半导体机械手传动装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种机械手控制装置。
【背景技术】
[0002]半导体机械手主要适应于集成电路、芯片制造等半导体前段工序。用来搬送晶圆，晶圆尺寸范围2英寸——12英寸，一般来讲是由r轴、t轴和z轴三个轴构成。中国专利CN201420872714.7公开了一种机械手工作台及其机械手传动装置，该装置是半导体行业目前采用较多的设备之一，虽然该设备在一定程度上完成工作，但是因其以十字滑台为主，因此体积较大，占用较多的工作空间。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单、体积较小，能够节省工作空间的半导体机械手传动装置。
[0004]本实用新型一种半导体机械手传动装置，包括:电机、传动箱、第一手臂和第二手臂;其中:
[0005]第一手臂的内端轴向固定有第一传动轮，外端轴向固定有第二传动轮，且第一传动轮、第二传动轮通过皮带传动;第一传动轮的固定轴伸出第一手臂形成第一手臂的输入端，第二传动轮的固定轴伸出第一手臂形成第一手臂的输出端；
[0006]第二手臂的内端设置有第三传动轮，外端设置有第四传动轮，且第三传动轮、第四传动轮通过皮带传动;第三传动轮的固定轴伸出第二手臂形成第二手臂的输入端，第四传动轮的固定轴伸出第二手臂形成第二手臂的输出端；
[0007]所述电机的输出轴与所述传动箱的输入端相连;所述传动箱的输出端与所述第一手臂的输入端相连;所述第一手臂的输出端与所述第二手臂的输入端相连。
[0008]本实用新型一种半导体机械手传动装置，其中所述传动箱为二级传动箱。
[0009]本实用新型一种半导体机械手传动装置，其中所述传动箱包括依次间隔设置的第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板;其中第一支撑板和第二支撑板之间分别轴向固定有一轮和二轮;于第二支撑板和第三支撑板之间分别轴向固定设置有三轮和四轮;其中一轮和二轮之间通过第一皮带传动，一轮伸出第一支撑板形成传动箱的输入端;三轮和二轮同轴固定连接;三轮和四轮之间通过第二皮带传动，四轮伸出第三支撑板形成传动箱的输出端。
[0010]本实用新型一种半导体机械手传动装置，其中所述第一手臂、第二手臂顶端分别设置有可拆卸的封装盖板。
[0011]本实用新型一种半导体机械手传动装置与现有技术的区别在于通过第一手臂和第二手臂的相对转动控制机械手在平面内的位置移动，相较于现有的十字滑台结构而言，大大缩减了设备体积，降低了工作空间，且更为轻便灵活。
[0012]下面结合附图对本实用新型一种半导体机械手传动装置作进一步说明。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型一种半导体机械手传动装置的正视图；
[0014]图2为本实用新型一种半导体机械手传动装置的立体视图；
[0015]图3为本实用新型一种半导体机械手传动装置在右前视角下的立体视图，该图拆除了第一手臂、第二手臂的盖板；
[0016]图4为本实用新型一种半导体机械手传动装置在左后侧视角下的立体视图，该图拆除了第一手臂、第二手臂的盖板。
【具体实施方式】
[0017]如图1-2所示，本实用新型一种半导体机械手传动装置，包括:电机1、传动箱2、第一手臂3和第二手臂4;其中:
[0018]如图3所示，第一手臂3的内端轴向固定有第一传动轮31，外端轴向固定有第二传动轮32，且第一传动轮31、第二传动轮32通过皮带(图中未示出)传动;第一传动轮31的固定轴伸出第一手臂3形成第一手臂3的输入端，第二传动轮32的固定轴伸出第一手臂3形成第一手臂3的输出端；
