闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆盒的制作方法
【专利摘要】一种闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆盒，闩锁机构设置于一门体内用以将门体锁固于一盒体，闩锁机构包含一顶撑件、一闩锁件，及一凸轮件，顶撑件设置于门体内，闩锁件包括一板体及至少一接触部，板体包含一后侧面、一顶抵板部及一连接板部，接触部设置于后侧面且邻近于顶抵板部，接触部用以接触顶撑件并可被顶撑件向前顶撑，顶撑件与接触部其中之一为一滚轮而其中另一为一凸块，凸块具有一用以接触滚轮的斜面，凸轮件可转动地枢接于门体并连接于连接板部，凸轮件用以带动闩锁件滑动至接触部被顶撑件向前顶撑的一锁定位置，以使顶抵板部顶抵于盒体的一前侧缘。借此，避免粉尘污染承载空间内的晶圆；提升使用上的方便性，以及操作上的可靠度。
【专利说明】
闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆盒
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种晶圆盒，特别是涉及一种闩锁机构及具有该闩锁机构的晶圆合
ΙΤΓΤ.0
【背景技术】
[0002]现有晶圆盒包含一盒体、一盖合于盒体的门体，及一设置于门体的闩锁机构，闩锁机构用以将门体锁固于盒体上。通过旋转闩锁机构的一转轮而带动一闩锁件滑动并卡掣于盒体的卡槽内，借此，能将门体锁固于盒体。
[0003]然而，由于现有的闩锁机构中的各零组件在动作过程中易因彼此之间的摩擦而产生粉尘，因此，很容易造成盒体内所放置的晶圆受到污染;此外，各零组件又因为设计或制造上产生的公差及使用上所产生的磨损等因素而形成间隙，使得在进行锁固动作时可能发生闩锁件未能完全、确实地卡掣于卡槽内的状况，因此，除了造成使用上的不便之外，更降低了操作上的可靠度。
【发明内容】
[0004]本实用新型的一目的，在于提供一种闩锁机构，能减少闩锁件在滑动过程中发生的摩擦，以减少摩擦所产生的粉尘，避免粉尘污染晶圆盒内的晶圆。
[0005]本实用新型的目的及解决【背景技术】问题是采用以下技术方案来实现的，依据本实用新型提出的闩锁机构，设置于一门体内用以将该门体锁固于一盒体。
[0006]该闩锁机构包含一顶撑件、一闩锁件，及一凸轮件，该顶撑件设置于该门体内，该闩锁件包括一可滑动地连接于该门体的板体，及至少一接触部，该板体包含一间隔位于该顶撑件前方的后侧面、一顶抵板部，及一相反于该顶抵板部的连接板部，该接触部设置于该后侧面且邻近于该顶抵板部，该接触部用以接触该顶撑件并可被该顶撑件向前顶撑，该顶撑件与该接触部其中之一为一滚轮而其中另一为一凸块，该凸块具有一用以接触该滚轮的斜面，该凸轮件可转动地枢接于该门体并连接于该连接板部，该凸轮件用以带动该闩锁件滑动至该接触部被该顶撑件向前顶撑的一锁定位置，以使该顶抵板部顶抵于该盒体的一前侦勝。
[0007]该顶撑件为该滚轮并枢接于该门体，该闩锁件包括多个设置于该后侧面且彼此相间隔排列的接触部，各该接触部为该凸块并凸设于该后侧面。
[0008]该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对所述接触部朝该顶撑件方向偏压。
[0009]该板体更包含一前侧面，该第一弹性臂凸伸出该前侧面，该第一弹性臂包含一抵压于该门体的第一抵压面。
[0010]该凸轮件形成有至少一定位凹槽，该闩锁件更包括一凸设于该前侧面且位于该连接板部的定位卡块，该定位卡块用以卡掣于该定位凹槽以使该闩锁件定位在该锁定位置。
[0011]该凸轮件包括一间隔位于该连接板部前方的盘体，及一凸设于该盘体后侧的顶推块，该顶推块包含一用以顶推该定位卡块的螺旋曲面，该螺旋曲面形成有该定位凹槽，该顶推块形成有至少一由该螺旋曲面朝该盘体方向凹陷并与该定位凹槽相连通的弧形槽，该弧形槽的延伸方向与该螺旋曲面的延伸方向相同。
[0012]该闩锁件更包括一凸设于该后侧面且位于该连接板部的第二弹性臂，该第二弹性臂用以对该定位卡块朝该凸轮件方向偏压，该第二弹性臂包含一抵压于该门体的第二抵压面。
