尺蠖仿生装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种尺蠖仿生装置，旨在克服现有技术中存在的体积大、定位精度低、单一自由度、加工困难、对工作环境要求高、存在较大摩擦以及行程小的问题。所述的尺蠖仿生装置包括1号支撑部分、4号压电叠堆、2号支撑部分、3号支撑部分、1号方向控制部分、5号压电叠堆和2号方向控制部分。2号支撑部分的右端与5号压电叠堆的左端螺钉固定连接，5号压电叠堆的右端与1号方向控制部分的左端螺钉固定连接，1号方向控制部分的右端与3号支撑部分的左端螺钉固定连接；2号支撑部分的左端与4号压电叠堆的右端螺钉固定连接，4号压电叠堆的左端与2号方向控制部分的右端螺钉固定连接，2号方向控制部分的左端与1号支撑部分的右端固定连接。
【专利说明】尺蠖仿生装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及微型移动装置领域中的一种移动装置，更确切地说，本实用新型 涉及一种尺蠖仿生装置。
【背景技术】
[0002] 随着人类对于微观领域研究的深入，尤其是在超精密加工、微型机器人等领域中 对装置微型化和精密位移的要求越来越高，传统的驱动方式如电机驱动，电磁驱动等宏观 大尺寸驱动装置已经不能满足其要求。目前压电驱动器以其体积小，精度高的优点得到非 常广泛的研究应用，但是许多问题目前都没有真正的得到解决，传统的爬行式仿生尺蠖压 电驱动装置通过钳位机构提供摩擦力，对于工作环境、工作管道内径要求苛刻，无法大范围 应用，且驱动压电叠堆和钳位压电叠堆都被装配在动子上，导致动子内部有多条电源线引 出，工作中势必影响其运动精度和运动稳定性，同时在动子上设计的多组柔性铰链，也势 必降低动子自身刚度，工作中容易产生附加变形。且大部分压电驱动装置只能实现两自由 度的直线运动方式，无法适应复杂环境下的多自由度运动方式。
【发明内容】
[0003] 本实用新型所要解决的技术问题是克服了现有技术存在定位精度低、装置体积 大、单一自由度、加工困难、对工作环境要求高、存在较大摩擦以及行程小的问题，提供了尺 蠖仿生装置。
[0004] 为解决上述技术问题，本实用新型是采用如下技术方案实现的：所述的尺蠖仿生 装置包括1号支撑部分、4号压电叠堆、2号支撑部分、3号支撑部分、1号方向控制部分、5号 压电叠堆和2号方向控制部分。
[0005] 2号支撑部分的右端与5号压电叠堆的左端固定连接，5号压电叠堆的右端与1号 方向控制部分的左端固定连接，1号方向控制部分的右端与3号支撑部分的左端固定连接； 2号支撑部分的左端与4号压电叠堆的右端固定连接，4号压电叠堆的左端与2号方向控制 部分的右端固定连接，2号方向控制部分的左端与1号支撑部分的右端固定连接。
[0006] 技术方案中所述的2号支撑部分的右端与5号压电叠堆的左端固定连接是指：5 号压电叠堆的左基座与2号支撑部分中的2号质量块右端的正方形的凸起块对齐，采用上 下两片结构相同的固定钢片与螺钉固定连接。
[0007] 技术方案中所述的5号压电叠堆的右端与1号方向控制部分的左端固定连接，1号 方向控制部分的右端与3号支撑部分的左端固定连接是指：所述1号方向控制部分由两片 两面都贴有压电弯曲片的钢片弹簧组成，两片钢片弹簧的两端各设置有两个螺钉通孔，两 片钢片弹簧的左端分置于5号压电叠堆右端的前后两侧与5号压电叠堆右端前后端面的螺 孔对齐并采用螺钉固定，1号方向控制部分的两片钢板弹簧的右端螺孔与1号连接块前后 端面的螺孔对齐并采用螺钉固定。
[0008] 技术方案中所述的1号支撑部分由1号质量块、1号压电叠堆、1号底盘、4号钢片 弹簧和5号钢片弹簧组成。所述的1号质量块的主体为一实心圆柱形的金属结构件，1号 质量块的主体右侧底端设置有一个方形的凸起块，圆柱体形的主体与方形的凸起块底面共 面，方形的凸起块的顶端面与底面各设置有两个螺孔，1号质量块主体的底面设置有4个螺 纹盲孔。所述的1号底盘的中心处分布有4个沉头螺钉孔的金属圆盘。所述的4号钢片弹 簧和5号钢片弹簧为结构相同的矩形钢片，4号钢片弹簧和5号钢片弹簧的左端与右端各设 置有两个螺栓通孔；4号钢片弹簧和5号钢片弹簧左端的螺孔与1号质量块右侧的方形的 凸起块顶面和底面的螺孔对齐并采用螺钉固定，1号压电叠堆的顶端与1号质量块主体的 底面螺栓连接，1号底盘上4个沉头螺钉孔与1号压电叠堆底端的4个螺孔对齐并采用螺钉 固定。
