一种激光剥离装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种激光剥离装置，用以解决现有技术激光剥离时激光被遮挡的问题，提升产品的良率。激光剥离装置包括：激光头、超声波发射头和控制器；所述超声波发射头设置在所述激光头的侧面，用于对激光剥离前的基板进行清洗；所述控制器与所述超声波发射头连接，用于控制所述超声波发射头的工作。
【专利说明】
一种激光剥离装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及激光剥离技术领域，尤其涉及一种激光剥离装置。
【背景技术】
[0002]柔性显示(Flexible Display)技术在近几年有了飞速地发展，由此带动柔性显示装置从屏幕的尺寸到显示的质量都取得了较大进步。柔性显示装置又称为可卷曲显示装置，是用柔性显示面板组成的可弯曲变形的显示装置，与普通的刚性显示装置相比，柔性显示装置具有:耐冲击、抗震能力强、重量轻、体积小、便于携带、成本低廉等诸多优点。
[0003]如图1所示，目前柔性有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de，0LED)显示面板在制作时，需要利用玻璃基板10作为载板，在玻璃基板10上涂布聚酰亚胺(PI)液，固化、干燥形成柔性基板11，然后在此柔性基板11上依次完成薄膜晶体管(Thin FilmTransistor，TFT)工艺、电致发光(Electro Luminescent，EL)工艺、薄膜封装工艺、激光剥离工艺，激光剥离工艺使得柔性基板11与作为载板的玻璃基板10发生分离。
[0004]现有技术在激光剥离前将玻璃基板10进行清洗，清洗后放入激光剥离设备中进行激光剥离，在激光剥离过程中虽然控制了激光剥离设备腔室内的洁净度，但在实际生产过程中仍然存在颗粒(particle)落在玻璃基板10表面的情况，如图1中落在玻璃基板10表面的颗粒12。
[0005]在激光剥离时，图中虚线箭头方向表示激光的照射方向，落在玻璃基板10表面的颗粒12等污染物会遮挡激光，导致激光被遮挡位置处不能剥离，在后续将柔性基板11与玻璃基板10机械剥离时会损伤柔性基板，从而导致不良的产生，影响产品的良率。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型实施例提供了一种激光剥离装置，用以解决现有技术激光剥离时激光被遮挡的问题，提升产品的良率。
[0007]本实用新型实施例提供的一种激光剥离装置，包括:激光头、超声波发射头和控制器；
[0008]所述超声波发射头设置在所述激光头的侧面，用于对激光剥离前的基板进行清洗；
[0009]所述控制器与所述超声波发射头连接，用于控制所述超声波发射头的工作。
[0010]由本实用新型实施例提供的激光剥离装置，包括激光头、超声波发射头和控制器；本实用新型实施例通过在激光头的侧面设置超声波发射头，该超声波发射头用于对激光剥离前的基板进行清洗，与现有技术相比，在激光剥离前进行超声清洗激光剥离前的基板表面，从而能够保证激光剥离前的基板的清洁度，不会存在颗粒等污染物，从而能够保证激光剥离时激光不会被遮挡，得到比较好的激光剥离效果，提升产品的良率。
[0011]较佳地，所述超声波发射头设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的至少一个侧面。
[0012]较佳地，设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的所述超声波发射头的数量至少为一个。
[0013]较佳地，所述超声波发射头的上表面与所述激光头的上表面平齐设置，所述超声波发射头的下表面与所述激光头的下表面平齐设置。
[0014]较佳地，若设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的所述超声波发射头的数量大于一个，相邻的超声波发射头紧密设置。
[0015]较佳地，所述超声波发射头与激光头扫描方向平行且不与相邻的超声波发射头接触的侧面与所述激光头与激光头扫描方向平行的侧面平齐设置。
[0016]较佳地，若设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的所述超声波发射头的数量为一个，所述超声波发射头的尺寸与所述激光头的尺寸相等。
[0017]较佳地，所述超声波发射头的截面形状与所述激光头的截面形状相同。
[0018]较佳地，所述超声波发射头的截面形状为矩形。
[0019 ]较佳地，所述超声波发射头为干式超声波发射头。
【附图说明】
