化学品配置装置的制造方法

文档序号:10825021阅读:314来源:国知局
化学品配置装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种化学品配置装置,其中包括化学品储液槽(1)、控制终端(2)以及数个流量计(3),所述的流量计(3)分别与所述的控制终端(2)以及所述的化学品储液槽(1)相连接,所述的化学品储液槽(1)上还连接有液位管(11),所述的液位管(11)上设置有数个用于与所述的数个流量计(3)相配合为所述的控制终端(2)提供加液结束信号的液位传感器。采用该种结构的化学品配置装置,同时通过流量计记录的数值信号以及液位传感器输出信号,判断是否加液结束,对化学品的配置起到精确判断的作用,其操作简单,应用范围较为广泛。
【专利说明】
化学品配置装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及化学品补液领域,尤其涉及晶硅太阳电池生产湿制程工序,具体是指一种化学品配置装置。
【背景技术】
[0002]目前在晶体硅电池生产领域,湿法化学处理工序,一般都采用流量计、添加桶、时间控制三种方式来进行化学品的配槽和自动补加,或几种方式结合起来,如用流量计配置其中的水,用添加桶配置其中的重要的化学品,用时间控制自动补加的化学品量,且都配置了液位指示的传感器,但都没有采用液位传感器来作为配槽是否结束的判断信号。实际中存在的问题就是用流量计配槽时,由于化学品会腐蚀流量计叶轮,且时间长了,流量计的叶轮经常损坏,或者管道中存在气泡时,流量计会误记录流量,认为有流量通过流量计,从而导致配槽不准。如果全部用添加桶来配置水或化学品,但配置量比较大时,则需要很大容量或很多个添加桶才能满足需求,而且用添加桶配置耗时会较长。存在缺点。如果用时间控制来配槽,前提条件是流量计要准确,而如前面所述,流量计本身会存在不准确的问题。所以,三种配槽方式都存在缺点。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是克服了上述现有技术的缺点,提供了一种对化学品的配置起到精确判断作用的化学品配置装置。
[0004]为了实现上述目的,本实用新型的化学品配置装置具有如下构成:
[0005]该化学品配置装置,其主要特点是,所述的装置包括化学品储液槽、控制终端以及数个流量计,所述的流量计分别与所述的控制终端以及所述的化学品储液槽相连接,所述的化学品储液槽上还连接有液位管,所述的液位管上设置有数个用于与所述的数个流量计相配合为所述的控制终端提供加液结束信号的液位传感器。
[0006]进一步地,所述的液位传感器包括用于判断栗是否开启的低液位传感器、用于检测高液位的高液位传感器以及至少一个用于与所述的数个流量计相配合为所述的控制终端提供配置结束信号的化学品液位传感器。
[0007]进一步地,所述的控制终端包括显示屏。
[0008]进一步地,所述的液位管为U型液位管。
[0009]采用了该实用新型中的化学品配置装置,与现有技术相比,具有以下的有益的技术效果:
[0010]本实用新型同时通过流量计记录的数值信号以及液位传感器输出信号,判断是否加液结束,对化学品的配置起到精确判断的作用,其操作简单;实际验证,非常稳定,避免了流量计故障,配置不准确的情况,保证了产线稳定;同时也减少了工艺人员和设备人员排查异常的工作量,应用范围较为广泛。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的化学品配置装置的结构示意图。
[0012]其中,
[0013]I 化学品储液槽
[0014]2 控制终端
[0015]3 流量计
[0016]6 低液位传感器
[0017]7 第一化学品液位传感器
[0018]8 第二化学品液位传感器
[0019]9 第三化学品液位传感器
[0020]10 高液位传感器
【具体实施方式】
[0021]为了能够更清楚地描述本实用新型的技术内容,下面结合具体实施例来进行进一步的描述。
[0022]首先,请参阅图1所示,本实用新型的装置采用液位传感器配合流量计3,修改液位传感器的判断程序,使其从之前的只是用于显示液位的作用,变为判断配置化学品是否到位的信号,程序采集该信号作为配置是否该终止的必要条件之一,另一个必要条件是流量计3记录的数值是否达到设定值。当流量计3记录的数值达到设定的值,而液位信号灯没有亮起(对应于液位传感器),则继续执行加液命令,直到液位灯亮;当液位传感器的灯亮起,而流量计3没有达到设定值时,则继续加液,直到液体达到设定值,两个条件都必须满足,加液才会停止。另外,还有最高液位限制报警,可以有效防止液位传感器灯故障,一直不亮,而液体不断加液带来的高液位风险。
[0023]本实用新型的化学品配置装置包括化学品储液槽1、控制终端2以及数个流量计3,所述的流量计3分别与所述的控制终端2以及所述的化学品储液槽I相连接,所述的化学品储液槽I上还连接有液位管11,所述的液位管11上设置有数个用于与所述的数个流量计3相配合为所述的控制终端2提供加液结束信号的液位传感器。
