Led衬底结构的制作方法
【专利摘要】LED衬底结构，包括蓝宝石基板，在所述蓝宝上基板上刻蚀形成以阵列形式排列的半球形凸起，所述半球形凸起的外表面均匀连续设有正六边形平面，在正六边形平面所在图形层上还设有氮化铝层，本实用新型的半球形凸起采用复眼式结构，把反射面设计成正六边形平面结构，改变光的折射曲线，折射点，有效提高了衬底的光提取效率，很好的控制了炫光，在正六边形平面所在图形层上还设有氮化铝层，该氮化铝层与氧化镓结构相似，能有效对氧化镓的材料的应力进行有效释放，减少氧化镓生长缺陷，本实用新型相比使用普通蓝宝石衬底生长的氧化镓基发光二极管的亮度提升60%以上，具有很高的工业化前景。
【专利说明】
LED衬底结构
技术领域
[0001 ]本实用新型属于半导体材料领域，特别是涉及一种LED衬底结构。【背景技术】
[0002]随着人们生活水平的提高，环保意识的增强，对家具环境、休闲和舒适度追求的不断提高，灯具灯饰也逐渐由单纯的照明功能，转向照明和装饰共存的局面，LED取代传统光源进入人们的日常生活成为必然之势;但是目前LED衬底结构折射光效果一般，有很大的光资源浪费，没有很好的把光源本身的亮度体现出来，衬底的光提取效率较低。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于为解决现有技术的不足提供一种LED衬底结构，其采用复眼式图形凸起结构，增加了反射面，有效提高了衬底的光提取效率。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:LED衬底结构，包括蓝宝石基板，在所述蓝宝上基板上刻蚀有横竖排列的半球形凸起，其特征是:所述半球形凸起的外表面均匀连续设有正六边形平面，所述半球形凸起的底面直径为0.1-50M1，在正六边形平面所在图形层表面还设有氮化铝层。作为优选，氮化铝层的厚度为l〇_15nm。
[0005]本实用新型的有益效果是:本实用新型的半球形凸起采用复眼式结构，把反射面设计成连续的正六边形平面结构，改变光的折射曲线、折射点，有效提高了衬底的光提取效率，很好的控制了炫光，在正六边形平面所在图形层上还设有氮化铝层，该氮化铝层与氧化镓结构相似，能有效对氧化镓的材料的应力进行有效释放，减少氧化镓生长缺陷，本实用新型相比使用普通蓝宝石衬底生长的氧化镓基发光二极管的亮度提升60%以上，具有很高的工业化前景。【附图说明】
[0006]图1为本实用新型的结构示意图。图中:
[0007]1.半球形凸起，2.氮化铝层，3.正六边形平面，4.蓝宝石基板。【具体实施方式】
[0008]下面通过具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。
[0009]如图1所示:LED衬底结构，包括蓝宝石基板4,在所述蓝宝上基板4上刻蚀形成以阵列形式排列的半球形凸起1，所述半球形凸起1的外表面均匀连续设有正六边形平面3,该半球形凸起1采用复眼式结构，把反射面设计成正六边形平面3结构，改变光的折射曲线、折射点，有效提高了衬底的光提取效率，很好的控制了炫光，所述半球形凸起1的底面直径为 0.1-50M1，在正六边形平面3所在图形层表面还设有氮化铝层2,氮化铝层2的厚度为10-15nm，该氮化铝层2与氧化镓结构相似，能有效对氧化镓的材料的应力进行有效释放，减少氧化镓生长缺陷，本实用新型相比使用普通蓝宝石衬底生长的氧化镓基发光二极管的亮度提升60%以上，具有很高的工业化前景。
[0010]除说明书所述技术特征外，均为本专业技术人员已知技术。
【主权项】
1.LED衬底结构，包括蓝宝石基板(4)，在所述蓝宝上基板(4)上刻蚀有横竖均匀排列的 半球形凸起(1)，其特征是所述半球形凸起(1)的外表面均匀连续设置有正六边形平面(3)， 所述半球形凸起(1)的底面直径为0.1-50M1，在正六边形平面(3)所在图形层表面还设有氮 化铝层(2)。2.根据权利要求1所述的LED衬底结构，其特征是:氮化铝层(2)的厚度为10-15nm。
【文档编号】H01L33/60GK205595371SQ201620401634
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年5月3日
【发明人】丁泽, 何亚东, 房观耀
【申请人】元鸿（山东）光电材料有限公司