[0009] 技术方案中所述的1号压电叠堆由20片粘贴有压电陶瓷片的铜箔依次上下叠置 粘合而成，即每片铜箔的一侧面与一片压电陶瓷的一侧面采用导电胶水粘合，压电陶瓷片 的另一侧面采用绝缘胶水粘合另一片铜箔的一侧面，以此类推20片一侧面粘合压电陶瓷 片的铜箔采用绝缘胶水叠置粘合成压电叠堆，每片压电陶瓷片连接导线并连接电极a，每片 铜箔连接导线并连接电极b，压电叠堆的底部胶粘一个方形的底端面设置有四个螺孔的基 座，压电叠堆的顶部与一个矩形的设置有四个螺孔的连接片胶粘，压电叠堆整体采用环氧 树脂封装。
[0010] 技术方案中所述的1号支撑部分与3号支撑部分结构相同，4号压电叠堆与5号压 电叠堆结构相同，1号方向控制部分与2号方向控制部分结构相同。
[0011] 技术方案中所述的4号压电叠堆由25片粘贴有压电陶瓷片的铜箔依次上下叠置 粘合而成，即每片铜箔的一侧面与一片压电陶瓷的一侧面采用导电胶水粘合，压电陶瓷片 的另一侧面采用绝缘胶水粘合另一片铜箔的一侧面，以此类推25片一侧面粘合压电陶瓷 片的铜箔采用绝缘胶水叠置粘合成压电叠堆，每片压电陶瓷片连接导线并连接电极a，每片 铜箔连接导线并连接电极b，压电叠堆底部胶粘一个方形的两侧端面设置有四个螺孔的下 基座，压电叠堆顶部胶粘一个方形的两侧端面设置有四个螺孔的上基座，上基座上的四个 螺孔与下基座上的四个螺孔皆为成对地相对设置，上基座上的四个螺孔与下基座上的四个 螺孔相差90°，压电叠堆整体采用环氧树脂封装。
[0012] 技术方案中所述的2号支撑部分由2号质量块、2号压电叠堆和2号底盘组成。所 述的2号质量块的主体为一实心圆柱形金属结构件，2号质量块主体的左右两端各设置一 个方形的凸起块，两端方形的凸起块的顶端面与底面各设置有两个螺孔，2号质量块主体的 底面设置有4个螺纹盲孔；2号质量块的主体和1号支撑部分中的1号质量块的主体与3号 支撑部分中的3号质量块结构相同。2号压电叠堆和1号支撑部分中的1号压电叠堆与3 号支撑部分中的3号压电叠堆结构相同。2号底盘和1号支撑部分中的1号底盘与3号支 撑部分中的3号底盘结构相同。2号质量块与2号压电叠堆顶端的连接片螺钉连接，2号压 电叠堆的底部基座与2号底盘螺钉连接。
[0013] 与现有技术相比本实用新型的有益效果是：
[0014] 1.本实用新型所述的尺蠖仿生装置采用压电叠堆作为驱动装置，具有结构微小， 能够输出较大的力和位移，承压能力强的特点，驱动步长达到微米级别，能够实现高精准度 位移。
[0015] 2.本实用新型所述的尺蠖仿生装置核心部件数量少，结构简单，降低了制造成本， 整个装置结构微小，能应用于各种复杂环境。
[0016] 3.本实用新型所述的尺蠖仿生装置利用压电叠堆的压电效应，通过向压电叠堆施 加高频电压实现它的高频振动，使其作为高频振动的驱动源，具有振动稳定性高，能量转换 效率高的优点。
[0017] 3.本实用新型所述的尺蠖仿生装置通过改变压电驱动器控制方案，可实现尺蠖仿 生装置步距不同，频率不同的微位移动作。
[0018] 4.本实用新型所述的尺蠖仿生装置采用高频振动减摩控制方法，高频振动时的支 撑部分与接触面间的摩擦小，大幅降低尺蠖仿生装置的摩擦损耗。
[0019] 5.本实用新型所述的尺蠖仿生装置的压电叠堆与空气接触面积大，有利于散热， 多次长时间的试验表明驱动器无明显的温升，有效提升装置寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0020] 下面结合附图对本实用新型作进一步的说明：
[0021] 图1为本实用新型所述的尺蠖仿生装置结构组成的轴测投影视图；
[0022] 图2为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的4号压电叠堆与5号压电叠堆结构组成 的不意图；
[0023] 图3为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的4号压电叠堆与5号压电叠堆结构组成 的轴测投影视图；
[0024] 图4为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的1号压电叠堆、2号压电叠堆与3号压电 叠堆结构组成的示意图；
[0025] 图5为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的1号压电叠堆、2号压电叠堆与3号压电 叠堆结构组成的轴测投影视图；
[0026] 图6为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的1号支撑部分结构组成的轴测投影视 图；
