蓝宝石衬底的制作方法
【专利摘要】蓝宝石衬底，包括衬底本体，在衬底本体上表面相互嵌套地设置有用于生长缓冲层的第一凸起和第二凸起，所述第一凸起具有第一分布周期，第二凸起具有第二分布周期，所述第一凸起呈圆台状外形，第二凸起呈圆锥状外形，第一凸起的底面直径大于第二凸起的底面直径，第一凸起的高度大于第二凸起的高度，在第一凸起和第二凸起的侧壁上形成有DBR膜系；各圆台状凸起之间的间距较大，可以生长外延片，有利于提高外延片的生长质量，各圆锥状凸起之间的间距较小，有利于光的多次反射，提高光的提取效率；通过双周期的图形化蓝宝石衬底，形成了缓冲层的叠加优化，从而使后续外延生长的外延片质量以及光的提取效率得到同步提高。
【专利说明】
蓝宝石衬底
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体材料领域，特别是涉及一种蓝宝石衬底。【背景技术】
[0002]随着人们生活水平的提高，环保意识的增强，对家具环境、休闲和舒适度追求的不断提高，灯具灯饰也逐渐由单纯的照明功能，转向照明和装饰共存的局面，LED取代传统光源进入人们的日常生活成为必然之势;现有蓝宝石晶片的衬底表面设有圆锥状凸块阵列， 但是若圆锥状凸块间距较小，则不利于外延在在圆锥状凸块之间的生长，若圆锥状凸块间距较大，则不利于光的反射，影响光的提取效率。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于为解决现有技术的不足提供一种蓝宝石衬底，其不仅有利于提尚后续外延片的生长质量，还可以进一步提尚光的提取效率。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:所述蓝宝石衬底包括衬底本体，在衬底本体上表面相互嵌套地设置有用于生长缓冲层的第一凸起和第二凸起，所述第一凸起具有第一分布周期，第二凸起具有第二分布周期，所述第一凸起呈圆台状外形，第二凸起呈圆锥状外形，第一凸起的底面直径大于第二凸起的底面直径，第一凸起之间的间距大于第二凸起之间的间距，在第一凸起和第二凸起的侧壁上形成有DBR膜系。
[0005]优选的，在衬底本体的背面粗糙层为0.5微米。
[0006]优选的，第一凸起底面直径为10微米，第二凸起的底面直径为为5-7微米。
[0007]优选的，所述DBR膜系由S1和Ti02两种材料层叠形成，所述DBR膜系为内外双层结构，所述DBR膜系的外层为S1，所述DBR膜系的内层为Ti02。
[0008]本实用新型的有益效果是:本实用新型相邻各圆台状凸起之间的间距较大，可以生长外延片，有利于提高外延片的生长质量，各圆锥状凸起之间的间距较小，有利于光的多次反射，提高光的提取效率;通过双周期的图形化蓝宝石衬底，形成了缓冲层的叠加优化， 从而使后续外延生长的外延片质量以及光的提取效率得到同步提高。【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的主视结构不意图；[0〇1〇]图2为本实用新型的俯视结构不意图。图中:[〇〇11 ]1.衬底本体，2.背面粗糙层，3.DBR膜系，4.第一凸起，5.第二凸起。【具体实施方式】
[0012]下面通过具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。
[0013]如图1-2所示:蓝宝石衬底，包括衬底本体1，在衬底本体1上表面相互嵌套地设置有用于生长缓冲层的第一凸起4和第二凸起5,所述第一凸起4具有第一分布周期，第二凸起5具有第二分布周期，所述第一凸起4呈圆台状外形，第二凸起5呈圆锥状外形，第一凸起4的底面直径大于第二凸起5的底面直径，第一凸起4之间的间距大于第二凸起5之间的间距，第一凸起4的底面直径为10微米，第二凸起5的底面直径为6微米;各圆台状凸起之间的间距较大，可以生长外延片，有利于提高外延片的生长质量，各圆锥状凸起之间的间距较小，有利于光的多次反射，提高了光的提取效率;在第一凸起4和第二凸起5的侧壁上形成有DBR膜系 3，所述DBR膜系3由S1和Ti02两种材料层叠形成，所述DBR膜系3为内外双层结构，所述DBR 膜系3的外层为S1,所述DBR膜系3的内层为Ti02;本实用新型将图形化衬底技术和DBR技术有机地结合在一起，能够更有效地提高LED的发光效率，在衬底本体1的背面粗糙层2的粗糙度为0.5微米，与研磨机的载台结合紧密，做PSS的成品率比较高；同时易于清洗。
[0014]除说明书所述技术特征外，均为本专业技术人员已知技术。
【主权项】
1.蓝宝石衬底，其特征在于包括衬底本体(1)，在衬底本体(1)上表面相互嵌套地设置 有用于生长缓冲层的第一凸起(4)和第二凸起(5)，所述第一凸起(4)具有第一分布周期，第 二凸起(5)具有第二分布周期，所述第一凸起(4)呈圆台状外形，第二凸起(5)呈圆锥状外 形，第一凸起(4)的底面直径大于第二凸起(5)的底面直径，第一凸起(4)之间的间距大于第 二凸起(5)之间的间距，在第一凸起和(4)第二凸起(5)的侧壁上形成有DBR膜系(3)。2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底，其特征在于所述衬底本体(1)的背面粗糙层粗糙 度为0.5微米。3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底，其特征在于第一凸起(4)底面直径为10微米，第 二凸起(5)的底面直径为5-7微米。4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底，其特征在于所述DBR膜系(3)为内外双层结构，所 述DBR膜系(3)的外层为S1，所述DBR膜系(3)的内层为Ti02。
【文档编号】H01L33/20GK205595363SQ201620401735
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年5月3日
【发明人】丁泽, 何亚东, 房观耀
【申请人】元鸿（山东）光电材料有限公司