一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，包括真空舱体、磁流体密封装置、传动轴、电极、从动轴、磁粉制动器和支撑辊。所述传动轴的一端通过磁流体密封装置伸入真空舱体内部，内端头部为一字扁形并带有螺纹，通过端盖、蝶形螺母与空卷轴连接并固定，外端与减速机和电机联接，使电机能够带动空卷轴转动，从而实现收卷功能；从动轴与磁粉制动器一起安装在真空舱体上，从动轴头部为一字扁形并带有螺纹，通过端盖、蝶形螺母与带状材料卷轴连接并固定，从动轴带动带状材料卷轴旋转而实现放卷功能。最终实现带状材料高效、连续、均匀的等离子处理。
【专利说明】
一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种卷轴装置，特别是涉及一种用于带状材料等离子处理的专门卷轴装置。
【背景技术】
[0002]等离子表面处理是一种新兴的高科技表面处理方法，通过处理可以使材料表面实现亲水、疏水等特殊功能，以便大幅度增强表面的粘合、焊接、涂镀或者是防水防腐蚀等能力。这一处理手段目前被广泛地应用于电子、芯片、航空航天、兵器、汽车等领域，而且随着科技的发展此技术的应用也越来越广泛。
[0003]现有通常的等离子表面处理技术是，在真空舱体内，导入射频或高频电源，连接到并联的、水平布置(或垂直)的一个或者数个电极板上。电极板之间有一定的间隙，可以在间隙处放入水平托盘，需要处理的样品就放置在托盘上。进行处理时，样品放入托盘并把托盘置入舱体，用真空栗把舱体内的真空度抽到0.1-0.6mbar左右，通入处理气体并接通射频电源。因为接入的射频电源一般电压在1000V至1600V之间，舱体内的电极板被接通射频电源后会击穿舱体内通入的处理气体，将气体分子电离产生等离子，电极板和舱体之间存在电位差，等离子在电位差的作用下从电极板向舱体或者接地的阴极运动，并轰击放置在托盘上的样品，从而使样品得到处理。
[0004]但是这种常用的等离子处理设备结构对带状材料处理是非常困难的，主要存在的问题是，在真空舱体内只有暴露在表面的材料才能得到处理，而大多数带状材料都是以卷状存在，因此内部的材料得不到处理。
【发明内容】
[0005]为了解决以上问题，本实用新型采用的是卷对卷技术，该装置能够对带状材料进行高效、连续、均匀的等离子处理。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是:一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，包括:真空舱体、磁流体密封装置、传动轴、电极、从动轴、磁粉制动器和支撑辊。
[0007]可选地，在传统的等离子清洗机的基础上，在所述真空舱体的一侧安装一个传动轴、一个从动轴和磁粉制动器。
[0008]可选地，所述传动轴的一端通过磁流体密封装置伸入所述真空舱体内；其中在真空舱体外的一端连接减速机的输出轴，所述减速机的输入轴连接电机输出轴；
[0009]所述传动轴伸入真空舱体内的一端头部为一字扁形并带有螺纹，通过端盖与蝶形螺母和空卷轴连接固定为一体。
[0010]可选地，所述传动轴旋转而实现带动空卷轴旋转，达到收卷功能，所述空卷轴转速为0.1-1OOrpm0
[0011 ]可选地，所述从动轴和磁粉制动器一起安装于所述真空舱体一侧，设置在所述传动轴上部，只有当传动轴的转动力足够大时才能带动从动轴转动，当转动力小时，从动轴就会停止转动，从而使带状材料保持绷紧状态。
[0012]可选地，所述从动轴头部同样为一字扁形并带有螺纹，带状材料卷轴会放在从动轴上，通过端盖和蝶形螺母与从动轴连接，当传动轴转动力大于磁粉制动力时，所述带状材料卷轴转动，从而实现放卷功能。
[0013]可选地，所述支撑辊共2个，分别设置在所述真空舱体内部一侧，带状材料从所述从动轴绕过所述支撑辊后，卷在所述传动轴上的空卷轴上。
[0014]可选地，所述电极设置在所述真空舱体内部，所述真空舱体作为阴极，所述电极作为阳极。
[0015]本实用新型具体操作时，在传动轴连接固定空卷轴，把带状材料卷轴放在从动轴上，拉动带状材料绕过支撑辊后，卷在传动轴上的空卷轴上，在进行等离子处理时，关闭真空舱门，真空舱体被抽真空至0.1-0.6mbar以达到等离子发生时所需要的真空度，启动处理气体输入，并维持真空度保持稳定，启动设定好了功率的射频电源，这时与射频电源连接的电极带电，并电离处理气体，产生等离子，等离子充满整个真空舱内部时，启动电机旋转，旋转就会通过减速机-传动轴传递至空卷轴上，这样带状材料会在空卷轴上收卷;当传动轴的转动力大于磁粉制动力时，带动从动轴上的带状材料卷轴旋转，实现放卷功能；当带状材料处理完后，关闭电机和射频电源，传动轴停止旋转，通入空气以使真空舱体内的真空与大气连通，使真空舱体内恢复常压，而此时带状材料已完成处理并缠绕在了原来安装在传动轴上的空卷轴上，能直接拿到下一步工序，打开舱门，将卷轴从传动轴和从动轴上取下拿出，完成处理。
[0016]本实用新型有益效果是:使带状材料连续通过处理区域，从而对带状材料进行连续、高效、均匀的等离子处理;装置使用的零件均可现成采购，易于实现。
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型的卷轴装置结构示意图；
[0018]图中:1、真空舱体(阴极)，2、磁流体密封装置，3、传动轴，4、电极(阴极)，5、从动轴，6、磁粉制动器，7、支撑辊。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和实例对本实用新型进一步说明。