[0013]该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对该接触部朝该顶撑件方向偏压。
[0014]本实用新型的另一目的，在于提供一种具有闩锁机构的晶圆盒，能减少闩锁件在滑动过程中发生的摩擦，以减少摩擦所产生的粉尘，避免粉尘污染晶圆盒内的晶圆。
[0015]本实用新型的目的及解决【背景技术】问题是采用以下技术方案来实现的，依据本实用新型提出的具有闩锁机构的晶圆盒，包含一盒体及一门，该盒体形成有至少一卡槽，该盒体包括一位于该卡槽前侧的前侧缘，该门包括一门体，及至少一闩锁机构，该门体形成一容置空间，及至少一与该容置空间相连通的开孔，该开孔与该卡槽相连通，该闩锁机构设置于该容置空间内，且该闩锁机构包含至少一顶撑件、至少一闩锁件，及一凸轮件，该顶撑件设置于该门体且邻近于该开孔，该R锁件包括一可滑动地连接于该门体的板体，及至少一接触部，该板体包含一间隔位于该顶撑件前方的后侧面、一穿设于该开孔内的顶抵板部，及一相反于该顶抵板部的连接板部，该接触部设置于该后侧面且邻近于该顶抵板部，该接触部用以接触该顶撑件并可被该顶撑件向前顶撑，该顶撑件与该接触部其中之一为一滚轮而其中另一为一凸块，该凸块具有一用以接触该滚轮的斜面，该凸轮件可转动地枢接于该门体并连接于该连接板部，该凸轮件用以带动该闩锁件滑动至该接触部被该顶撑件向前顶撑的一锁定位置，以使该顶抵板部穿伸至该卡槽内并顶抵于该前侧缘。
[0016]该顶撑件为该滚轮并枢接于该门体，该闩锁件包括多个设置于该后侧面且彼此相间隔排列的接触部，各该接触部为该凸块并凸设于该后侧面。
[0017]该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对所述接触部朝该顶撑件方向偏压。
[0018]该门体包含一前盖板，该前盖板包括一长形肋条，该板体更包含一前侧面，该第一弹性臂凸伸出该前侧面，该第一弹性臂包含一抵压于该长形肋条的第一抵压面。
[0019]该门体包含一枢接单元，该枢接单元包括多个相间隔排列的枢接片，各该枢接片形成一供该顶撑件枢接的枢接槽。
[0020]该凸轮件形成至少一定位凹槽，该闩锁件更包括一凸设于该前侧面且位于该连接板部的定位卡块，该定位卡块用以卡掣于该定位凹槽以使该闩锁件定位在该锁定位置。
[0021]该凸轮件包括一间隔位于该连接板部前方的盘体，及一凸设于该盘体后侧的顶推块，该顶推块包含一用以顶推该定位卡块的螺旋曲面，该螺旋曲面形成有该定位凹槽，该顶推块形成有至少一由该螺旋曲面朝该盘体方向凹陷并与该定位凹槽相连通的弧形槽，该弧形槽的延伸方向与该螺旋曲面的延伸方向相同。
[0022]该门体更包含一背板，该闩锁件更包括一凸设于该后侧面且位于该连接板部的第二弹性臂，该第二弹性臂用以对该定位卡块朝该凸轮件方向偏压，该第二弹性臂包含一抵压于该背板的第二抵压面。
[0023]该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对所述接触部朝该顶撑件方向偏压。
[0024]本实用新型的有益效果在于:能减少整体闩锁机构在闩锁件滑动过程中所发生的摩擦，以降低摩擦所产生的粉尘数量，进而避免粉尘污染承载空间内的晶圆；并使闩锁件即使在凸轮件转动动作不完全的情况下，也能在离开锁定位置后自动地复位至释锁位置，或者是在离开释锁位置后自动地复位至锁定位置，因而提升了使用上的方便性，以及操作上的可靠度。
【附图说明】
[0025]图1是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例的立体图，说明门组装于盒体并封闭盒体的开口 ；
[0026]图2是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例的立体分解图，说明门与盒体间的组装关系；
[0027]图3是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例的门的立体分解图，说明门体与闩锁机构间的组装关系；
