一种固定性好的蓝宝石衬底的制作方法

文档序号:10464170阅读:426来源:国知局
一种固定性好的蓝宝石衬底的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体材料技术领域,具体为一种固定性好的蓝宝石衬底。
【背景技术】
[0002]LED照明产业技术发展的基石是衬底材料,目前能用于LED照明生产的衬底主要时蓝宝石衬底,通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上,蓝宝石衬底有许多的优点,首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底,随着白光LED照明进入到每个家庭逐步取代了传统照明,对蓝宝石衬底的要求越来越高,一般的蓝宝石衬底的固定性较差,出光率不高,从而导致其性能不稳定,为此,我们提出一种固定性好的蓝宝石衬底。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的在于提供一种固定性好的蓝宝石衬底,以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种固定性好的蓝宝石衬底,包括透明导电槽体,所述透明导电槽体的内腔包裹有蓝宝石衬底,所述蓝宝石衬底的底部沉积有梯形块,所述梯形块的顶部竖直沉积有锥顶,所述梯形块为相同的三块,且相邻两梯形块之间设置有GaN生长基槽,所述蓝宝石衬底的顶部通过隐形切割工艺处理开有T型凹槽,所述蓝宝石衬底的底部设置有金属反射层,所述金属反射层的底部沉积有银胶固晶层,所述透明导电槽体的底部设置有焊脚,所述蓝宝石衬底的相对外壁经多线切割开有矩形截面。
[0005]优选的,所述透明导电槽体为两端开口的矩形槽体,且透明导电槽体的顶部与梯形块的倾斜面贴合。
[0006]优选的,所述T型凹槽最少为三组相同的倒T型槽体,且T型凹槽的顶部槽口与GaN生长基槽的内腔联通。
[0007]优选的,所述锥顶为相同的六组,且每组锥顶的底部宽度是高度的五分之一。
[0008]优选的,所述矩形截面与透明导电槽体的相对内壁贴合。
[0009]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该固定性好的蓝宝石衬底,具有很好的稳固性,性能可靠,在蓝宝石衬底的下表面设有金属反射层,同时配合使用具有良好导热特性的银胶固晶材料,提高了 LED的出光效率,而且性能可靠,两端开口的透明导电槽体,可以提高LED发光电流的均匀度,并且使得蓝宝石衬底具有很好的固定性,GaN生长基槽给在蓝宝石衬底顶部生长的GaN重结晶提供生长环境,在向上生长的过程中,与T型凹槽的配合使得蓝宝石衬底具有很好的稳固性能,最终横向生长超过梯形块的顶部,与锥顶形成锥形空气空隙,这些嵌入环形空气的锥形空隙增强了光的散射,显著提高的光的提取率,从而提高LED的亮度,矩形截面的开设,使得在生长过程中,石墨基座的转动带动蓝宝石衬底的转动,减少蓝宝石衬底与石墨基座凹槽边缘接触的同时,给转动提供稳定性。
【附图说明】
[00?0]图1为本实用新型结构不意图;
[0011 ]图2为本实用新型的蓝宝石衬底结构示意图。
[0012]图中:I透明导电槽体、2蓝宝石衬底、21矩形截面、3梯形块、4锥顶、5GaN生长基槽、6 T型凹槽、7金属反射层、8银胶固晶层、9焊脚。
【具体实施方式】
[0013]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0014]请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种固定性好的蓝宝石衬底,包括透明导电槽体I,其特征在于:透明导电槽体I的内腔包裹有蓝宝石衬底2,蓝宝石衬底2的底部沉积有梯形块3,透明导电槽体I为两端开口的矩形槽体,且透明导电槽体I的顶部与梯形块3的倾斜面贴合,可以提高LED发光电流的均匀度,并且使得蓝宝石衬底2具有很好的固定性,梯形块3的顶部竖直沉积有锥顶4,锥顶4为相同的六组,且每组锥顶4的底部宽度是高度的五分之一,梯形块3为相同的三块,且相邻两梯形块3之间设置有GaN生长基槽5,使得蓝宝石衬底具有很好的稳固性能,蓝宝石衬底2的顶部通过隐形切割工艺处理开有T型凹槽6,T型凹槽6最少为三组相同的倒T型槽体,且T型凹槽6的顶部槽口与GaN生长基槽5的内腔联通,蓝宝石衬底2的底部设置有金属反射层7,金属反射层7的底部沉积有银胶固晶层8,金属反射层7配合使用具有良好导热特性的银胶固晶层8,提高了 LED的出光效率,而且性能可靠,透明导电槽体I的底部设置有焊脚9,蓝宝石衬底2的相对外壁经多线切割开有矩形截面21,矩形截面21与透明导电槽体I的相对内壁贴合,使得在生长过程中,石墨基座的转动带动蓝宝石衬底2的转动,减少蓝宝石衬底2与石墨基座凹槽边缘接触的同时,给转动提供稳定性。
[0015]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
【主权项】
1.一种固定性好的蓝宝石衬底,包括透明导电槽体(I),其特征在于:所述透明导电槽体(I)的内腔包裹有蓝宝石衬底(2),所述蓝宝石衬底(2)的底部沉积有梯形块(3),所述梯形块(3)的顶部竖直沉积有锥顶(4),所述梯形块(3)为相同的三块,且相邻两梯形块(3)之间设置有GaN生长基槽(5),所述蓝宝石衬底(2)的顶部通过隐形切割工艺处理开有T型凹槽(6),所述蓝宝石衬底(2)的底部设置有金属反射层(7),所述金属反射层(7)的底部沉积有银胶固晶层(8),所述透明导电槽体(I)的底部设置有焊脚(9),所述蓝宝石衬底(2)的相对外壁经多线切割开有矩形截面(21)。2.根据权利要求1所述的一种固定性好的蓝宝石衬底,其特征在于:所述透明导电槽体(I)为两端开口的矩形槽体,且透明导电槽体(I)的顶部与梯形块(3)的倾斜面贴合。3.根据权利要求1所述的一种固定性好的蓝宝石衬底,其特征在于:所述T型凹槽(6)最少为三组相同的倒T型槽体,且T型凹槽(6)的顶部槽口与GaN生长基槽(5)的内腔联通。4.根据权利要求1所述的一种固定性好的蓝宝石衬底,其特征在于:所述锥顶(4)为相同的六组,且每组锥顶(4)的底部宽度是高度的五分之一。5.根据权利要求1所述的一种固定性好的蓝宝石衬底,其特征在于:所述矩形截面(21)与透明导电槽体(I)的相对内壁贴合。
【专利摘要】本实用新型公开了一种固定性好的蓝宝石衬底,包括透明导电槽体,所述透明导电槽体的内腔包裹有蓝宝石衬底,所述蓝宝石衬底的底部沉积有梯形块,所述梯形块的顶部竖直沉积有锥顶,所述梯形块为相同的三块,且相邻两梯形块之间设置有GaN生长基槽,所述蓝宝石衬底的顶部通过隐形切割工艺处理开有T型凹槽,所述蓝宝石衬底的底部设置有金属反射层,所述金属反射层的底部沉积有银胶固晶层,所述透明导电槽体的底部设置有焊脚,所述蓝宝石衬底的相对外壁经多线切割开有矩形截面,该固定性好的蓝宝石衬底,具有很好的稳固性,性能可靠。
【IPC分类】H01L33/10, H01L33/02
【公开号】CN205376560
【申请号】CN201620048701
【发明人】陈铭欣, 林木榕, 林仲和, 林永腾
【申请人】福建晶安光电有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年1月19日
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