[0020]图1为现有技术激光剥离时的结构示意图；
[0021 ]图2为本实用新型实施例提供的激光剥离装置的正视图；
[0022]图3为本实用新型实施例提供的激光剥离装置的另一正视图；
[0023]图4为本实用新型实施例提供的激光剥离装置的又一正视图；
[0024]图5为图2所示的激光剥离装置的俯视图。
【具体实施方式】
[0025]本实用新型实施例提供了一种激光剥离装置，用以解决现有技术激光剥离时激光被遮挡的问题，提升产品的良率。
[0026]为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0027]下面结合附图详细介绍本实用新型具体实施例提供的激光剥离装置。
[0028]如图2所示，本实用新型具体实施例提供了一种激光剥离装置，包括:激光头21、超声波发射头22和控制器23;
[0029]超声波发射头22设置在激光头21的侧面，用于对激光剥离前的基板进行清洗；
[0030]控制器23与超声波发射头22连接，用于控制超声波发射头22的工作。
[0031]本实用新型具体实施例中的激光头21的具体设计与现有技术激光剥离装置的激光头的设计相同，这里不再赘述。
[0032]具体地，本实用新型具体实施例中的超声波发射头22设置在与激光头21扫描方向垂直的激光头的至少一个侧面，如图2和图3所示，图中箭头方向表示激光头21的扫描方向。
[0033]优选地，本实用新型具体实施例中的超声波发射头为干式超声波发射头，干式超声波发射头的具体结构设计可以参照现有技术的干式超声波发射头的设计，这里不再赘述。
[0034]本实用新型具体实施例通过在激光头的侧面设置超声波发射头，与现有技术相比，在激光剥离前进行超声清洗玻璃基板表面，从而能够保证玻璃基板的清洁度，不会存在颗粒等污染物，从而能够保证激光剥离时激光不会被遮挡，得到比较好的激光剥离效果，提升产品的良率。
[0035]下面结合附图2、附图3和附图4详细介绍本实用新型具体实施例提供的激光剥离装置包括的超声波发射头与激光头的大小和位置关系。
[0036]具体实施时，如图2、图3和图4所示，本实用新型具体实施例中的超声波发射头22的上表面与激光头21的上表面平齐设置，超声波发射头22的下表面与激光头21的下表面平齐设置。这样，激光剥离装置在垂直方向上可以节省一部分的空间，能够提高激光剥离装置的空间利用率。
[0037]具体地，如图4所示，本实用新型具体实施例设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的超声波发射头22的数量至少为一个，如:设置在激光头的左侧面上的超声波发射头22的数量为一个，设置在激光头的右侧面上的超声波发射头22的数量为两个。
[0038]优选地，本实用新型具体实施例若设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的超声波发射头的数量大于一个，相邻的超声波发射头紧密设置。这样能够更好的保证超声波发射头对激光剥离前的基板进行快速、高效的清洗。
[0039]具体实施时，如图2、图3和图4所示，本实用新型具体实施例超声波发射头22与激光头扫描方向平行且不与相邻的超声波发射头接触的侧面与激光头21与激光头扫描方向平行的侧面平齐设置。这样，激光剥离装置在前后方向上可以节省一部分的空间，能够进一步提高激光剥离装置的空间利用率。
[0040]具体实施时，如图2、图3和图4所示，若设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的超声波发射头的数量为一个，本实用新型具体实施例中的超声波发射头22的尺寸与激光头21的尺寸相等。这样，超声波发射头对激光剥离前的基板进行清洗时的清洗面积与激光头剥离时的激光照射面积相等，在实际生产过程中，能够更好的实现激光剥离。[0041 ]具体实施时，本实用新型具体实施例中的超声波发射头22的截面形状与激光头21的截面形状相同。这样，能够更好的将超声波发射头设置在激光头的侧面。具体地，如图2、图3和图4所示，本实用新型具体实施例中的超声波发射头的截面形状为矩形，当然，在实际生产过程中，超声波发射头的截面形状还可以为其它形状，本实用新型具体实施例并不对超声波发射头的截面形状做限定。
[0042]本实用新型具体实施例中的超声波发射头以及激光头的正视图以图2为例，图2的俯视图如图5所示，图中箭头方向表示激光头21的扫描方向，从图中可以看到干式超声波发射头设置在激光头行进的方向上，玻璃基板经过干式超声清洗后，能够将玻璃基板表面的异物等污染物清洗干净，从而保证了激光照射时不会因为异物对激光产生阻挡影响，确保了激光剥离的效果和品质。另外，图中51表示激光发射区域，该区域的设置与现有技术相同，这里不再赘述;图中52表不干式超声波发射头的吸气槽和排气槽，吸气槽和排气槽该具体设置与现有技术相同，这里不再赘述。
