一种顶针装置及基板真空加工设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种顶针装置及基板真空加工设备，顶针装置包括导电顶针、绝缘腔体、以及顶针底座，绝缘腔体套设于导电顶针外侧，导电顶针、绝缘腔体安装于顶针底座；导电顶针可相对于绝缘腔体沿导电顶针长度方向移动地滑动配合，且导电顶针与顶针底座之间通过第一弹性件连接，第一弹性件使导电顶针在自由状态时顶端伸出绝缘腔体，导电顶针先与基板相接触将带电粒子导出，防止出现工艺不良，导电顶针和绝缘腔体与基板一直处于接触状态，避免发生电弧放电，保护顶针装置以及基板。
【专利说明】
一种顶针装置及基板真空加工设备
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种顶针装置及基板真空加工设备。
【背景技术】
[0002]在显示技术领域，顶针结构主要用于支撑玻璃基板，使玻璃基板能够在真空设备反应腔体中进行更换。通用的顶针的结构如图1和图2所示，顶针贯穿载台02的通孔，包括两部分，顶针上端03为绝缘材料，顶针下端04为金属材料，在驱动装置的作用下伸出载台02以支撑玻璃基板O I。
[0003]目前，这种通用的顶针结构虽然相对简单，但是容易产生各种不良，比如常见的姆拉不良，静电放电、异物等，严重影响产品良率。当顶针处于下降工位时，如图1所示，玻璃基板01放置在载台02上，顶针上端03与玻璃基板01之间没有接触，玻璃基板01上的带电粒子无法导出，玻璃基板01背面与载台的表面产生静电放电，玻璃基板01上出现姆拉不良；当顶针处于上升工位时，如图2所示，顶针上端03与玻璃基板01相接触，但是顶针上端03为绝缘材料，玻璃基板01上的带电粒子无法导出，玻璃基板01产生静电放电，玻璃基板01上出现姆拉不良。
[0004]在实际操作中，对上述顶针的结构进行如图3和图4所示的改进，顶针上端05为绝缘材料，在顶针上端05顶端露出金属06用于与玻璃基板01相接触，但是，当顶针处于下降工位时，如图3所示，顶针与玻璃基板01之间仍然没有接触，玻璃基板01上的带电粒子无法导出，玻璃基板01上仍然会出现姆拉不良，且发生电弧放电的几率增大；当顶针处于上升工位时，如图4所示，顶针上的金属06与玻璃基板OI相接触，可以导出玻璃基板OI上的带电粒子，但是由于顶针上的金属06裸露在腔体中，容易发生电弧放电，无法正常使用。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供一种顶针装置及基板真空加工设备，将金属导电与绝缘保护相结合，减少工艺不良以及腔体中电弧放电发生的风险。
[0006]为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案:
[0007]—种顶针装置，包括导电顶针、绝缘腔体、以及顶针底座，所述绝缘腔体套设于所述导电顶针的外侧，所述导电顶针的底端安装于所述顶针底座，且所述绝缘腔体的底端安装于所述顶针底座;所述导电顶针可相对于所述绝缘腔体沿所述导电顶针的长度方向移动地滑动配合，且所述导电顶针的底端与所述顶针底座之间通过第一弹性件连接，所述第一弹性件用于为所述导电顶针提供沿所述导电顶针的长度方向背离所述顶针底座方向的作用力，以使所述导电顶针在自由状态时顶端伸出所述绝缘腔体。
[0008]上述顶针装置在自由状态时导电顶针在第一弹性件的作用下使顶端伸出绝缘腔体，当将基板放置在上述顶针装置上时，导电顶针的顶端先于绝缘腔体与基板相接触，然后在基板重力的作用下，导电顶针以及位于其上的基板沿着朝向顶针底座的方向移动至基板与绝缘腔体相接触，在上述过程中基板上的带电粒子通过导电顶针导出基板，避免静电放电的发生，防止出现工艺不良，且增强了导电性能。而在顶针装置上升时，导电顶针和绝缘腔体与基板一直处于接触状态，绝缘腔体保护位于其内的导电顶针以避免发生电弧放电，保护顶针装置以及基板。
[0009]因此，上述顶针装置，将金属导电与绝缘保护相结合，减少工艺不良以及腔体中电弧放电发生的风险。
[0010]优选地，所述第一弹性件包括第一弹簧。
