Ela激光晶化装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种ELA激光晶化装置，所述ELA激光晶化装置包括：转盘装置及激光管；其中，所述转盘装置上固定有多个镜片底座，每个镜片底座上均固定有一片镜片；通过转动所述转盘装置，能够使得所述转盘装置上不同的镜片位于所述激光管的端口，由此，当需要换下脏污的镜片时，只要转动所述转盘装置即可，从而便可方便、快速的实现脏污镜片的更换；此外，由于替换上的干净的镜片均已事先固定好，从而也可避免或者降低出错的问题。
【专利说明】
ELA激光晶化装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及显示器制造设备技术领域，特别涉及一种ELA激光晶化装置。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展，人们对显示画质的需求日益增长，高画质、高分辨率的平板显示装置的需求越来越普遍，也越来越得到显示面板厂家的重视。
[0003]薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT)是平板显示面板的主要驱动器件，直接关系到高性能平板显示装置的发展方向。薄膜晶体管具有多种结构，制备相应结构的薄膜晶体管的材料也具有多种，例如:非晶硅和多晶硅都是目前常用的薄膜晶体管制备材料。然而，非晶硅本身存在很多无法避免的缺点，比如:低迀移率、低稳定性等;与此相比，低温多晶娃(Low Temperature Po Iy-Si I icon，简称LTPS)具有较高的迀移率及稳定性，其迀移率可达非晶硅的几十甚至几百倍。因此，采用低温多晶硅材料形成薄膜晶体管的技术得到了迅速发展，由LTPS衍生的新一代液晶显示装置(Liquid Crystal Display，简称LCD)或有机电致发光显示装置(Organic Light-Emitting D1de，简称0LED)成为重要的显示技术，尤其是OLED显示装置，由于OLED具有超薄、低功耗、同时自身发光等特点，备受用户的青睐。
[0004]目前，主要使用ELA(ExcimerLaser Annealing，准分子激光热处理法)激光晶化装置实现低温多晶硅的制造。所述ELA激光晶化装置主要包括激光管，所述激光管两端通过镜片密封。如图1所示，其中，所述镜片12固定于镜片底座11上，所述镜片底座11固定于抽拉装置10上。
[0005]在ELA激光晶化装置的使用过程中，需要进行定期保养，其中一个项目就是用干净的镜片换上脏污的镜片。目前主要有两种方式实现脏污镜片的替换，一种方式是用新的(干净的)镜片替换下脏污的镜片；另一种方式是将脏污的镜片取下，擦拭干净后再次换上。两种方式都需要将抽拉装置拉出来，然后将镜片底座上的脏污镜片取下，接着将干净的镜片固定到镜片底座上，再将抽拉装置推进去，使得镜片位于激光管的两端。这一保养过程需时比较长，且这一操作是由人工完成的，容易出错。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的在于提供一种ELA激光晶化装置，以解决现有的ELA激光晶化装置保养过程需时比较长且容易出错的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种ELA激光晶化装置，所述ELA激光晶化装置包括:转盘装置及激光管;其中，所述转盘装置上固定有多个镜片底座，每个镜片底座上均固定有一片镜片;通过转动所述转盘装置，能够使得所述转盘装置上不同的镜片位于所述激光管的端口。
[0008]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，多个镜片底座均匀的分布于所述转盘装置上。
[0009]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，所述转盘装置的数量为两个，每个转盘装置上均固定有多个镜片底座，每个镜片底座上均固定有一片镜片。
[0010]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，两个所述转盘装置上固定的镜片底座的数量相同。
[0011 ]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，所述ELA激光晶化装置还包括两个驱动装置，每个驱动装置分别与一个转盘装置连接，所述驱动装置驱动所述转盘装置转动。
[0012]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，所述ELA激光晶化装置还包括控制器，所述控制器控制所述驱动装置工作。
[0013]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，所述控制器同时控制两个驱动装置工作。