[0028 ]图4是本实用新型具有円锁机构的晶圆盒的一实施例的门的局部立体分解图；
[0029]图5是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例的不完整局部前视图，说明凸轮件位在第一位置，R锁件位在释锁位置；
[0030]图6是本实用新型具有円锁机构的晶圆盒的一实施例的门的不完整局部后视图，说明凸轮件位在第一位置，R锁件位在释锁位置；
[0031]图7是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例的不完整局部剖视图，说明凸轮件位在第一位置，R锁件位在释锁位置；
[0032]图8是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例的不完整局部前视图，说明凸轮件位在第二位置，闩锁件位在锁定位置；
[0033]图9是本实用新型具有円锁机构的晶圆盒的一实施例的门的不完整局部后视图，说明凸轮件位在第二位置，闩锁件位在锁定位置;及
[0034]图10是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例的不完整局部剖视图，说明凸轮件位在第二位置，闩锁件位在锁定位置。
【具体实施方式】
[0035]下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
[0036]参阅图1及图2，是本实用新型具有闩锁机构的晶圆盒的一实施例，晶圆盒100包含一盒体10，及一门20。盒体10形成有一承载空间11，及一连通于承载空间11前端的开口 12，承载空间11内用以供多片晶圆容置。盒体10包括一界定出开口 12的围绕壁13，围绕壁13内壁面形成有一肩部131，围绕壁13内壁面上、下两侧分别形成有两个左右相间隔的卡槽132，且围绕壁13包括四个分别位于所述卡槽132前侧的前侧缘133，各前侧缘133间隔位于肩部131前方。
[0037]参阅图2、图3及图4，本实施例的门20包括一门体2，及两个闩锁机构3。门体2组装在盒体10的围绕壁13内以封闭开口 12。门体2包含一壳件21、一前盖板22，及一密封件23。壳件21包括一背板211、多个凸设于背板211前侧部的凸柱212、一由背板211外周缘朝前延伸的周壁213、两对设置于背板211前侧部的枢接单元214、两个设置于背板211前侧部的轴衬215，及多个凸设于背板211前侧部的挡止凸柱216。周壁213上、下两侧分别各形成有两个左右相间隔的开孔217，各开孔217与对应卡槽132相连通。每一对的两个枢接单元214上下相间隔，各枢接单元214邻近于对应的开孔217，各枢接单元214包含多个凸设于背板211前侧部且左右相间隔排列的枢接片218，各枢接片218形成有一缺口朝前的枢接槽219。两轴衬215左右相间隔，各轴衬215位在对应的两个枢接单元214之间。多个挡止凸柱216分别环绕在两个轴衬215外周围。
[0038]前盖板22通过卡钩卡接于壳件21的周壁213，前盖板22与壳件21共同形成一容置空间24，各开孔217与容置空间24相连通。前盖板22包括一板部221，及两对凸设于板部221后侧部的长形肋条222。板部221形成有两个左、右相间隔的穿孔223。每一对的两个长形肋条222上下相间隔且分别邻近于板部221顶端及板部221底端，各长形肋条222的长度延伸方向沿一纵向延伸。
[0039]密封件23是由例如橡胶材质所制成，密封件23呈环形状并套设于背板211外周缘，密封件23用以抵接于盒体10的肩部131。
[0040]参阅图3、图4、图5及图6，闩锁机构3设置于门体2的容置空间24内。闩锁机构3包含一顶撑件31、一闩锁件32，及一凸轮件34，而在本实施例中是以每一组闩锁机构3具有两个顶撑件31、两个闩锁件32，及一个凸轮件34作为范例。每一对的两个顶撑件31上下相间隔，本实施例的各顶撑件31为一滚轮，各顶撑件31可转动地枢接于对应枢接单元214的枢接槽219内并且邻近于对应的开孔217。各枢接单元214借由多个相间隔排列的枢接片218共同枢接并支撑对应顶撑件31的方式，以减少与顶撑件31接触的面积，借此，能降低顶撑件31转动时所受的摩擦力。