[0024]且在一种优选的实施方式中,所述的液位传感器包括用于判断栗是否开启的低液位传感器6、用于检测高液位的高液位传感器10以及至少一个用于与所述的数个流量计3相配合为所述的控制终端2提供配置结束信号的化学品液位传感器。其中,低液位传感器6,目的是槽体低液位的指示,起判断栗是否能开启的作用;用于化学品储液槽I的第一种化学品的液位指示的第一化学品液位传感器7,只有当该指示灯亮起,且累计流量达到软件设定值时,第一种化学品才会停止加液;用于化学品储液槽I要加的第二和第三种化学品的指示的第二化学品液位传感器8,第三化学品液位传感器9,其起的作用也是,只有当两种化学品都加到位,且流量达到设定值时,才停止加液;高液位传感器10目的是防止前面的传感器和流量计都出故障时,加液超过槽体最高液位的限制,该灯亮起时,停止所有加液,并给出红色报警信号和报警描述文字。
[0025]在一种优选的实施方式中,所述的控制终端2包括显示屏。
[0026]在一种优选的实施方式中于,所述的液位管11为U型液位管。
[0027]在实际应用中,本发明采用如图1中的只用于低液位指示、工作液位指示、高液位指示的三个传感器中的工作液位传感器的信号,把其从原来的工作液位指示功能变为配槽是否结束的判断命令。结合流量计3,对化学品的配置起到精确判断的作用。
[0028]根据化学品储液槽I的化学品种类,可以加相应的液位传感器,如化学品储液槽I有三种化学品,水,盐酸,氢氟酸,则用第一化学品液位传感器7,第二化学品液位传感器8,第三化学品液位传感器9安装到液位管11上,流量计3累计流量和第一化学品液位传感器7,第二化学品液位传感器8,第三化学品液位传感器9信号灯亮,作为判断该化学品配置是否应该终止的两个必要条件,只有当两个条件都满足时,相应化学品的配置才会终止。
[0029]如在一种实施例中,先加水,设定是100L,当流量累计达100L,而水的液位传感器灯不亮时,水继续加液,直到液位传感器灯亮起,停止加液;当水的液位传感器灯误感应亮,而流量计没有达到设定值时,液体继续加液,直到设定值,停机加液。其他化学品也是用一样的原理进行判断加液是否到位。这样就可以实现配槽准确。有效避免只用流量计配槽的不准确情况,也可以有效避免只用传感器判断配槽时,传感器误感应的情况。在双重条件的判断下,配槽准确度大幅提高,接近100%。
[0030]在一种实施例中,本实用新型通过将用于工作液位指示的中间的传感器信号用于判断经常出问题的盐酸的配置,该化学品储液槽I需要配置水、氢氟酸、盐酸,且有先后加液的顺序,先加水,再加氢氟酸,最后加盐酸,而加盐酸过程中,经常出现流量已经达到设定值,配备中止,而实际液位并没有达到,流量计3叶轮损坏和管路中有气泡时,流量不真实导致了该问题,把工作的液位传感器拨到定量好的位置,并修改设备程序,让化学品液位传感器信号作为判断盐酸加液是否应该终止的必要条件之一,另一个必要条件就是累计流量计3的配置设定值。实际验证,非常稳定,避免了流量计3故障,配置不准确的情况,保证了产线稳定;同时也减少了工艺人员和设备人员排查异常的工作量。
[0031]采用了该实用新型中的化学品配置装置,与现有技术相比,具有以下的有益的技术效果:
[0032]本实用新型同时通过流量计记录的数值信号以及液位传感器输出信号,判断是否加液结束,对化学品的配置起到精确判断的作用,其操作简单;实际验证,非常稳定,避免了流量计故障,配置不准确的情况,保证了产线稳定;同时也减少了工艺人员和设备人员排查异常的工作量,应用范围较为广泛。
[0033]上述实施例为本专利较佳的实施例,并非用来限制本实用新型的实施范围,本领域的技术人员在未脱离本实用新型原理的前提下,所作的改进、变化、组合、替代等,均属于本实用新型权利要求所要求保护的范围之内。
[0034]在此说明书中,本实用新型已参照其特定的实施例作了描述。但是,很显然仍可以作出各种修改和变换而不背离本实用新型的精神和范围。因此,说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。
【主权项】
1.一种化学品配置装置,其特征在于,所述的装置包括化学品储液槽(I)、控制终端(2)以及数个流量计(3),所述的流量计(3)分别与所述的控制终端(2)以及所述的化学品储液槽(I)相连接,所述的化学品储液槽(I)上还连接有液位管(11),所述的液位管(11)上设置有数个用于与所述的数个流量计(3)相配合为所述的控制终端(2)提供加液结束信号的液位传感器。2.根据权利要求1所述的化学品配置装置,其特征在于,所述的液位传感器包括用于判断栗是否开启的低液位传感器(6)、用于检测高液位的高液位传感器(10)以及至少一个用于与所述的数个流量计(3)相配合为所述的控制终端(2)提供配置结束信号的化学品液位传感器。3.根据权利要求1所述的化学品配置装置,其特征在于,所述的控制终端(2)包括显示屏。4.根据权利要求1所述的化学品配置装置,其特征在于,所述的液位管(11)为U型液位管。
【文档编号】H01L21/67GK205508850SQ201620115712
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月4日
【发明人】李志刚, 刘成龙, 杨保平, 何悦
【申请人】尚德太阳能电力有限公司
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