专利名称：一种振动环的生产工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及振动环的制造生产工艺，特别涉及使用化学蚀刻生产无连接点振动环 或振动片的工艺。
技术背景目前利用精密蚀刻技术生产的产品品种越来越多，对产品尺寸精度以及表面光滑 度的要求也越来越高。蚀刻生产单个产品外边缘必须有至少一个连接点(单个产品与 边框连接，这样形成一个单张)，这样才能确保整个生产过程中不会掉片，但同时产 品边缘必定留下一个小缺口，影响边缘的平滑度。应客户要求加工一类小圆环或者是 小圆片，外边缘平滑度要求极高，不允许有连接点。由于不能有连结点，目前的生产 工艺中的蚀刻过程中，在喷射压力的作用下产品会聚为一堆，处于最外面的产品由于 接触腐蚀液较为充分，产品的几何尺寸偏大；而处于最里面的产品由于受外面产品的 包围，腐蚀就略欠，同时产品不同部位腐蚀的一致性较差。另外，若按照目前的生产 工艺进行，产品势必全部掉片，导致剥膜及脱水时不能整张进行，产品损失较多，无 法生产出合格的产品。 发明内容本发明的在于克服上述现有技术的缺点，提出一种本发明的目的在于提供一种适 应无连接点小圆环或者小圆片的生产工艺，本工艺剥膜及脱水时可以整张进行，采用 本发明的工艺生产可以提高产品的良品率。为达到上述目的，本发明釆取的技术方案是本发明的工艺包括设计、制版、 切料、清洗、涂胶烘干、曝光、显影坚膜、固化、蚀刻、剥膜、清洗烘干本发明包括下列步骤(1) 、设计用CAD制图，制版按A-T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；(2) 、制版:采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5Mm;(3) 、切料用剪板机将巻材切成板材；(4) 、清洗对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2-3%的稀硝酸中 进行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；(5) 、涂胶烘干将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上25ml左右的感光胶，使 感光胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热， 3-4min取出；(6) 、曝光将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间15-18s;(7) 、显影坚膜用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.10Mpa-0.15Mpa，显影时间30~40s， 显影完成后将板材放入4-6%的铬酸槽中浸泡25-30s,取出清水冲洗，再进入脱水机 80-90。C脱水；(8) 、固化固化过程采用烘箱，烘箱内温度200-220'C，固化时间300 s -—400s;(9) 、蚀刻采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12V将产品置于丝网托架上 进行蚀刻，对八个喷淋室中八个泵的上下压力重新比例分配，板材的下部压力较上 部压力大0.01MPa;根据腐蚀的特点，观察其穿孔的部位，在前部未穿孔时产品互相 有连接，腐蚀压力适当增大为0.09Mpa;当穿孔后，使用小压力，对孔型进行细小的 修正，解决了产品在压力冲击下的飞溅问题；最终确定的蚀刻压力 上部0.09， 0.09， 0.09， 0.08， 0.07, 0.06， 0.05， 0.04MPa; 下部0.09， 0.09， 0.09, 0.08， 0.07， 0.07， 0.06， 0.05Mpa; 温度保持43'C-47'C,蚀刻时间3-5min。 (10)、 剥膜剥膜使用购置的A、B型碱性剥膜液，先将产品连同自制的丝网托架置于500-1000 毫升的A液中，下置一加热器，加热到9(TC-IOO'C，倒入相当于A液1/3量的B液,迅速反应，待表面胶膜脱净后取出清水冲洗； (11)、清洗烘干 取出后产品连同丝网托架进入脱水机80-90'C低温烘干。采用本发明的振动环生产工艺，适应无连接点小圆环或者小圆片的生产，本工艺 剥膜及脱水时可以整张进行，采用本发明的工艺生产可以提高产品的良品率。
图l是本发明的工艺过程图；图2是自制丝网托架图。
具体实施方式
本发明的第一个实施例 本发明包括下列步骤(1) 、设计用CAD制图，制版按A4/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；(2) 、制版采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5Mffl;(3) 、切料 用剪板机将巻材切成板材；(4) 、清洗对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2.2%的稀硝酸中 迸行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；(5) 、涂胶烘干将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上22ml的感光胶，使感光 胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，3min 取出；(6) 、曝光将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间16s;(7) 、显影坚膜用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.11Mpa，显影时间30s,显影完成后将板材放入4.5%的铬酸槽中浸泡258，取出清水冲洗，再进入脱水机80X:脱水；(8) 、固化固化过程采用烘箱，烘箱内温度200'C，固化时间330s;(9) 、蚀刻采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12%，将产品置于丝网托架上 进行蚀刻，蚀刻压力上部0.09， 0.09, 0.09, 0.08， 0.07， 0.06， 0.05， 0.04MPa; 下部0.09， 0.09， 0.09， 0.08, 0.07， 0.07, 0.06， 0.05Mpa; 温度保持44。C，蚀刻时间5min; (10)、 剥膜剥膜使用购置的A、 B型碱性剥膜液，先将产连同丝网托架品置于600毫升的A 液中，下置一加热器，加热到90'C，倒入200毫升B液，迅速反应，待表面胶膜脱 净后取出清水冲洗；(11)、清洗烘干取出后产品连同丝网托架进入脱水机8(TC低温烘干。最后经检验包装后出厂。本发明的第二个实施例本发明包括下列步骤(1) 、设计用CAD制图，制版按八=172计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；(2) 、制版采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5Pm;(3) 、切料用剪板机将巻材切成板材；(4) 、清洗对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2.5%的稀硝酸中 进行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；(5) 、涂胶烘干-将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上25ml的感光胶，使感光胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，3.5min 取出；(6) 、曝光将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间17s;(7) 、显影坚膜用清水作为显影液，常温显影，显影压力O. 