一种新型半导体元件连杆式测试机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种新型半导体元件连杆式测试机构，包括支撑机构、微调机构、电机、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构。其特征在于：所述支撑机构包括底板、立板、滑轨安装板及电机固定板，所述微调机构通过螺钉固定块与支撑机构连接，所述电机安装在电机固板上，所述连杆转动机构通过转轴夹紧块与电机连接，所述直线滑轨运动机构通过滑轨固定在支撑机构上，并通过关节轴承与连杆转动机构连接，所述测试针机构通过测试针安装座固定在直线滑轨运动机构上，所述安全位置检测机构通过感应器安装板固定在支撑机构上。本实用新型一种半导体元件连杆式测试机构采用刚性连接，将电机的旋转运动转化成测试针机构的直线运动，并带有安全位置检测机构与微调机构，整体结构简单，测试机构速度更快，更符合目前电子元器件的制作工艺，应用性更广。
【专利说明】
一种新型半导体元件连杆式测试机构
技术领域
[0001]本实用新型主要是涉及一种新型半导体元件连杆式测试机构，进一步涉及一种对发光电子元件测试机构。
【背景技术】
[0002]半导体元件的生产环节中，半导体元体测试是重要的环节，半导体元件根据测试的结果进行分类。根据半导体引脚的方向不同，目前半导体元件的测试有分为底部测试、顶部测试与夹侧测试。其中夹侧测试因工艺简单易实现，测试结果准确度高被半导体元件测试设备厂商广泛使用。
[0003]传统的夹侧测试机构采用的是凸轮机构，通过凸轮顶开轴承和拉伸弹簧复位的方式使测试针机构做往复运动，凸轮与轴承靠拉伸弹簧拉力紧密接触，结构方式复杂，安装与调节不方便;在位置控制中，控制电机停止转动后由于拉伸弹簧存在阻尼运动而使测试针机构无法立即精确到位，测试针机构精确到位需要一个延时，限制了测试机构的速度。
[0004]因此，测试机构结构的简化与方便快捷的安装调节方式，以及提升测试机构的速度变得很重要。
【发明内容】
[0005]鉴于以上内容，有必要提供一种采用结构简单、安装调节方便快捷、速度又快的半导体元件测试机构。
[0006]本实用新型提供一种新型半导体元件连杆式测试机构，包括支撑机构、微调机构、电机、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构。其特征在于:所述支撑机构包括底板、立板、滑轨安装板及电机固定板，所述微调机构通过螺钉固定块与支撑机构连接，所述电机安装在电机固板上，所述连杆转动机构通过转轴夹紧块与电机连接，所述直线滑轨运动机构通过滑轨固定在支撑机构上，并通过关节轴承与连杆转动机构连接，所述测试针机构通过测试针安装座固定在直线滑轨运动机构上，所述安全位置检测机构通过感应器安装板固定在支撑机构上。
[0007]优选的，所述连杆转动机构采用电机驱动的方式。
[0008]优选的，所述直线滑轨运动机构与连杆转动机构的连接采用关节轴承连接方式。
[0009]优选的，所述安全位置检测机构包括感应器片、感应器和感应器安装板，用来检测测试针机构的安全位置，确保测试针机构能在安全位置内运动。
[0010]优选的，所述测试针机构的往复直线运动，是由电机驱动连杆转动机构带动的方式。
[0011]优选的，所述微调机构的实现方式是通过旋转调节螺钉来微调整测试针机构的前后、左右及上下的位置。
[0012]与现有技术相比，本实用新型的优点在于:采用了从电机轴到测试机构的刚性连接，往复运动由电机驱动的方式，速度更快;采用关节轴承联接方式使安装调节更加方便快捷，同时也简化了结构;采用安全位置检测机构，能确保测试机构运动的安全性。采用微调机构，使测试针机构位置的调整更加精确。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型一种新型半导体元件连杆式测试机构的轴测视图。
[0014]图2是本实用新型一种新型半导体元件连杆式测试机构的主视图。
[0015]附图标记说明:1、底板2、立板3、滑轨安装板4、测试针安装座
[0016]5、测试针6、测试座盖板7、测试座安装架8、滑轨9、滑块10、滑块固定座11、关节轴承12、连杆13、调节螺钉14、电机15、电机固定板16、转轴夹紧块17、法兰轴承18、轴承固定轴19、螺钉固定块
[0017]20、感应器21、感应器片22、感应器安装板
【具体实施方式】
[0018]下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。
[0019]如图1-图2所示，一种新型半导体元件连杆式测试机构，包括支撑机构、微调机构、电机14、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构。如图1?图2所示支撑机构包括底板1、立板2、滑轨安装板3和电机固定板15。微调机构包括调节螺钉13、通过螺钉固定块19与支撑机构连接。连杆转动机构包括转轴夹紧块16、法兰轴承17、轴承固定轴19、连杆12和关节轴承11，通过转轴夹紧块16与电机14连接。直线滑轨运动机构包括滑块固定座10、滑块9、滑轨8和测试座安装架8，通过关节轴承11与连杆转动机构连接，滑轨8固定在支撑机构的滑轨安装板3上。测试针机构包括测试针安装座4、测试针5和测试座盖板6，通过测试针安装座4固定在直线滑轨运动机构的测试座安装架8上。安全位置检测机构包括感应器片21、感应器20和感应器安装板22，感应器片21安装在直线滑轨运动机构的滑块固定座10上，感应安装板22固定在支撑机构的滑轨安装板3上。
[0020]以上所述为本实用新型的一个较佳实施例，在不脱离本实用新型的发明构思的情况下，进行的任何显而易见的变形和替换，均属本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种新型半导体元件连杆式测试机构，包括支撑机构、微调机构、电机、连杆转动机构、直线滑轨运动机构、测试针机构、安全位置检测机构； 其特征在于:所述支撑机构包括底板、立板、滑轨安装板及电机固定板，所述微调机构通过调节螺钉与支撑机构连接，所述电机安装在电机固板上，所述连杆转动机构通过转轴夹紧块与电机连接，所述直线滑轨运动机构通过滑轨固定在支撑机构上，并通过关节轴承与连杆转动机构连接，所述测试针机构通过测试针安装座固定在直线滑轨运动机构上，所述安全位置检测机构通过感应器安装板固定在支撑机构上。2.根据权利要求1所述一种新型半导体元件连杆式测试机构，其特征在于:所述连杆转动机构采用电机驱动的方式。3.根据权利要求1所述一种新型半导体元件连杆式测试机构，其特征在于:所述直线滑轨运动机构与连杆转动机构的连接采用关节轴承连接方式。4.根据权利要求1所述一种新型半导体元件连杆式测试机构，其特征在于:所述安全位置检测机构包括感应器片、感应器和固定座，用来检测测试针机构的安全位置，确保测试针机构能在安全位置内运动。5.根据权利要求1所述一种新型半导体元件连杆式测试机构，其特征在于:所述测试针机构的往复直线运动，是由电机驱动连杆转动机构带动的方式。6.根据权利要求1所述一种新型半导体元件连杆式测试机构，其特征在于:所述微调机构的实现方式是通过旋转调节螺钉来微调整测试针机构的前后、左右及上下的位置。
【文档编号】H01L21/66GK205645761SQ201620421986
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月10日
【发明人】蔡建镁, 黄新青, 刘骏, 张嘉鸿, 齐建
【申请人】深圳市华腾半导体设备有限公司