[0019]如图4所示，第二手臂4的内端设置有第三传动轮41，外端设置有第四传动轮42，且第三传动轮41、第四传动轮42通过皮带(图中未示出)传动；第三传动轮41的固定轴伸出第二手臂4形成第二手臂4的输入端，第四传动轮42的固定轴伸出第二手臂4形成第二手臂4的输出端；
[0020]为了组装和维修的方便，本实用新型中的第一手臂3、第二手臂4的顶端分别设置有可拆卸的封装盖板33、43。
[0021 ]电机I的输出轴与传动箱2的输入端相连;传动箱2的输出端与第一手臂3的输入端相连;第一手臂3的输出端与第二手臂4的输入端相连；
[0022]进一步，本实用新型所采用的传动箱2为二级传动箱，更具体地来讲，传动箱2包括依次间隔设置的第一支撑板21、第二支撑板22和第三支撑板23;其中第一支撑板21和第二支撑板22之间分别轴向固定有一轮24和二轮25;于第二支撑板22和第三支撑板23之间分别轴向固定设置有三轮26和四轮27;其中一轮24和二轮25之间通过皮带(图中未示出)传动，一轮24的固定轴伸出第一支撑板21形成传动箱的输入端;三轮26和二轮25同轴固定连接；三轮26和四轮27之间通过皮带(图中未示出)传动，四轮27的固定轴伸出第三支撑板23形成传动箱2的输出端。
[0023]使用本实用新型对半导体机械手进行控制的过程如下:
[0024]首先将半导体机械手(图中未示出)安装于第二手臂4的输出端处；
[0025]然后启动电机I，相继驱动传动箱2、第一传动轮31、第二传动轮32、第三传动轮41、第四传动轮42和半导体机械手，从而控制半导体机械手完成指定动作。
[0026]以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种半导体机械手传动装置，包括:电机、传动箱、第一手臂和第二手臂;其中: 第一手臂的内端轴向固定有第一传动轮，外端轴向固定有第二传动轮，且第一传动轮、第二传动轮通过皮带传动;第一传动轮的固定轴伸出第一手臂形成第一手臂的输入端，第二传动轮的固定轴伸出第一手臂形成第一手臂的输出端； 第二手臂的内端设置有第三传动轮，外端设置有第四传动轮，且第三传动轮、第四传动轮通过皮带传动;第三传动轮的固定轴伸出第二手臂形成第二手臂的输入端，第四传动轮的固定轴伸出第二手臂形成第二手臂的输出端； 所述电机的输出轴与所述传动箱的输入端相连;所述传动箱的输出端与所述第一手臂的输入端相连;所述第一手臂的输出端与所述第二手臂的输入端相连。2.根据权利要求1所述的一种半导体机械手传动装置，其特征在于:所述传动箱为二级传动箱。3.根据权利要求2所述的一种半导体机械手传动装置，其特征在于:所述传动箱包括依次间隔设置的第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板;其中第一支撑板和第二支撑板之间分别轴向固定有一轮和二轮;于第二支撑板和第三支撑板之间分别轴向固定设置有三轮和四轮;其中一轮和二轮之间通过第一皮带传动，一轮伸出第一支撑板形成传动箱的输入端；三轮和二轮同轴固定连接;三轮和四轮之间通过第二皮带传动，四轮伸出第三支撑板形成传动箱的输出端。4.根据权利要求1所述的一种半导体机械手传动装置，其特征在于:所述第一手臂顶端、第二手臂顶端分别设置有可拆卸的封装盖板。
【专利摘要】本实用新型一种半导体机械手传动装置涉及一种机械手控制装置。其目的是为了提供一种结构简单、体积较小的机械手传动装置。本实用新型包括：电机、传动箱、第一手臂和第二手臂；所述电机的输出轴与所述传动箱的输入端相连；所述传动箱的输出端与所述第一手臂的输入端相连；所述第一手臂的输出端与所述第二手臂的输入端相连。
【IPC分类】H01L21/677
【公开号】CN205376485
【申请号】CN201620133336
【发明人】程二亭, 王强, 周卫国, 刘冬梅
【申请人】北京锐洁机器人科技有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年2月22日