[0014]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，所述控制器分开控制两个驱动装置工作。
[0015]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，所述控制器定时控制所述驱动装置工作。
[0016]可选的，在所述的ELA激光晶化装置中，所述控制器上设置有开关按钮，通过按压所述开关按钮，所述控制器控制所述驱动装置工作。
[0017]在本实用新型提供的ELA激光晶化装置中，所述ELA激光晶化装置包括:转盘装置及激光管；其中，所述转盘装置上固定有多个镜片底座，每个镜片底座上均固定有一片镜片;通过转动所述转盘装置，能够使得所述转盘装置上不同的镜片位于所述激光管的端口，由此，当需要换下脏污的镜片时，只要转动所述转盘装置即可，从而便可方便、快速的实现脏污镜片的更换;此外，由于替换上的干净的镜片均已事先固定好，从而也可避免或者降低出错的问题。
【附图说明】
[0018]图1是现有技术的ELA激光晶化装置中的抽拉装置的结构示意图；
[0019]图2是本实用新型实施例的ELA激光晶化装置的结构示意图；
[0020]图3是本实用新型实施例的转盘装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0021]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的ELA激光晶化装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0022]首先，请参考图2和图3，其中，图2为本实用新型实施例的ELA激光晶化装置的结构示意图，图3为本实用新型实施例的转盘装置的结构示意图。如图2和图3所示，在本申请实施例中，所述ELA激光晶化装置2包括:转盘装置20及激光管23;其中，所述转盘装置20上固定有多个镜片底座21，每个镜片底座21上均固定有一片镜片22(图3中仅示意性的画出了一片镜片22)。
[0023]由此，当需要换下脏污的镜片22时，只要转动所述转盘装置20即可，从而便可方便、快速的实现脏污镜片22的更换，即将所述转盘装置20上的干净镜片22替换脏污镜片22;此外，由于替换上的干净的镜片22均已事先固定好，从而也可避免或者降低出错的问题。
[0024]在本申请实施例中，可以待所述转盘装置20上的多个镜片22均脏污后，再将所述转盘装置20上所有的脏污镜片22—起卸下来进行更换。易知的，相对于每隔一段时间对一个镜片进行更换而言，由于规模化效应，多个镜片同时进行更换能够得到更高的效率、更好的质量。
[0025]请继续参考图3，在本申请实施例中，多个镜片底座21均匀的分布于所述转盘装置20上，即每个镜片底座21至所述转盘装置20的中心的距离相同、并且相邻两个镜片底座21之间的间隔距离相同。由此，每次通过转动所述转盘装置20实现脏污镜片22的更换时，所需转动的角度相同，从而简化了操作。
[0026]进一步的，如图2和图3所示，所述转盘装置20的数量为两个，每个所述转盘装置20上均固定有多个镜片底座21，每个镜片底座21上均固定有一片镜片22。其中，两个转盘装置20分别位于所述激光管23的两端，通过转动两个所述转盘装置20，能够使得每个转盘装置20上不同的镜片22分别位于所述激光管23的两个端口，即通过两个所述转盘装置20上的镜片22实现对于所述激光管23两个端口的密封。
[0027]在本申请实施例中，每个转盘装置20上固定的镜片底座21的数量相同，也即每个转盘装置20上的镜片22的数量相同。在本申请的其他实施例中，每个转盘装置20上固定的镜片底座21的数量也可以不相同。
[0028]请继续参考图2或图3，在本申请实施例中，所述ELA激光晶化装置2还包括两个驱动装置24，每个驱动装置24分别与一个转盘装置20连接，所述驱动装置24驱动所述转盘装置20转动。即，在本申请实施例中，通过驱动装置24的驱动来实现所述转盘装置20转动一定角度，从而实现脏污镜片22的替换。由此避免了人工转动可能带来的误差，从而进一步提高脏污镜片22更换的可靠性与效率。
[0029]进一步的，所述ELA激光晶化装置2还可包括控制器(图2或图3中未示出)，所述控制器控制所述驱动装置24工作。即，在此可通过所述控制器控制所述驱动装置24驱动所述转盘装置20转动。
[0030]在本申请实施例中，所述控制器同时控制两个驱动装置24工作。即，在所述控制器的控制下，两个驱动装置24同时实现驱动两个转盘装置20转动(即一个驱动装置24驱动对应的转盘装置20的同时，另一个驱动装置24也驱动对应的转盘装置20)，也即两个转盘装置20上的镜片22同时通过所述转盘装置20的转动实现更换。在本申请实施例中，每个转盘装置20上的镜片22数量相同，两个转盘装置20又同步进行转动，两个转盘装置20上的脏污镜片22同步进行更换，由此，两个转盘装置20上的干净镜片22将同时被用完，从而可对两个转盘装置20上的所有镜片22同时通过卸下来进行更换。由此可进一步提高更换的效率与质量。
