对尾气排放管道6进行定时冲洗，避免长时间使用后尾气排放管道6上聚积大量偏磷酸，保证了设备的正常运行，生产中可以根据需要通过调节流量调节阀对冲洗气体的流量进行调节，本实施例的气源7采用氮气源。
[0026]以上示意性的对本实用新型及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，包括一级接液瓶(301)和二级接液瓶(302)，所述的一级接液瓶(301)的进气口通过排废管(2)与扩散炉(I)的尾气输出管道(101)相连，一级接液瓶(301)的出气口通过管道与二级接液瓶(302)的进气口相连，其特征在于:所述二级接液瓶(302)的进气口位于其侧壁底部，二级接液瓶(302)顶部的排气口与尾气排放管道(6)相连，且在二级接液瓶(302)内部填充有石英玻珠(4)。2.根据权利要求1所述的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于:在所述的二级接液瓶(302)的侧面设有排风扇(5)。3.根据权利要求1或2所述的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于:所述的尾气排放管道(6)还通过气管与气源(7)相连，且在气管上设有流量调节阀。4.根据权利要求3所述的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于:所述的气源(7)为氮气源。
【专利摘要】本实用新型公开了一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，属于太阳能电池生产设备技术领域。本实用新型的一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置，包括一级接液瓶和二级接液瓶，所述的一级接液瓶的进气口通过排废管与扩散炉的尾气输出管道相连，一级接液瓶的出气口通过管道与二级接液瓶的进气口相连，所述二级接液瓶的进气口位于其侧壁底部，二级接液瓶顶部的排气口与尾气排放管道相连，且在二级接液瓶内部填充有石英玻珠。通过使用本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置，可以显著提高废气的冷却效果，保证废气在接液瓶内的充分冷凝，从而能够防止废气排放管道堵塞和接液瓶内部积霜，大大提高了设备的稼动率。
【IPC分类】C30B31/16, H01L31/18
【公开号】CN205231091
【申请号】CN201521106816
【发明人】华重庆, 柯贵军, 朱钰
【申请人】安徽银阳光伏科技有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月25日