化学品供应装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提出了一种化学品供应装置，包括：多个化学管路，混合槽，不同的化学物品在混合槽中混合，形成清洗液；混合支路，设有泵和加热装置的混合支路，将清洗液输入至清洗机的化学槽中的清洗液输入管路，设有清洗装置的清洗液循环支路。添加的混合槽能够先对不同的化学物品进行混合，并且由混合支路进行均匀的混合，形成较为良好的清洗液，接着将清洗液输入至化学槽中，对硅片进行清洗，能够提高清洗效率，并且避免了化学物品的浪费。
【专利说明】
化学品供应装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种化学品供应装置。
【背景技术】
[0002]在半导体制造过程中，需要对硅片进行清洗，通常情况下，均是将硅片放置在硅片清洗机中进行清洗。硅片清洗机中设有化学槽，硅片放置在化学槽中，并由外接管路提供化学物品，不同的化学物品在化学槽中混合，从而对硅片进行清洗。
[0003]现有技术中，每个化学物品均连接一条管道，化学物品均由不同的管道进入化学槽中，在化学槽中混合成清洗液从而对硅片进行清洗。然而，该种装置较为浪费化学物品；在化学槽中进行混合导致混合不均匀，形成的清洗液并不稳定，不同的化学物品在混合时需要时间进行融合或者加热确保其融合更加均匀，不稳定的清洗液对硅片的清洗效率会十分低下，导致清洗不干净。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种化学品供应装置，能够使不同的化学物品混合均匀，充分形成良好的清洗液，提高清洗效率。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型提出了一种化学品供应装置，包括:
[0006]多个化学管路，用于提供不同的化学物品；
[0007]混合槽，不同的所述化学物品在所述混合槽中混合，形成清洗液；
[0008]混合支路，A口端和出口端均与所述混合槽连接，所述混合支路上设有栗和加热装置；
[0009]清洗液输入管路，将清洗液输入至清洗机的化学槽中；
[0010]清洗液循环支路，入口端和出口端与所述化学槽连接，所述清洗液循环支路上设有清洗装置。
[0011 ]进一步的，在所述的化学品供应装置中，所述清洗机包括一溢液槽，所述溢液槽连接在所述化学槽四周外侧。
[0012]进一步的，在所述的化学品供应装置中，所述清洗液循环支路入口端通过所述溢液槽连接所述化学槽。
[0013]进一步的，在所述的化学品供应装置中，所述清洗装置包括循环栗及过滤器。
[0014]进一步的，在所述的化学品供应装置中，所述循环栗靠近所述清洗液循环支路的入口端。
[0015]进一步的，在所述的化学品供应装置中，所述清洗装置还包括浓度计，所述浓度计位于所述过滤器和循环栗之间。
[0016]进一步的，在所述的化学品供应装置中，所述清洗装置还包括加热器，所述加热器靠近所述清洗液循环支路的出口端。
[0017]进一步的，在所述的化学品供应装置中，所述化学管路上设有阀门。
[0018]与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在:添加的混合槽能够先对不同的化学物品进行混合，并且由混合支路进行均匀的混合，形成较为良好的清洗液，接着将清洗液输入至化学槽中，对硅片进行清洗，能够提高清洗效率，并且避免了化学物品的浪费。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型一实施例中化学品供应装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合示意图对本实用新型的化学品供应装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0021]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0022]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0023]请参考图1，在本实施例中，提出了一种化学品供应装置，包括:多个化学管路10，用于提供不同的化学物品，所述化学管路10上设有阀门11;混合槽20，不同的所述化学物品在所述混合槽20中混合，形成清洗液;混合支路22，混合支路22的入口端和出口端均与所述混合槽20连接，所述混合支路22上设有栗23和加热装置24;清洗液输入管路21，将清洗液输入至清洗机的化学槽31中；清洗液循环支路33，清洗液循环支路33的入口端和出口端与所述化学槽31连接，所述清洗液循环支路33上设有清洗装置。
[0024]在本实施例中，化学物品先在所述混合槽20进行混合，并且通过混合支路22进行良好均匀的混合，混合支路的加热装置24能够为化学物品进行加热处理，以获得良好稳定的清洗液。
[0025]在本实施例中，所述清洗机包括一溢液槽32，所述溢液槽32连接在所述化学槽31的四周外侧。所述清洗液循环支路33入口端通过所述溢液槽32连接所述化学槽31。
[0026]所述清洗装置包括循环栗34及过滤器35，其中，所述循环栗34靠近所述清洗液循环支路33的入口端;所述循环栗34用于进行清洗液的循环;过滤器35用于对清洗液进行过滤清洁。所述清洗装置还包括浓度计37，所述浓度计37位于所述过滤器35和循环栗34之间，用于监测清洗液的浓度情况;所述清洗装置还包括加热器36，所述加热器36靠近所述清洗液循环支路的出口端，用于对清洗液进行加热处理。
[0027]综上，在本实用新型实施例提供的化学品供应装置中，添加的混合槽能够先对不同的化学物品进行混合，并且由混合支路进行均匀的混合，形成较为良好的清洗液，接着将清洗液输入至化学槽中，对硅片进行清洗，能够提高清洗效率，并且避免了化学物品的浪费。
[0028]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种化学品供应装置，其特征在于，包括: 多个化学管路，用于提供不同的化学物品； 混合槽，不同的所述化学物品在所述混合槽中混合，形成清洗液； 混合支路，入口端和出口端均与所述混合槽连接，所述混合支路上设有栗和加热装置； 清洗液输入管路，将清洗液输入至清洗机的化学槽中； 清洗液循环支路，入口端和出口端与所述化学槽连接，所述清洗液循环支路上设有清洗装置。2.如权利要求1所述的化学品供应装置，其特征在于，所述清洗机包括一溢液槽，所述溢液槽连接在所述化学槽四周外侧。3.如权利要求2所述的化学品供应装置，其特征在于，所述清洗液循环支路入口端通过所述溢液槽连接所述化学槽。4.如权利要求1所述的化学品供应装置，其特征在于，所述清洗装置包括循环栗及过滤器。5.如权利要求4所述的化学品供应装置，其特征在于，所述循环栗靠近所述清洗液循环支路的入口端。6.如权利要求5所述的化学品供应装置，其特征在于，所述清洗装置还包括浓度计，所述浓度计位于所述过滤器和循环栗之间。7.如权利要求6所述的化学品供应装置，其特征在于，所述清洗装置还包括加热器，所述加热器靠近所述清洗液循环支路的出口端。8.如权利要求1所述的化学品供应装置，其特征在于，所述化学管路上设有阀门。
【文档编号】H01L21/67GK205670534SQ201620560353
【公开日】2016年11月2日
【申请日】2016年6月12日
【发明人】徐晨鸽, 徐暎昊
【申请人】上海新昇半导体科技有限公司