[0041]每一对的两个闩锁件32上下排列且反向设置，各闩锁件32包括一板体320、至少一接触部321、一第一弹性臂322、一定位卡块323，及一第二弹性臂324。板体320包含一滑接板部325、一形成于滑接板部325—端的顶抵板部326，及一形成于滑接板部325相反于顶抵板部326的另一端的连接板部327。滑接板部325、顶抵板部326及连接板部327共同界定出一面向前盖板22的前侧面328，及一面向背板211的后侧面329。滑接板部325形成有两个长形导槽330，各长形导槽330贯穿前侧面328与后侧面329，各长形导槽330的长度延伸方向是沿着平行于滑接板部325长边的方向延伸，各长形导槽330用以供对应凸柱212穿设。借由各长形导槽330与对应凸柱212相配合，使得闩锁件32能沿着长形导槽330的长度延伸方向相对于壳件21滑动。顶抵板部326经由开孔217内部穿伸至对应卡槽132内并顶抵于对应前侧缘133(如图2所示)。连接板部327形成有一凹槽331，及一邻接于凹槽331的弧形面332。
[0042]在本实施例中，多个接触部321设置于板体320的后侧面329且左右相间隔排列，在本实施例中，各接触部321为一凸设于后侧面329且邻近于顶抵板部326的凸块，各接触部321具有一用以接触对应顶撑件31的斜面333。第一弹性臂322连接于板体320的滑接板部325并且凸伸出前侧面328，第一弹性臂322是由滑接板部325中段处朝前并朝顶抵板部326方向倾斜延伸而出，第一弹性臂322包含一抵压于前盖板22的对应长形肋条222的第一抵压面334。
[0043]定位卡块323凸设于板体320的前侧面328且位于连接板部327上邻近于连接板部327末端处。第二弹性臂324凸设于板体320的后侧面329且位于连接板部327上，第二弹性臂324是由后侧面329朝后并朝远离顶抵板部326方向倾斜延伸而出，第二弹性臂324包含一抵压于壳件21的背板211的第二抵压面335。
[0044]各凸轮件34可转动地枢接于门体2并包括一呈圆形的盘体341、一凸设于盘体341后侧的套筒342、两个凸设于盘体341后侧的顶推柱343，及两个凸设于盘体341后侧的顶推块344。盘体341位在前盖板22的板部221后侧且间隔位于对应两个闩锁件32的连接板部327前方，盘体341形成有一插槽345，插槽345与前盖板22的对应穿孔223位置对齐，插槽345与穿孔223的形状相同，借此，一钥匙可经由穿孔223插置于插槽345内以带动凸轮件34转动。盘体341包含多个环设于外周缘的凸出部346，壳件21的各挡止凸柱216用以挡止对应凸出部346，以限制凸轮件34的转动角度。套筒342可转动地套设于对应轴衬215上。两顶推柱343分别连接于套筒342的两侧，各顶推柱343穿伸至对应闩锁件32的凹槽331内，各顶推柱343用以顶推对应闩锁件32的弧形面332，以带动闩锁件32滑动。两个顶推块344位于套筒342的另外两侧且分别与套筒342相间隔，又两顶推块344设置位置的连线与两个顶推柱343设置位置的连线是互相垂直，且各顶推块344位于两个闩锁件32的连接板部327之间。各顶推块344包含一用以顶推对应闩锁件32的定位卡块323的螺旋曲面347，螺旋曲面347邻近末端处形成有至少一用以供定位卡块323卡接的定位凹槽348。
[0045]各顶推块344形成有至少一个由螺旋曲面347朝盘体341方向凹陷并且延伸至盘体341的弧形槽349。更具体地，在本实施例中，各顶推块344形成有多个由螺旋曲面347朝盘体341方向凹陷并且延伸至盘体341的弧形槽349，多个弧形槽349彼此相间隔排列并与定位凹槽348相连通，各弧形槽349的延伸方向与螺旋曲面347的延伸方向相同。借由多个弧形槽349的设计，能减少顶推块344与定位卡块323接触的面积，借此，能降低顶推块344顶推定位卡块323时的摩擦力。需说明的是，弧形槽349的数量也可为一个，不以本实施例所揭露的数量为限。