15Mpa，显影时间30s，显影完成后 将板材放入5X的铬酸槽中浸泡28s，取出清水冲洗，再进入脱水机85'C脱水；(8) 、固化固化过程采用烘箱，烘箱内温度210'C,固化时间300s;(9) 、蚀刻采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12%，将产品置于丝网托架上 进行蚀刻，蚀刻压力上部0.09， 0.09， 0.09， 0.08， 0.07， 0.06， 0.05, 0.04MPa; 下部0.09， 0.09， 0.09， 0.08， 0.07， 0.07， 0.06， 0.05Mpa; 温度保持45°C ，蚀刻时间4. 5min; (10)、 剥膜剥膜使用购置的A、 B型碱性剥膜液，先将产品连同丝网托架置于750毫升的A 液中，下置一加热器，加热到95'C,倒入250毫升B液，迅速反应，待表面胶膜脱 净后取出清水冲洗； (11)、清洗烘干取出后产品连同丝网托架进入脱水机85'C低温烘干。最后经检验包装后出厂本发明的第三个实施例本发明包括下列步骤(1) 、设计用CAD制图，制版按A-T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；(2) 、制版采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5Mffl;(3) 、切料用剪板机将巻材切成板材；(4) 、清洗对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为3%的稀硝酸中进 行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；(5) 、涂胶烘干将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上28ml的感光胶，使感光 胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，4min 取出；(6) 、曝光将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间18s;(7) 、显影坚膜用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.15Mpa，显影时间40s,显影完成后 将板材放入6%的铬酸槽中浸泡308，取出清水冲洗，再进入脱水机9(TC脱水；(8) 、固化周化过程采用烘箱，烘箱内温度22(TC,固化时间400s;(9) 、蚀刻 '采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀亥！], FeCl3液的疲劳度8-12先，将产品置于丝网托架上 进行蚀刻，蚀刻压力上部0.09， 0.09， 0.09, 0.08， 0.07， 0.06， 0.05， 0.04MPa; 下部0.09， 0.09, 0.09， 0.08， 0.07， 0.07， 0.06， 0.05Mpa; 温度保持47 'C ，蚀刻对间5mi n; (10)、 剥膜剥膜使用购置的A、 B型碱性剥膜液，先将产品连同丝两托架置于恥0毫升的A 液中，下置一加热器，加热到100'C，倒入300毫升B液，迅速反应，待表面胶膜脱 净后取出清水冲洗；(11)、清洗烘干取出后产品连词丝网托架进入脱水机90'C低温烘干。最后经检验包装后出厂由于采用了本发明的蚀刻工艺，解决了产品在压力冲击下的飞溅问题。而且产品 不同部位腐蚀的一致性较好。由于采用了本发明的丝网托架剥膜工艺，剥膜效果良好， 剥膜及脱水时可以整张进行，产品损失较少，生产出合格的产品，大大提高了良品率。
权利要求
1、一种振动环生产工艺，包括设计、制版、切料、清洗、涂墨烘干、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗，其特征在于，包括下列步骤(1)、设计用CAD制图，制版按A＝T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；(2)、制版采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5μm；(3)、切料用剪板机将卷材切成板材；(4)、清洗对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2-3％的稀硝酸中进行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；(5)、涂胶烘干将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上25ml左右的感光胶，使感光胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，3-4min取出；(6)、曝光将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2，曝光时间15-18s；(7)、显影坚膜用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.10Mpa-0.15Mpa，显影时间30-40s，显影完成后将板材放入4-6％的铬酸槽中浸泡25-30s，取出清水冲洗，再进入脱水机80-90℃脱水；(8)、固化固化过程采用烘箱，烘箱内温度200-220℃，固化时间300s-400s；(9)、蚀刻采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12％，将产品置于自制的丝网托架上进行蚀刻，对八个喷淋室中八个泵的上下压力重新比例分配，板材的下部压力较上部压力大0.01MPa；根据腐蚀的特点，观察其穿孔的部位，在前部未穿孔时产品互相有连接，腐蚀压力适当增大为0.09Mpa当穿孔后，使用小压力，对孔型进行细小的修正，解决了产品在压力冲击下的飞溅问题；最终确定的蚀刻压力上部0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；下部0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；温度保持43℃-47℃，蚀刻时间3-5min；(10)、剥膜剥膜使用购置的A、B型碱性剥膜液，先将产品连同丝网托架置于500-1000毫升的A液中，下置一加热器，加热到90℃-100℃，倒入相当于A液1/3量的B液，迅速反应，待表面胶膜脱净后取出清水冲洗；(11)、清洗烘干取出后产品连同丝网托架进入脱水机80-90℃低温烘干。
全文摘要
本发明提供一种适应无连接点小圆环或者小圆片的生产工艺，工艺过程包括，设计、制版、切料、清洗、涂墨烘干、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、由于采用了本发明的蚀刻工艺，解决了产品在压力冲击下的飞溅问题。而且产品不同部位腐蚀的一致性较好。由于采用了本发明的丝网托架剥膜工艺，剥膜效果良好，剥膜及脱水时可以整张进行，产品损失较少，生产出合格的产品，大大提高了良品率。
文档编号H02K15/00GK101227121SQ20071030773
公开日2008年7月23日 申请日期2007年12月26日 优先权日2007年12月26日
发明者兰建伟, 绍 黄 申请人:彩虹集团电子股份有限公司