[0043]下面结合附图2和附图3说明本实用新型具体实施例中的超声波发射头以及激光头的工作过程。
[0044]如图2所示，本实用新型具体实施例中的超声波发射头22和激光头21沿着图中箭头方向运动，当超声波发射头22运动到需要进行激光剥离的基板的上方时，控制器23控制超声波发射头22开始工作，对与超声波发射头22的位置正对位置处的需要进行激光剥离的基板进行清洗，清洗完成后，控制器23控制超声波发射头22沿着图中的箭头方向移动，移动的距离为超声波发射头22在水平方向上的宽度。
[0045]此时，由于超声波发射头22设置在激光头21的侧面，因此，激光头21也在图中的箭头方向上发生了移动，此时激光头开始工作，对经过超声波发射头22清洗后的需要进行激光剥离的基板马上进行激光剥离，这样能够很好的保证需要进行激光剥离的基板表面的清洁，从而不会出现因污染物遮挡激光导致激光被遮挡位置处不能剥离的问题，进而能够提升广品的良率。
[0046]控制器23控制超声波发射头22沿着图中的箭头方向移动，直到超声波发射头22移动出需要进行激光剥离的基板的区域，控制器23控制超声波发射头22停止工作。
[0047]如图3所示，当本实用新型具体实施例中的超声波发射头22设置在激光头21的左侧面和右侧面时，这种结构可以采用来回扫描的方式进行激光剥离，向右扫描时，设置在激光头21右侧的超声波发射头22起作用，向左扫描时，设置在激光头21左侧的超声波发射头22起作用。
[0048]综上所述，本实用新型具体实施例提供一种激光剥离装置，包括:激光头、超声波发射头和控制器;超声波发射头设置在激光头的侧面，用于对激光剥离前的基板进行清洗；控制器与超声波发射头连接，用于控制超声波发射头的工作。本实用新型具体实施例通过在激光头的侧面设置超声波发射头，该超声波发射头用于对激光剥离前的基板进行清洗，与现有技术相比，在激光剥离前进行超声清洗激光剥离前的基板表面，从而能够保证激光剥离前的基板的清洁度，不会存在颗粒等污染物，从而能够保证激光剥离时激光不会被遮挡，得到比较好的激光剥离效果，提升产品的良率。
[0049]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种激光剥离装置，其特征在于，包括:激光头、超声波发射头和控制器； 所述超声波发射头设置在所述激光头的侧面，用于对激光剥离前的基板进行清洗； 所述控制器与所述超声波发射头连接，用于控制所述超声波发射头的工作。2.根据权利要求1所述的激光剥离装置，其特征在于，所述超声波发射头设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的至少一个侧面。3.根据权利要求2所述的激光剥离装置，其特征在于，设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的所述超声波发射头的数量至少为一个。4.根据权利要求3所述的激光剥离装置，其特征在于，所述超声波发射头的上表面与所述激光头的上表面平齐设置，所述超声波发射头的下表面与所述激光头的下表面平齐设置。5.根据权利要求4所述的激光剥离装置，其特征在于，若设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的所述超声波发射头的数量大于一个，相邻的超声波发射头紧密设置。6.根据权利要求5所述的激光剥离装置，其特征在于，所述超声波发射头与激光头扫描方向平行且不与相邻的超声波发射头接触的侧面与所述激光头与激光头扫描方向平行的侧面平齐设置。7.根据权利要求3所述的激光剥离装置，其特征在于，若设置在与激光头扫描方向垂直的激光头的一个侧面上的所述超声波发射头的数量为一个，所述超声波发射头的尺寸与所述激光头的尺寸相等。8.根据权利要求1所述的激光剥离装置，其特征在于，所述超声波发射头的截面形状与所述激光头的截面形状相同。9.根据权利要求8所述的激光剥离装置，其特征在于，所述超声波发射头的截面形状为矩形。10.根据权利要求1所述的激光剥离装置，其特征在于，所述超声波发射头为干式超声波发射头。
【文档编号】B23K26/36GK205564821SQ201620413227
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2016年5月6日
【发明人】崔富毅, 王向楠, 陈旭, 申铉喆
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司