[0046]参阅图5、图6及图7，当各凸轮件34位在图5所不的一第一位置时，各凸轮件34的两个顶推柱343分别卡接于两个闩锁件32的凹槽331内，以将两闩锁件32分别限制在一释锁位置。当各闩锁件32位在释锁位置时，顶抵板部326与对应卡槽132对齐但未穿伸至卡槽132内，各接触部321的斜面333与对应顶撑件31相间隔一段距离，定位卡块323与对应顶推块344的螺旋曲面347相间隔一段距离，而壳件21的各凸柱212位在对应长形导槽330—端。
[0047]参阅图8、图9及图10，欲将门体2(如图2所示)锁固于盒体10时，通过钥匙带动各凸轮件34沿一第一旋转方向Rl转动。各凸轮件34沿第一旋转方向Rl转动的过程中，两顶推柱343会先分别移离两闩锁件32的凹槽331，随后，两顶推柱343会分别顶推两闩锁件32的弧形面332，以促使两闩锁件32分别沿一第一滑动方向Dl，及一相反于第一滑动方向Dl的第二滑动方向D2滑动。
[0048]由于在将门体2(如图2所示)锁固于盒体10的过程中，两闩锁件32除了分别是沿第一滑动方向Dl及第二滑动方向D2滑动外，其余的动作过程皆相同，因此，以下只针对沿第一滑动方向Dl滑动至锁定位置的闩锁件32进行说明。
[0049]闩锁件32沿第一滑动方向Dl滑动的过程中，各接触部321的斜面333接触到顶撑件31时会受其施加压力，借由顶撑件31施加于斜面333的压力中一朝前的分力促使闩锁件32邻近顶抵板部326的一端逐渐向前倾斜。而在闩锁件32邻近顶抵板部326的一端向前倾斜的过程中，第一弹性臂322受到长形肋条222的阻挡及挤压，使得第一弹性臂322朝向滑接板部325的方向弯折变形并蓄积复位弹力。另一方面，当凸轮件34沿一第一旋转方向Rl转动时，同时也带动顶推块344移动，并使得定位卡块323由顶推块344的螺旋曲面347底端开始沿着螺旋曲面347而朝向螺旋曲面347的顶端滑动。当定位卡块323由螺旋曲面347底端滑动并逐渐接近螺旋曲面347的顶端时，螺旋曲面347施加于定位卡块323的一朝后分力会促使连接板部327逐渐向后倾斜，而使第二弹性臂324受到背板211的阻挡及挤压，因而造成第二弹性臂324向着连接板部327的方向弯折变形并蓄积复位弹力。
[0050]当各凸轮件34转动到图8所示的一第二位置时，顶抵板部326穿伸至盒体10的对应卡槽132内并顶抵于对应前侧缘133，闩锁件32的定位卡块323卡接于顶推块344的定位凹槽348内，而壳件21的各凸柱212位在对应长形导槽330另一端。借由定位卡块323卡接于定位凹槽348内，以及各接触部321的斜面333抵接于顶撑件31，使得闩锁件32能稳固地定位在一如图10所示呈倾斜的锁定位置，借此，能将门体2锁固于盒体10。由于闩锁件32在锁定位置时，第一弹性臂322对接触部321朝顶撑件31方向偏压，因此，第一弹性臂322通过接触部321传递至顶撑件31上的弹力会迫使密封件23紧密地抵压于盒体10的肩部131，而顶撑件31对接触部321所产生的反作用力则会迫使顶抵板部326紧密地顶抵于前侧缘133，借此，使得门体2能稳固地锁定在盒体10，且门体2与盒体10之间能达到良好的气密效果。
[0051]欲解除门体2与盒体10之间的锁定状态时，通过钥匙带动各凸轮件34沿一相反于第一旋转方向Rl的第二旋转方向R2转动。当顶推块344的定位凹槽348移离定位卡块323时，借由第二弹性臂324的复位弹力作用对连接板部327及定位卡块323偏压所造成的推力，连接板部327会逐渐向前倾斜且定位卡块323会顶推顶推块344的螺旋曲面347滑动，因而驱使凸轮件34沿着第二旋转方向R2转动，借此促使凸轮件34即使在使用者不再继续出力转动的情况下也能自动地复位至第一位置。另一方面，借由第一弹性臂322复位弹力作用对滑接板部325及接触部321偏压所造成的推力，接触部321的斜面333会抵靠着顶撑件31滑动，使得闩锁件32靠顶抵板部326的一端逐渐向后倾斜，借此，闩锁件32能自动地沿第二滑动方向D2滑动并复位至释锁位置，以使顶抵板部326移离前侧缘133及卡槽132。此时，可将门20(如图2所示)拆离盒体10，以便于将晶圆放置于盒体10的承载空间11(如图2所示)内或是将承载空间11内的晶圆取出。
