一种晶片花篮的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种晶片花篮，所述花篮包括中心圆柱、圆形外壁、位于所述中心圆柱和圆形外壁之间且与中心圆柱同轴设置的至少两圈卡子、以及设置于所述中心圆柱和圆形外壁之间且以所述中心圆柱为辐射点呈辐射状分布的多块隔板，所述卡子上设置有用于放置圆形晶片的圆弧槽，每相邻的两块所述圆形晶片间以隔板隔开。本实用新型的一种晶片花篮，在晶片花篮底部的每圈卡子顶部设置多个圆弧槽，同时减小花篮中心圆柱的直径，减轻清洗过程中卡子对晶片的挤压，方便清洗后晶片从花篮中夹取和转移，达到减少晶片破片、降低晶片异常、提高产品品质的目的。
【专利说明】
一种晶片花篮
技术领域
[0001]本实用新型涉及晶片存放用花篮结构技术领域，特别地，涉及一种晶片花篮。
【背景技术】
[0002]花篮是一种应用于LED芯片等半导体制造领域的生产工具，主要用于晶片的清洗等工艺。先将晶片放置在花篮中，再放入清洗液进行清洗，然后将清洗后的晶片放入烤箱烘烤直至粘片。如图1、图2所示，现有技术的一种晶片花篮，该晶片花篮包括中心圆柱1、圆形外壁4、支撑卡3'、多块隔板2，支撑卡3'的顶部设置有用于放置圆形晶片5的凹槽31'，该凹槽为如图2所示的倒三角形结构。该结构的设置使得晶片清洗后，若要将晶片从花篮取出，则可能因晶片卡在倒三角形结构内，导致操作员用力过猛造成破片，进而因破片引发刮伤、污染、晶粒断裂等异常，降低产品品质。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型目的在于提供一种晶片花篮，以解决晶片在清洗过程中易产生破片并因破片引发刮伤、污染、晶粒断裂的问题，提高产品品质。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供了一种晶片花篮，所述花篮包括中心圆柱、圆形外壁、位于所述中心圆柱和圆形外壁之间且与中心圆柱同轴设置的至少两圈卡子、以及设置于所述中心圆柱和圆形外壁之间且以中心圆柱为辐射点呈辐射状分布的多块隔板，所述卡子上设置有用于放置圆形晶片的圆弧槽，每相邻的两块所述圆形晶片间以隔板隔开。
[0005]优选的，每圈卡子的顶部且于每两相邻所述隔板间均设有圆弧槽。
[0006]优选的，所述卡子有三圈，自内至外依次为第一卡子、第二卡子以及第三卡子，所述第一卡子顶部设有第一圆弧槽，所述第二卡子顶部设有第二圆弧槽，所述第三卡子顶部设有第三圆弧槽。
[0007]优选的，所述第三圆弧槽内的最低点高于所述第一圆弧槽内的最低点和第二圆弧槽内的最低点，且第二圆弧槽内的最低点低于所述第一圆弧槽内的最低点。
[0008]优选的，所述第一圆弧槽的半径与所述第二圆弧槽的半径相同，且所述第一圆弧槽的半径小于所述第三圆弧槽的半径。
[0009]优选的，所述中心圆柱的外径为Φ 22mm。
[0010]优选的，所述隔板为20?40个。
[0011]相比于现有技术，本实用新型具有以下有益效果:
[0012]本实用新型的一种晶片花篮，在晶片花篮底部的每圈卡子顶部设置多个圆弧槽，同时减小花篮中心圆柱的直径，减轻清洗过程中卡子对晶片的挤压，方便清洗后晶片从花篮中夹取和转移，达到减少晶片破片、降低晶片异常、提高产品品质的目的。
[0013]除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。
【附图说明】
[0014]构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0015]图1是现有技术一种晶片花篮的结构示意图；
[0016]图2是图1中卡子与圆形晶片配合的侧面结构示意图；
[0017]图3是本实用新型优选实施例的结构示意图；
[0018]图4是图3中A处放大结构示意图；
[0019]图5是图3中晶片花篮的俯视结构不意图；
[0020]图6是图3中第三卡子与圆形晶片配合的侧面结构示意图；
[0021]其中，1、中心圆柱，2、隔板，3、卡子，31、第一卡子，311、第一圆弧槽，32、第二卡子，321、第二圆弧槽，33、第三卡子，331、第二圆弧槽，4、圆形外壁，5、圆形晶片，6、容纳槽，3'、支撑卡，31'、凹槽。