[0011]优选地，所述绝缘腔体的底端与所述顶针底座之间通过第二弹性件连接，且所述导电顶针和绝缘腔体处于自由状态时，所述导电顶针的顶部探出所述绝缘腔体的顶部。
[0012]优选地，所述第一弹性件的弹性力大于所述第二弹性件的弹性力。
[0013]优选地，所述第二弹性件包括至少一个第二弹簧。
[0014]优选地，所述第二弹性件包括多个第二弹簧，且多个所述第二弹簧绕所述导电顶针的轴心线均匀分布。
[0015]优选地，所述第二弹性件包括一个第二弹簧，且所述第二弹簧套设于所述第一弹性件的外侧。
[0016]优选地，所述导电顶针采用SUS不锈钢制成。
[0017]—种基板真空加工设备，包括上述技术方案所述的任一种顶针装置。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型【背景技术】中提供的通用顶针装置在下降工位时的结构示意图；
[0019]图2为本实用新型【背景技术】中提供的通用顶针装置在上升工位时的结构示意图；
[0020]图3为本实用新型【背景技术】中提供的改进的通用顶针装置在下降工位时的结构示
意图；
[0021]图4为本实用新型【背景技术】中提供的改进的通用顶针装置在上升工位时的结构示
意图；
[0022]图5为本实用新型一种实施例提供的一种顶针装置的结构示意图；
[0023]图6为本实用新型一种实施例提供的一种顶针装置在上升时的结构示意图；
[0024]图7为本实用新型一种实施例提供的一种顶针装置中基板与载台相接触时的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0026]如图5、图6以及图7所示，一种顶针装置，包括导电顶针1、绝缘腔体2、以及顶针底座4，绝缘腔体2套设于导电顶针I的外侧，导电顶针I的底端安装于顶针底座4，且绝缘腔体2的底端安装于顶针底座4;导电顶针I可相对于绝缘腔体2沿导电顶针I的长度方向移动地滑动配合，且导电顶针I的底端与顶针底座4之间通过第一弹性件5连接，第一弹性件5用于为导电顶针I提供沿导电顶针I的长度方向背离顶针底座4方向的作用力，以使导电顶针I在自由状态时顶端伸出绝缘腔体2。
[0027]上述顶针装置在自由状态时导电顶针I在第一弹性件5的作用下使顶端伸出绝缘腔体2，当基板7放置在上述顶针装置时，导电顶针I的顶端先于绝缘腔体2与基板7相接触，然后在基板7重力的作用下，导电顶针I以及位于其上的基板7沿着朝向顶针底座4的方向移动至基板7与绝缘腔体2相接触，在上述过程中基板7上的带电粒子通过导电顶针I导出基板7，避免静电放电的发生，防止出现工艺不良，且增强了导电性能。而在顶针装置上升时，导电顶针I和绝缘腔体2与基板7—直处于接触状态，绝缘腔体2保护位于其内的导电顶针I以避免发生电弧放电，保护顶针装置以及基板7。
[0028]因此，上述顶针装置，将金属导电与绝缘保护相结合，减少工艺不良以及腔体中电弧放电发生的风险。
[0029]—种优选实施方式中，第一弹性件5包括第一弹簧，第一弹性件5的作用是为导电顶针I提供沿导电顶针I的长度方向背离顶针底座4方向的作用力，而作为储能元件，第一弹簧在位于其上的导电顶针I的重力作用下对导电顶针I产生沿导电顶针I的长度方向背离顶针底座4方向的作用力，在该作用力的作用下使导电顶针I在自由状态时顶端伸出绝缘腔体2，且将基板7放置到导电顶针I上时，第一弹簧提供的作用力使得基板7到达绝缘腔体2的时间延长，进而使基板7和导电顶针I充分接触，基板7上的带电粒子通过导电顶针I较多地导出基板7。
[0030]另外第一弹簧还具有缓冲吸振以及复位的功能，将基板7放置在顶针装置上时，导电顶针I在绝缘腔体2之前先与基板7相接触，第一弹簧能够缓冲绝缘腔体2对基板7的冲击，避免基板7与绝缘腔体2相接触时受到的损伤，而在基板7离开导电顶针I后，在第一弹簧的作用下导电顶针I复位到自由状态，即顶端伸出绝缘腔体2。