[0031]在本申请的其他实施例中，所述控制器也可分开控制两个驱动装置24工作。即其中一个驱动装置24驱动对应的转盘装置20转动时，另一个驱动装置24可不驱动对应的转盘装置20转动。如此，可以使得控制更加精细化，当其中一个转盘装置20上正在使用的镜片22没有脏污时，也可不必进行更换。
[0032]进一步的，所述控制器定时控制每个驱动装置24工作，这一所设定的时间可以是进行定期保养的周期。由此可以避免人工监控镜片22的脏污情况，从而解放人力，降低成本。
[0033]此外，所述控制器上可以设置有开关按钮(图2或图3中未示出)，通过按压所述开关按钮，所述控制器控制每个驱动装置24工作。例如，所述控制器同时控制两个驱动装置24工作，则所述控制器上可以设置一个开关按钮，通过按压所述开关按钮，两个驱动装置24同时实现驱动两个转盘装置20转动，即两个转盘装置20上的镜片22同时通过所述转盘装置20的转动实现更换;又如，所述控制器分开控制两个驱动装置24工作，则所述控制器上可以设置两个开关按钮，两个开关按钮分别对应两个驱动装置24，通过按压一个开关按钮，与其对应的一个驱动装置24驱动对应的转盘装置20转动。即通过人工决定镜片22的更换时间，由此可以使得更换更加及时与准确，从而使得所述ELA激光晶化装置2—直处于较佳的工作状
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[0034]综上可见，在本实用新型实施例提供的ELA激光晶化装置中，所述ELA激光晶化装置包括:转盘装置及激光管;其中，所述转盘装置上固定有多个镜片底座，每个镜片底座上均固定有一片镜片;通过转动所述转盘装置，能够使得所述转盘装置上不同的镜片位于所述激光管的端口，由此，当需要换下脏污的镜片时，只要转动所述转盘装置即可，从而便可方便、快速的实现脏污镜片的更换;此外，由于替换上的干净的镜片均已事先固定好，从而也可避免或者降低出错的问题。
[0035]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【主权项】
1.一种ELA激光晶化装置，其特征在于，所述ELA激光晶化装置包括:转盘装置及激光管；其中，所述转盘装置上固定有多个镜片底座，每个镜片底座上均固定有一片镜片;通过转动所述转盘装置，能够使得所述转盘装置上不同的镜片位于所述激光管的端口。2.如权利要求1所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，多个镜片底座均匀的分布于所述转盘装置上。3.如权利要求1所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，所述转盘装置的数量为两个，每个转盘装置上均固定有多个镜片底座，每个镜片底座上均固定有一片镜片。4.如权利要求3所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，两个所述转盘装置上固定的镜片底座的数量相同。5.如权利要求4所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，所述ELA激光晶化装置还包括两个驱动装置，每个驱动装置分别与一个转盘装置连接，所述驱动装置驱动所述转盘装置转动。6.如权利要求5所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，所述ELA激光晶化装置还包括控制器，所述控制器控制所述驱动装置工作。7.如权利要求6所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，所述控制器同时控制两个驱动装置工作。8.如权利要求6所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，所述控制器分开控制两个驱动装置工作。9.如权利要求6所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，所述控制器定时控制所述驱动装置工作。10.如权利要求6所述的ELA激光晶化装置，其特征在于，所述控制器上设置有开关按钮，通过按压所述开关按钮，所述控制器控制所述驱动装置工作。
【文档编号】H01L21/67GK205680663SQ201620650170
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月27日 公开号201620650170.9, CN 201620650170, CN 205680663 U, CN 205680663U, CN-U-205680663, CN201620650170, CN201620650170.9, CN205680663 U, CN205680663U
【发明人】王建磊
【申请人】昆山国显光电有限公司