[0052]特别说明的是，由于顶撑件31为枢接于枢接片218的滚轮，因此，接触部321的斜面333沿着顶撑件31滑动的过程中会同时带动顶撑件31转动，因此能减少两者之间的摩擦。再者，闩锁件32借由多个相间隔排列的接触部321的斜面333与顶撑件31接触的方式，能减少接触部321与顶撑件31接触的面积。另一方面，闩锁件32在滑动过程中，第一弹性臂322的第一抵压面334会沿着长形肋条222滑动，前盖板22借由长形肋条222与第一抵压面334接触的方式，能减少与第一抵压面334接触的面积，借此，能减少第一弹性臂322移动时所产生的摩擦。借由前述设计方式，能大幅减少闩锁件32在滑动过程中接触部321与顶撑件31之间以及第一弹性臂322与前盖板22之间的摩擦，因而有效减少了摩擦所产生的粉尘，进而避免粉尘污染承载空间11内的晶圆。
[0053]在其他的实施方式中，接触部321的数量也可为一个，不以本实施例所揭露的数量为限。再者。接触部321也可为一枢接于板体320的滚轮，而顶撑件31则可为一具有斜面的凸块，借此，同样能达到减少摩擦现象发生的效果。
[0054]归纳上述，本实施例晶圆盒100的闩锁机构3，借由接触部321与顶撑件31相配合，以及第一弹性臂322与长形肋条222相配合的设计方式，能减少在闩锁件32滑动过程中的摩擦，以减少摩擦所产生的粉尘，进而避免粉尘污染承载空间11内的晶圆。再者，借由第一弹性臂322、顶撑件31及接触部321的斜面333相互配合，以及第二弹性臂324、定位卡块323与顶推块344的螺旋曲面347相互配合的设计，还能使闩锁件32即使在凸轮件34转动动作不完全，例如使用者不再继续出力转动凸轮件34的情况下，也能够在离开锁定位置后自动地复位至释锁位置，或者是在离开释锁位置后自动地复位至锁定位置，因此不仅提升了使用上的方便性，更提高了操作上的可靠度，确实能达到本实用新型所诉求的目的。
【主权项】
1.一种闩锁机构，设置于一门体内用以将该门体锁固于一盒体;其特征在于: 该闩锁机构包含一顶撑件、一闩锁件，及一凸轮件，该顶撑件设置于该门体内，该闩锁件包括一可滑动地连接于该门体的板体，及至少一接触部，该板体包含一间隔位于该顶撑件前方的后侧面、一顶抵板部，及一相反于该顶抵板部的连接板部，该接触部设置于该后侧面且邻近于该顶抵板部，该接触部用以接触该顶撑件并可被该顶撑件向前顶撑，该顶撑件与该接触部其中之一为一滚轮而其中另一为一凸块，该凸块具有一用以接触该滚轮的斜面，该凸轮件可转动地枢接于该门体并连接于该连接板部，该凸轮件用以带动该闩锁件滑动至该接触部被该顶撑件向前顶撑的一锁定位置，以使该顶抵板部顶抵于该盒体的一前侧缘。2.根据权利要求1所述的闩锁机构，其特征在于:该顶撑件为该滚轮并枢接于该门体，该闩锁件包括多个设置于该后侧面且彼此相间隔排列的接触部，各该接触部为该凸块并凸设于该后侧面。3.根据权利要求2所述的闩锁机构，其特征在于:该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对所述接触部朝该顶撑件方向偏压。4.根据权利要求3所述的R锁机构，其特征在于:该板体更包含一前侧面，该第一弹性臂凸伸出该前侧面，该第一弹性臂包含一抵压于该门体的第一抵压面。5.根据权利要求4所述的闩锁机构，其特征在于:该凸轮件形成有至少一定位凹槽，该闩锁件更包括一凸设于该前侧面且位于该连接板部的定位卡块，该定位卡块用以卡掣于该定位凹槽以使该闩锁件定位在该锁定位置。6.根据权利要求5所述的闩锁机构，其特征在于:该凸轮件包括一间隔位于该连接板部前方的盘体，及一凸设于该盘体后侧的顶推块，该顶推块包含一用以顶推该定位卡块的螺旋曲面，该螺旋曲面形成有该定位凹槽，该顶推块形成有至少一由该螺旋曲面朝该盘体方向凹陷并与该定位凹槽相连通的弧形槽，该弧形槽的延伸方向与该螺旋曲面的延伸方向相同。7.