[0020]如图1所述，一种用于带状材料等离子处理的专门卷轴装置，包括:真空舱体1、磁流体密封装置2、传动轴3、电极4、从动轴5、磁粉制动器6和支撑辊7。
[0021 ] 在所述真空舱体I的一侧安装一个传动轴3、一个从动轴5和磁粉制动器6。
[0022]所述传动轴3的一端通过专用的磁流体密封装置2伸入真空舱体I内部；
[0023]具体地，所述传动轴3在真空舱体I外的一端连接减速机的输出轴，所述减速机的输入轴连接电机输出轴；
[0024]所述传动轴3在真空舱体I内部一端头部为一字扁形并带有螺纹，通过端盖和蝶形螺母与空卷轴连接固定为一体;所述传动轴3旋转而实现带动空卷轴旋转，达到收卷功能，所述空卷轴转速为0.l-100rpm。
[0025]所述从动轴5和磁粉制动器6—起安装于所述真空舱体I一侧，设置在所述传动轴3上部，只有当传动轴3的转动力足够大时才能带动从动轴5转动，当转动力小时，从动轴就会停止转动，从而使带状材料保持绷紧状态。
[0026]所述从动轴5头部同样为一字扁形并带有螺纹，通过端盖和蝶形螺母与带状材料卷轴连接固定成一体，当传动轴3转动力大于磁粉制动力时，所述带状材料卷轴转动，从而实现放卷功能。
[0027]所述支撑辊7共2个，分别设置在所述真空舱体I内部一侧，带状材料从所述从动轴5绕过所述支撑轴7后，卷在所述传动轴3上的空卷轴上。
[0028]可选地，所述电极4设置在所述真空舱体I内部，所述真空舱体I作为阴极，所述电极4作为阳极。
[0029]本实用新型具体操作时，在传动轴3连接固定空卷轴，把带状材料卷轴放在从动轴5上，拉动带状材料绕过支撑辊7后缠绕到安装在传动轴3上的空卷轴上;在进行等离子处理时，关闭真空舱门，真空舱体I被抽真空至0.1-0.6mbar以达到等离子发生时所需要的真空度，启动处理气体输入，并维持真空度保持稳定，启动设定好了功率的射频电源，这时与射频电源连接的电极带电，并电离处理气体，产生等离子，等离子充满整个真空舱体I内部时，启动电机，旋转就会通过减速机-传动轴3传递至空卷轴上，空卷轴开始旋转，这样带状材料会在空卷轴上收卷；当传动轴3转动力大于磁粉制动力时，所述带状材料卷轴转动，从而实现放卷功能；当带状材料处理完后，关闭电机和射频电源，传动轴3停止旋转，通入空气以使真空舱体I内的真空与大气连通，使真空舱体I内恢复常压，而此时带状材料已完成处理并缠绕在了原来安装在传动轴上的空卷轴上，能直接拿到下一步工序，打开舱门，将卷轴从传动轴3和从动轴5上取下拿出，完成处理。
[0030]本实用新型有益效果是:使带状材料连续通过处理区域，从而对带状材料进行连续、高效、均匀的等离子处理;装置使用的零件均可现成采购，易于实现。
[0031]以上结合附图为本实用新型的实施方式进行详细说明，但本实用新型不限于上述实施方式，凡依据本实用新型申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型的涵盖范围。
【主权项】
1.一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，其特征是:所述卷轴装置包括真空舱体(1)、磁流体密封装置(2)、传动轴(3)、电极(4)、从动轴(5)、磁粉制动器(6)和支撑辊(7); 所述真空舱体(I)的一侧设置有一个传动轴(3)、一个从动轴(5);所述传动轴(3)的一端通过磁流体密封装置(2)伸入真空舱体(I)内部，伸入真空舱体(I)内部的一端头部为一字扁形并带有螺纹，通过端盖和蝶形螺母与空卷轴联接并固定为一体，所述传动轴(3)旋转而实现带动空卷轴旋转，达到收卷功能； 所述从动轴(5)头部同样为一字扁形并带有螺纹，带状材料卷轴会放在从动轴(5)上，通过端盖和蝶形螺母与从动轴(5)连接，当传动轴(3)转动力大于磁粉制动力时，所述带状材料卷轴转动，从而实现放卷功能。2.根据权利要求1所述的一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，其特征是，所述空卷轴转速为0.l-100rpm。3.根据权利要求1或2所述的一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，其特征是，所述传动轴(3)在真空舱体(I)外的一端连接减速机的输出轴，所述减速机的输入轴连接电机输出轴。4.根据权利要求1所述的一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，其特征是所述从动轴(5)与磁粉制动器(6) 一起安装在真空舱体(I)上。5.根据权利要求1所述的一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，其特征是，所述支撑辊(7)共2个，分别设置在所述真空舱体(I)内部一侧，带状材料从所述从动轴(5)绕过所述支撑辊(7)后，卷在所述传动轴(3)上的空卷轴上。6.根据权利要求1所述的一种对带状材料进行等离子处理的卷轴装置，其特征是，所述电极(4)设置在所述真空舱体(I)内部，所述真空舱体(I)作为阴极，所述电极(4)作为阳极。
【文档编号】H01J37/32GK205621700SQ201620341065
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年4月21日
【发明人】郑亮
【申请人】郑亮