用于芯片加工的刻蚀机的制作方法

文档序号:10804959
用于芯片加工的刻蚀机的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,包括底盘与注液箱,所述注液箱内壁设置有刻蚀终点侦测器,所述终点侦测器包括设置于所述注液箱上侧内壁的激光发射器以及设置于所述注液箱底部的检测器,所述激光发射器与所述检测器位于同一竖直线上,所述激光发射器与所述检测器设置有防腐蚀壁,所述检测器与所述注液箱底部有活动线连接。本实用新型的有益效果:(1)本实用新型设置的刻蚀终点侦测器可以对刻蚀液的量进行测量;(2)本实用新型的各个组成部分易拆卸,易清洗。
【专利说明】
用于芯片加工的刻蚀机
技术领域
[0001]本实用新型涉及芯片加工领域,尤其涉及一种用于芯片加工的刻蚀机。
【背景技术】
[0002]在LED行业中,刻蚀机是经常用到的设备,在工作采用自制的新型工件刻蚀机,预先在振动的溶液中对工件的基体表面进行刻蚀,结果效果显著,极大地提高了工件之间的结合牢固度,大幅提高了工件的使用寿命。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型是为解决现有技术中无法对刻蚀液进行准确控制的问题而提供的一种用于芯片加工的刻蚀机。
[0004]本实用新型通过下述技术手段解决上述技术问题:一种用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,包括底盘与注液箱,所述注液箱通过其底部两端的弹簧了连接在所述底盘上,所述注液箱上表面设置有进液口,所述注液箱下表面设置有出液口,所述注液箱端部设置有加热器,所述注液箱具有开口部,所述开口部上设置有与所述注液箱活动连接的密封盖,所述注液箱内壁设置有刻蚀终点侦测器,所述终点侦测器包括设置于所述注液箱上侧内壁的激光发射器以及设置于所述注液箱底部的检测器,所述激光发射器与所述检测器位于同一竖直线上,所述激光发射器与所述检测器设置有防腐蚀壁。工作中,将刻蚀液经过注液箱的进液口进入,注液箱底部的检测器随着刻蚀液的增多而升高,由激光发射器向检测器发送信号以确定刻蚀液的高度。
[0005]作为本实用新型的进一步改进,所述防腐蚀壁内设置有支撑所述激光发射器的支撑架。
[0006]作为本实用新型的进一步改进,所述注液箱上设置有震动电机。
[0007]本实用新型的有益效果:(I)本实用新型设置的刻蚀终点侦测器可以对刻蚀液的量进行测量;(2)本实用新型的各个组成部分易拆卸,易清洗。
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型用于芯片加工的刻蚀机的结构示意图。
[0009]I底盘2注液箱3弹簧4进液口 5出液口 6加热器7密封盖8激光发射器9检测器10防腐蚀壁11支撑架12震动电机。
【具体实施方式】
[0010]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
[0011]本实用新型实施例1:一种用于芯片加工的刻蚀机,包括底盘I与注液箱2,所述注液箱2通过其底部两端的弹簧3连接在所述底盘I上,所述注液箱2上表面设置有进液口 4,所述注液箱2下表面设置有出液口 5,所述注液箱2端部设置有加热器6,所述注液箱2具有开口部,所述开口部上设置有与所述注液箱2活动连接的密封盖7,所述注液箱2内壁设置有刻蚀终点侦测器,所述终点侦测器包括设置于所述注液箱2上侧内壁的激光发射器8以及设置于所述注液箱2底部的检测器9,所述激光发射器8与所述检测器9位于同一竖直线上,所述激光发射器8与所述检测器9设置有防腐蚀壁10,所述检测器9与所述注液箱2底部有活动线连接。工作开始前,将刻蚀液经过注液箱的进液口进入,注液箱底部的检测器随着刻蚀液的增多而升高,由激光发射器向检测器发送信号以确定刻蚀液的高度。刻蚀工作开始,从进液口4加入刻蚀液,所述注液箱2的右下部设有加热器6,用来对刻蚀液进行加热,提高反应速率和效果,所述密封盖5上设有可活动开闭的工件入口。工件通过密封盖5上的工件入口进入注液箱2内,两个振动电机7同时工作,再加上弹簧3的伸缩运动,使注液箱2内的刻蚀液对工件的基体表面进行水平和上下冲击,同时注液箱2右下部的加热器6对刻蚀液进行加热,快速有效地在工基体表面形成高质量的刻蚀面,刻蚀终点侦测器在防腐蚀壁10的保护下对刻蚀液的高度进行测量。