[0031 ]为使基板7与绝缘腔体2充分接触，一种优选实施方式中，如图5所示，绝缘腔体2的底端与顶针底座4之间通过第二弹性件6连接，且导电顶针I和绝缘腔体2处于自由状态时，导电顶针I的顶部探出绝缘腔体2的顶部。第二弹性件6使得绝缘腔体2处于自由状态时绝缘腔体2的顶端高于载台3的顶端，且为为绝缘腔体2提供沿绝缘腔体2的长度方向背离顶针底座4方向的作用力，该作用力使得基板7到达载台3的时间延长，进而使基板7和绝缘腔体2充分接触，且在将基板7放置在顶针装置上时，基板7在与载台3接触之间先与绝缘腔体2相接触，第二弹性件6能够缓冲载台3对基板7的冲击，避免基板7与载台3相接触时受到的损伤，而在基板7离开导电顶针I后，在第二弹性件6的作用下绝缘腔体2复位到自由状态，导电顶针I的顶部探出绝缘腔体2的顶部。
[0032]在上述顶针装置的基础上为了保证导电顶针I先与基板7相接触，具体地，第一弹性件5的弹性力大于第二弹性件6的弹性力，使得导电顶针I和绝缘腔体2处于自由状态时，导电顶针I的顶部探出绝缘腔体2的顶部，以使得将基板7放置在顶针装置上时，导电顶针I在绝缘腔体2之前先与基板7相接触，增强导电性能。
[0033]具体地，第二弹性件6包括至少一个第二弹簧。作为储能元件，第二弹簧能够在基板7与载台3相接触时起缓冲作用，避免基板7与载台3相接触时受到的损伤，而在基板7离开导电顶针I后，在第二弹簧使绝缘腔体2复位到自由状态，导电顶针I的顶部探出绝缘腔体2的顶部。
[0034]在实现上述顶针装置中第二弹簧功能的基础上，具体地，如图5所示，第二弹性件6可以包括多个第二弹簧，且多个第二弹簧绕导电顶针I的轴心线均匀分布以保证基板7在与绝缘腔体2相接触时受力均匀。
[0035]具体地，第二弹性件6也可以包括一个第二弹簧，且第二弹簧套设于第一弹性件的外侧。
[0036]一种优选实施方式中，导电顶针I可以采用SUS不锈钢制成，SUS不锈钢的导电性能较好，采用SUS不锈钢制成的导电顶针I能够具有较好的导电性，在基板7与导电顶针I接触时，基板7上的带电粒子通过导电顶针I较好地导出基板7;根据实际需要，导电顶针I还可以采用其他导电材料制成。
[0037]—种基板真空加工设备，包括上述顶针装置，由于上述顶针装置将金属导电与绝缘保护相结合，减少工艺不良以及腔体中电弧放电发生的风险，包括上述顶针装置的基板真空加工设备能够减少工艺不良以及电弧放电发生的风险，提尚广品良率，减少生广中的安全隐患。
[0038]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种顶针装置，其特征在于，包括导电顶针、绝缘腔体、以及顶针底座，所述绝缘腔体套设于所述导电顶针的外侧，所述导电顶针的底端安装于所述顶针底座，且所述绝缘腔体的底端安装于所述顶针底座;所述导电顶针可相对于所述绝缘腔体沿所述导电顶针的长度方向移动地滑动配合，且所述导电顶针的底端与所述顶针底座之间通过第一弹性件连接，所述第一弹性件用于为所述导电顶针提供沿所述导电顶针的长度方向背离所述顶针底座方向的作用力，以使所述导电顶针在自由状态时顶端伸出所述绝缘腔体。2.根据权利要求1所述的顶针装置，其特征在于，所述第一弹性件包括第一弹簧。3.根据权利要求1所述的顶针装置，其特征在于，所述绝缘腔体的底端与所述顶针底座之间通过第二弹性件连接，且所述导电顶针和绝缘腔体处于自由状态时，所述导电顶针的顶部探出所述绝缘腔体的顶部。4.根据权利要求3所述的顶针装置，其特征在于，所述第一弹性件的弹性力大于所述第二弹性件的弹性力。5.根据权利要求3所述的顶针装置，其特征在于，所述第二弹性件包括至少一个第二弹O6.根据权利要求5所述的顶针装置，其特征在于，所述第二弹性件包括多个第二弹簧，且多个所述第二弹簧绕所述导电顶针的轴心线均匀分布。7.根据权利要求5所述的顶针装置，其特征在于，所述第二弹性件包括一个第二弹簧，且所述第二弹簧套设于所述第一弹性件的外侧。8.根据权利要求1所述的顶针装置，其特征在于，所述导电顶针采用SUS不锈钢制成。9.一种基板真空加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的顶针装置。
【文档编号】H01L21/67GK205428883SQ201620241963
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月25日
【发明人】雷进, 李淳东, 李知勋
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司