【具体实施方式】
[0022]以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以根据权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0023]参见图3至图6，本实用新型的一种晶片花篮，该花篮包括中心圆柱1、圆形外壁4、位于中心圆柱I和圆形外壁4之间且中心圆柱同轴设置的至少两圈卡子3、以及设置于中心圆柱I和圆形外壁4之间且以中心圆柱为辐射点呈辐射状分布的多块隔板2，卡子上设置有用于放置圆形晶片5的圆弧槽，每相邻的两块圆形晶片间以隔板隔开。
[0024]在具体的实施例中，晶片花篮的底部设有三圈卡子，自内至外依次为第一卡子31、第二卡子32以及第三卡子33，且第一卡子顶部设有多个第一圆弧槽311，第二卡子顶部设有多个第二圆弧槽321，第三卡子顶部设有多个第三圆弧槽331。进一步的，三圈卡子的顶部且于每两相邻隔板2间均设有一个圆弧槽。卡子及每两相邻的隔板构成一用于放置圆形晶片5的容纳槽6，且卡子顶部设置圆弧槽，防止圆形晶片从花篮中夹取和转移时被卡住。
[0025]在具体的实施例中，第三圆弧槽331内的最低点高于第一圆弧槽311内的最低点和第二圆弧槽321内的最低点，且第二圆弧槽321内的最低点低于第一圆弧槽311内的最低点。这种结构设置能够使放置在容纳槽内的圆形晶片更稳固。
[0026]在具体的实施例中，第一圆弧槽311的半径与第二圆弧槽321的半径相同，且第一圆弧槽311的半径小于第三圆弧槽331的半径。这种结构设置方便取放圆形晶片，防止晶片取放过程中被刮擦、碰伤等。
[0027]在实用新型中，以用于2英寸圆形晶片的晶片花篮为例，晶片花篮的中心圆柱I的外径设为Φ 22mm，隔板2设有20?40个。更为优选的，设有30个隔板。
[0028]如上所述的晶片花篮，在晶片花篮底部的每圈卡子顶部设置多个圆弧槽，可降低晶片因卡子刮擦造成破片等异常的发生概率；同时将晶片花篮中心圆柱的外径缩小，可增加晶片放置空间，减轻卡子对晶片挤压，方便清洗后晶片从花篮夹取和转移，达到减少晶片破片、降低晶片异常、提尚广品品质的目的。
[0029]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种晶片花篮，其特征在于，所述花篮包括中心圆柱(1)、圆形外壁(4)、位于所述中心圆柱(I)和圆形外壁(4)之间且与中心圆柱(I)同轴设置的至少两圈卡子(3)、以及设置于所述中心圆柱(I)和圆形外壁(4)之间且以中心圆柱(I)为辐射点呈辐射状分布的多块隔板(2)，所述卡子(3)上设置有用于放置圆形晶片的圆弧槽，每相邻的两块所述圆形晶片间以隔板隔开。2.根据权利要求1所述的一种晶片花篮，其特征在于，每圈卡子的顶部且于每两相邻所述隔板间均设有圆弧槽。3.根据权利要求2所述的一种晶片花篮，其特征在于，所述卡子有三圈，自内至外依次为第一卡子(31)、第二卡子(32)以及第三卡子(33);所述第一卡子顶部设有第一圆弧槽(311)，所述第二卡子顶部设有第二圆弧槽(321)，所述第三卡子顶部设有第三圆弧槽(331)04.根据权利要求3所述的一种晶片花篮，其特征在于，所述第三圆弧槽内的最低点高于所述第一圆弧槽内的最低点和第二圆弧槽内的最低点，且第二圆弧槽内的最低点低于所述第一圆弧槽内的最低点。5.根据权利要求3所述的一种晶片花篮，其特征在于，所述第一圆弧槽的半径与所述第二圆弧槽的半径相同，且所述第一圆弧槽的半径小于所述第三圆弧槽的半径。6.根据权利要求1所述的一种晶片花篮，其特征在于，所述中心圆柱的外径为Φ22πιπι。7.根据权利要求1所述的一种晶片花篮，其特征在于，所述隔板为20?40个。
【文档编号】H01L33/00GK205542732SQ201620351839
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年4月25日
【发明人】邹贤军, 廖颖钰
【申请人】湘能华磊光电股份有限公司