一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于太阳能电池生产设备技术领域，更具体地说，涉及一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置。
【背景技术】
[0002]太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接将光能转化成电能的装置。目前应用最广泛的太阳能电池是硅太阳能电池，硅电池片的制作主要包括以下步骤:制绒、扩散、刻蚀、镀减反射膜、印刷电极和电极烧结。其中，刻蚀是制备硅太阳能电池片的重要工序，其目的是要去除在扩散工艺形成的电池片背面的磷硅玻璃，刻蚀质量的好坏直接影响电池片的转换效率。
[0003]当前主要有两种刻蚀方法，即干法刻蚀和湿法刻蚀。干法刻蚀是用等离子体等高速离子轰击要去除的部分，其优点是具有各项异性，但使用该法设备复杂、能耗高、刻蚀表面粗糙。湿法刻蚀是利用腐蚀液与需去除部分的化学反应来进行刻蚀，使用该法对设备要求低、刻蚀表面光滑平整，因此应用较多。
[0004]现有湿法刻蚀方法的生产过程为:经扩散后的硅太阳能电池片从上料端进入刻蚀槽，利用刻蚀槽内HNO3、HF、H2SO4的混合液体对硅片的下表面和边缘进行腐蚀，从而去除硅片边缘的N型硅，使得硅片的上、下表面相互绝缘。但采用该类湿法刻蚀工艺，在实际生产过程中硅片从刻蚀槽流出时，很容易造成硅片边缘出现有刻蚀印，导致正面金属栅线与P型硅接触，容易造成短路，且刻蚀槽的酸气易腐蚀硅片表面，使刻蚀前后方阻发生变化，影响硅片的使用性能。因此，现有技术中在进行湿法刻蚀前通常在硅片上表面喷淋一层水膜，从而隔绝刻蚀工艺过程对硅片正面PN结的破坏，然后经过混酸溶液进行边缘和背面腐蚀，以达到刻蚀目的。但由于现有技术中对硅片进行喷淋水膜时，喷淋水一直向下滴落，而相邻硅片之间的传送存在一定的时间差距，从而导致喷淋水存在空流现象，造成水源的浪费。
[0005]经检索，关于能够防止水源浪费的用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置的专利报道已有相关公开。
[0006]如，中国专利申请号:201410636747.6，申请日:2014年11月12日，发明创造名称为:硅片和湿法刻蚀系统，该申请案的湿法刻蚀设备的上料端设置有水膜喷淋系统，该水膜喷淋系统包括滴水盒、用于感应待刻蚀硅片进入上料端的感应器、用于接收感应器信号与输出信号的PLC与接收PLC信号的电磁阀。当感应器感应到待刻蚀硅片进入上料台后会给信号到PLC，PLC做延时处理，解码之后PLC会给信号到电磁阀使其开启气动阀，通过滴水盒开始对待刻蚀硅片滴水。通过该申请案在一定程度上能够防止硅片传送过程中发生水流空流的现象，但其水膜喷淋系统设置8个滴水盒分别与恒压罐相连，设备结构复杂，管道耗费较多，且每个硅片通过一个滴水盒来生成水膜，水膜难以覆盖整个硅片，即使其设置压水辊也难以保证水膜的均匀性。
【实用新型内容】
[0007]1.实用新型要解决的技术问题
[0008]本实用新型的目的在于克服现有技术中对硅片进行喷淋水膜时，喷淋水在硅片传送过程中一直向下滴落，从而导致存在空流现象，造成水源浪费的不足，提供了一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置。通过使用本实用新型的用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置，能够有效避免空流现象的发生，且能够保证水膜形成的稳定性和均匀性，保证硅片的刻蚀质量。
[0009]2.技术方案
[0010]为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为:
[0011]本实用新型的一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置，包括集水槽、传动机构和喷淋机构，其中，所述的传动机构安装于集水槽内用于承载、输送电池片，在传动机构的上方设有喷淋机构，所述的喷淋机构包括喷淋管、供水管和水箱，喷淋管通过供水管与水箱相连，沿喷淋管的长度方向设有一排节流阀，在喷淋管下方对应的传动机构上设有传感器，且所述供水管上设有进水调节阀，上述传感器、节流阀及进水调节阀均与控制器相连。
[0012]更进一步地，所述集水槽的侧壁下部设有排水口，该排水口设有一层滤网，上述排水口通过循环管与水箱的进水总管相连，且在循环管上设有循环栗。
[0013]更进一步地，所述的传动机构采用传送辊轮，且传送辊轮通过转轴安装于集水槽内。
[0014]更进一步地，所述的传送辊轮沿其长度方向通过硅片挡圈分隔为八段，在每段传送辊轮上各安装一个传感器，且所述的节流阀对应均匀分布于八段传送辊轮的上方。
[0015]更进一步地，每段传送辊轮的上方分别设有均匀分布的5个节流阀。
[0016]更进一步地，所述的供水管与喷淋管的中心相连。
[0017]3.有益效果
[0018]采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果:
[0019](I)本实用新型的一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置，在传动机构的上方设有喷淋机构，该喷淋机构包括喷淋管、供水管和水箱，喷淋管通过供水管与水箱相连，在硅片被传送至刻蚀槽进行刻蚀之前通过喷淋机构在硅片的上表面形成一层水膜，从而可以有效防止刻蚀过程中硅片边缘出现刻蚀印，并保护硅片上表面不被酸气腐蚀，保证刻蚀前后硅片方阻的稳定。本实用新型中沿喷淋管的长度方向设有一排节流阀，在喷淋管下方对应的传动机构上设有传感器，且所述供水管上设有进水调节阀，上述传感器、节流阀及进水调节阀均与控制器相连。当娃片被传送至喷淋机构下方时，传感器感应到娃片的存在，将信号传送至控制器，从而可以通过控制器控制节流阀的自动开启对硅片进行喷淋水膜，当硅片离开后，则控制节流阀的自动关闭，停止喷淋，直至下一硅片到达喷淋管下方时再进行喷淋操作，从而可以有效防止喷淋水的空流现象，造成水源浪费。通过控制器的设置还可以控制进水调节阀的开度，从而对喷淋水的流量进行自动控制。在实际生产中，传动机构上同一排硅片的规格尺寸可能有所不同，不同硅片对喷淋水的流量要求便不同，因此，操作工人可以根据实际生产需要来人工调节各个节流阀的开度，从而对不同节流阀的流量进行单独调节，能够满足不同规格电池片对喷淋水量的要求。
[0020](2)本实用新型的一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置，集水槽的侧壁下部设有排水口，该排水口设有一层滤网，上述排水口通过循环管与水箱的进水总管相连，且在循环管上设有循环栗，喷淋后流入集水槽的水经滤网过滤后通过循环栗返回水箱，从而可以对喷淋后的水流进行循环利用，减少了水源的浪费。
[0021](3)本实用新型的一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置，其传动机构采用传送辊轮，传送辊轮沿其长度方向通过硅片挡圈分隔为八段，在每段传送辊轮上各安装一个传感器，且节流阀对应均匀分布于八段传送辊轮的上方，从而可以对每段传送辊轮上方的节流阀进行单独控制，防止某段传送辊轮上没有硅片时其上方的节流阀仍然进行喷淋，从而造成水源的