[0012]本实用新型实施例2:—种用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,包括底盘I与注液箱2,所述注液箱2通过其底部两端的弹簧3连接在所述底盘I上,所述注液箱2上表面设置有进液口 4,所述注液箱2下表面设置有出液口 5,所述注液箱2端部设置有加热器6,所述注液箱2具有开口部,所述开口部上设置有与所述注液箱2活动连接的密封盖7,所述注液箱2内壁设置有刻蚀终点侦测器,所述终点侦测器包括设置于所述注液箱2上侧内壁的激光发射器8以及设置于所述注液箱2底部的检测器9,所述激光发射器8与所述检测器9位于同一竖直线上,所述激光发射器8与所述检测器9设置有防腐蚀壁10,所述检测器9与所述注液箱2底部有活动线连接。所述防腐蚀壁10内设置有支撑所述激光发射器8的支撑架U。作开始前,将刻蚀液经过注液箱的进液口进入,注液箱底部的检测器随着刻蚀液的增多而升高,由激光发射器向检测器发送信号以确定刻蚀液的高度。
[0013]本实用新型实施例3:—种用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,包括底盘I与注液箱2,所述注液箱2通过其底部两端的弹簧3连接在所述底盘I上,所述注液箱2上表面设置有进液口 4,所述注液箱2下表面设置有出液口 5,所述注液箱2端部设置有加热器6,所述注液箱2具有开口部,所述开口部上设置有与所述注液箱2活动连接的密封盖7,所述注液箱2内壁设置有刻蚀终点侦测器,所述终点侦测器包括设置于所述注液箱2上侧内壁的激光发射器8以及设置于所述注液箱2底部的检测器9,所述激光发射器8与所述检测器9位于同一竖直线上,所述激光发射器8与所述检测器9设置有防腐蚀壁10,所述检测器9与所述注液箱2底部有活动线连接,所述注液箱上设置有震动电机12。
[0014]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,包括底盘(I)与注液箱(2),所述注液箱(2)通过其底部两端的弹簧(3)连接在所述底盘(I)上,所述注液箱(2)上表面设置有进液口(4),所述注液箱(2)下表面设置有出液口(5),所述注液箱(2)端部设置有加热器(6),所述注液箱(2)具有开口部,所述开口部上设置有与所述注液箱(2)活动连接的密封盖(7),所述注液箱(2)内壁设置有刻蚀终点侦测器,所述终点侦测器包括设置于所述注液箱(2)上侧内壁的激光发射器(8)以及设置于所述注液箱(2)底部的检测器(9),所述激光发射器(8)与所述检测器(9)位于同一竖直线上,所述激光发射器(8)与所述检测器(9)设置有防腐蚀壁(10),所述检测器(9)与所述注液箱(2)底部有活动线连接。2.根据权利要求1所述的用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,所述防腐蚀壁(10)内设置有支撑所述激光发射器(8)的支撑架(11)。3.根据权利要求1所述的用于芯片加工的刻蚀机,其特征在于,所述注液箱上设置有震动电机(12)。
【文档编号】H01L21/67GK205488063SQ201620230187
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年3月24日
【发明人】张帮岭
【申请人】铜陵晶越电子有限公司
再多了解一些
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