根据权利要求6所述的闩锁机构，其特征在于:该闩锁件更包括一凸设于该后侧面且位于该连接板部的第二弹性臂，该第二弹性臂用以对该定位卡块朝该凸轮件方向偏压，该第二弹性臂包含一抵压于该门体的第二抵压面。8.根据权利要求1所述的闩锁机构，其特征在于:该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对该接触部朝该顶撑件方向偏压。9.一种具有闩锁机构的晶圆盒;其特征在于: 该晶圆盒包含一盒体及一门，该盒体形成有至少一^^槽，该盒体包括一位于该卡槽前侧的前侧缘，该门包括一门体，及至少一闩锁机构，该门体形成一容置空间，及至少一与该容置空间相连通的开孔，该开孔与该卡槽相连通，该闩锁机构设置于该容置空间内，且该闩锁机构包含至少一顶撑件、至少一闩锁件，及一凸轮件，该顶撑件设置于该门体且邻近于该开孔，该闩锁件包括一可滑动地连接于该门体的板体，及至少一接触部，该板体包含一间隔位于该顶撑件前方的后侧面、一穿设于该开孔内的顶抵板部，及一相反于该顶抵板部的连接板部，该接触部设置于该后侧面且邻近于该顶抵板部，该接触部用以接触该顶撑件并可被该顶撑件向前顶撑，该顶撑件与该接触部其中之一为一滚轮而其中另一为一凸块，该凸块具有一用以接触该滚轮的斜面，该凸轮件可转动地枢接于该门体并连接于该连接板部，该凸轮件用以带动该闩锁件滑动至该接触部被该顶撑件向前顶撑的一锁定位置，以使该顶抵板部穿伸至该卡槽内并顶抵于该前侧缘。10.根据权利要求9所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该顶撑件为该滚轮并枢接于该门体，该闩锁件包括多个设置于该后侧面且彼此相间隔排列的接触部，各该接触部为该凸块并凸设于该后侧面。11.根据权利要求10所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对所述接触部朝该顶撑件方向偏压。12.根据权利要求11所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该门体包含一前盖板，该前盖板包括一长形肋条，该板体更包含一前侧面，该第一弹性臂凸伸出该前侧面，该第一弹性臂包含一抵压于该长形肋条的第一抵压面。13.根据权利要求10所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该门体包含一枢接单元，该枢接单元包括多个相间隔排列的枢接片，各该枢接片形成一供该顶撑件枢接的枢接槽。14.根据权利要求12所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该凸轮件形成至少一定位凹槽，该R锁件更包括一凸设于该前侧面且位于该连接板部的定位卡块，该定位卡块用以卡掣于该定位凹槽以使该闩锁件定位在该锁定位置。15.根据权利要求14所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该凸轮件包括一间隔位于该连接板部前方的盘体，及一凸设于该盘体后侧的顶推块，该顶推块包含一用以顶推该定位卡块的螺旋曲面，该螺旋曲面形成有该定位凹槽，该顶推块形成有至少一由该螺旋曲面朝该盘体方向凹陷并与该定位凹槽相连通的弧形槽，该弧形槽的延伸方向与该螺旋曲面的延伸方向相同。16.根据权利要求15所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该门体更包含一背板，该闩锁件更包括一凸设于该后侧面且位于该连接板部的第二弹性臂，该第二弹性臂用以对该定位卡块朝该凸轮件方向偏压，该第二弹性臂包含一抵压于该背板的第二抵压面。17.根据权利要求9所述的具有闩锁机构的晶圆盒，其特征在于:该闩锁件更包括一设置于该板体的第一弹性臂，该第一弹性臂抵压于该门体用以对所述接触部朝该顶撑件方向偏压。
【文档编号】H01L21/673GK205609490SQ201620411200
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月9日
【发明人】江枝茂, 邱铭隆
【申请人】中勤实业股份有限公司