一种电子束钛膜支撑装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种电子束钛膜支撑装置，包括钛膜和支撑板，所述钛膜上依次排列多组支撑板，所述多组支撑板之间为真空室，所述支撑板每组间隔距离为5㎜?10㎜，所述支撑板板宽为0.5㎜?1.0㎜，所述支撑板板高为5㎜?8㎜。本新型可以采用大面积的电子束输出窗，使用较薄的钛膜，使钛膜在支撑结构下局部变形比较小，也比较均匀。
【专利说明】
一种电子束钛膜支撑装置
技术领域
[0001]本实用新型属于电子设备领域，尤其是涉及一种电子束钛膜支撑装置。
【背景技术】
[0002]现有技术是钛膜没有本文所述的支撑结构，所以由钛膜密封的电子束输出窗口较小，为了承受较大的真空压力，钛膜也需要厚一些，钛膜厚了，电子束在其中损失能量增大，产生的热量增多，冷却困难，同时也损失了较多的电子束能量。本发明的支撑结构，采用垂直于钛膜方向较大的尺寸，使其具有较大的承压能力，同时由于遮挡电子束的方向面积比较小，可以采用较薄的钛膜，综合起来，电子束的能量损失小，该支撑结构采用耐高温且良导热材料，可以将其或钛膜产生的热量通过边缘的冷却水管带走。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种电子束钛膜支撑装置。
[0004]本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
[0005]—种电子束钛膜支撑装置，包括钛膜和支撑板，所述钛膜上依次排列多组支撑板，所述多组支撑板之间为真空室，所述支撑板每组间隔距离为5皿1_10皿1，所述支撑板板宽为
0.5mm-l.0mm，所述支撑板板高为，所述钛膜厚度为5μηι-20μηι。
[0006]所述支撑板材质为耐高温高导热材料。
[0007]所述钛膜和真空室之间通过金属密封圈密封。
[0008]所述支撑结构外围有布置有水冷管，将该支撑板产生的热量带走。
[0009]该结构可以根据需要放大，即可以达到宽度200mm以上，长度数米，可以使用一各或两个及以上的电子枪并行输出电子束。
[0010]本实用新型的有益效果:可以采用大面积的电子束输出窗，使用较薄的钛膜，使钛膜在支撑结构下局部变形比较小，也比较均匀。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
[0012]图中标记，1-钛膜，2-真空室，3-支撑板，4-密封圈。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述。
[0014]如图1所示，本实用新型的目的在于提供一种电子束钛膜支撑装置，包括钛膜I和支撑板3，所述钛膜I上依次排列多组支撑板3，所述多组支撑板3之间为真空室2，所述支撑板3每组间隔距离为5mm-10mm，所述支撑板3板宽为0.5mm-l.0mrn，所述支撑板3板高为5mm-8mm，所述钛膜I厚度为5μηι-20μηι，所述支撑板3材质为耐高温高导热材料，所述钛膜I和真空室2之间通过金属密封圈4密封，所述支撑结构外围有布置有水冷管，将该支撑板产生的热量带走。
[0015]以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种电子束钛膜支撑装置，包括钛膜(I)和支撑板(3)，其特征在于，所述钛膜(I)上依次排列多组支撑板(3)，所述多组支撑板(3)之间为真空室(2)，所述支撑板(3)每组间隔距离为5mm-10mm，所述支撑板(3)板宽为0.5mm-l.0rnm，所述支撑板(3)板高为5皿1_8皿1，所述钛膜(I)厚度为5μπι-20μπι。2.根据权利要求1所述一种电子束钛膜支撑装置，其特征在于，所述支撑板(3)材质为高导热材料。3.根据权利要求1所述一种电子束钛膜支撑装置，其特征在于，所述钛膜(I)和真空室(2)之间通过密封圈(4)密封。4.根据权利要求1所述一种电子束钛膜支撑装置，其特征在于，所述支撑结构外围有布置有水冷管，将该支撑板产生的热量带走。
【文档编号】H01J29/02GK205582879SQ201620292581
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年4月7日
【发明人】徐斌, 蔡莉, 赵跃春, 姚江涛
【申请人】安徽戈瑞电子科技股份有限公司