[0027] 图7为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的1号方向控制部分结构组成的轴测投影 视图；
[0028] 图8为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的1号质量块结构组成的轴测投影视图；
[0029] 图9为本实用新型所述的尺蠖仿生装置的2号支撑部分和4号压电叠堆与5号压 电叠堆的连接关系的轴测投影视图；
[0030] 图中：1. 1号质量块，2. 1号压电叠堆，3. 1号底盘，4. 1号支撑部分，5. 1号压电弯 曲片，6. 4号压电叠堆，7. 2号压电叠堆，8. 2号底盘，9. 2号支撑部分，10. 1号钢片弹簧，11. 2 号压电弯曲片，12. 1号连接块，13. 3号支撑部分，14. 3号底盘，15. 3号压电叠堆，16. 3号质 量块，17. 2号钢片弹簧，18. 1号方向控制部分，19. 5号压电叠堆，20. 1号连接钢片，21. 2号 质量块，22. 2号连接钢片，23. 3号钢片弹簧，24. 2号方向控制部分，25. 2号连接块，26. 4号 钢片弹簧。
【具体实施方式】
[0031] 下面结合附图对本实用新型作详细的描述：
[0032] 参阅图1，本实用新型所述的尺蠖仿生装置主要由1号支撑部分4、2号支撑部分 9、3号支撑部分13、1号方向控制部分18、2号方向控制部分24、4号压电叠堆6和5号压电 叠堆19组成。
[0033] 参阅图6,所述的1号支撑部分4由1号质量块1、1号压电叠堆2、1号底盘3、4号 钢片弹簧26和5号钢片弹簧组成，
[0034] 参阅图8,1号质量块1的主体为一实心圆柱形的金属结构件，1号质量块1的主 体右侧底端设置有一方形的凸起块，圆柱体的主体与方形的凸起块底面共面，正方体的顶 端面与底面各设置有两个螺孔，1号质量块1主体的底面设置有4个螺纹盲孔，1号质量块 1的主体底部的4个螺纹盲孔与1号压电叠堆2顶端面的4个螺孔对齐并通过螺钉固定。
[0035] 参阅图4与图5,所述的1号压电叠堆2由20片粘贴有压电陶瓷片的铜箔依次叠 置而成，每片铜箔的一侧面与一片压电陶瓷片的一侧面采用导电胶水粘合，压电陶瓷片的 另一侧面由绝缘胶水粘合另一片铜箔的一侧面，以此类推将20片一侧面粘合压电陶瓷片 的铜箔叠置粘合，从每片压电陶瓷片上引出导线并将导线并联接入电极a，从每片铜箔上引 出导线并联并接入电极b，初成压电叠堆；初成的压电叠堆底部通过胶粘的方式连接一个 方形的底端面设置有四个螺孔的基座，顶部通过胶粘的方式连接一个矩形的设置有四个螺 孔的连接片，最后采用环氧树脂对压电叠堆进行整体封装，制成1号压电叠堆2。
[0036] 所述的1号底盘3为分布有4个沉头螺钉孔的金属圆盘，1号支撑部分4中的4号 钢片弹簧26和5号钢片弹簧为结构相同的矩形钢片，4号钢片弹簧26和5号钢片弹簧水 平地上下对称地放置，4号钢片弹簧26和5号钢片弹簧的左端与右端各设置有两个螺栓通 孔，4号钢片弹簧26和5号钢片弹簧左端的螺孔与1号质量块1右侧的方形凸起块顶面和 底面的螺孔对齐并采用螺钉固定，4号钢片弹簧26和5号钢片弹簧右端的螺孔与2号连接 块25的顶面和底面的螺孔对齐并采用螺钉固定，1号底盘3上4个沉头螺钉孔与1号压电 叠堆2底面的4个螺孔对齐并采用沉头螺钉固定。
[0037] 2号支撑部分9由2号质量块21、2号压电叠堆7和2号底盘8组成，2号质量块 21的主体为一实心圆柱形金属结构件，2号质量块21主体的左右两端各设置有一个方形的 凸起块，方形的凸起块的顶端面与底面各设置有两个螺孔，2号质量块21主体的底部设置 有4个螺纹盲孔。
[0038] 2号压电叠堆7与1号压电叠堆2结构上完全相同，2号底盘8与1号底盘3结构 上完全相同，2号底盘8上4个沉头螺钉孔与2号压电叠堆7底面上的4个螺孔对齐并采用 沉头螺钉固定，2号质量块21的主体底端面的4个螺孔与2号压电叠堆7顶端面的4个螺 孔对齐并采用螺钉固定。
[0039] 3号支撑部分13由3号质量块16、3号压电叠堆15、3号底盘14、2号钢片弹簧17 和6号钢片弹簧组成，3号质量块16的主体为一实心圆柱形金属结构件，其左侧设置有一正 方形凸起块，正方形凸起块的顶端面与底面各设置有两个螺孔，2号质量块21的主体底部 设置有4个螺纹盲孔。
[0040] 3号压电叠堆15与1号压电叠堆2的结构完全相同，3号底盘14的结构和1号底 盘3的结构完全相同，2号钢片弹簧17和6号钢片弹簧为结构相同矩形钢片，2号钢片弹簧 17和6号钢片弹簧水平地上下对称地放置，2号钢片弹簧17和6号钢片弹簧的左端和右端 各设置有两个螺孔，2号钢片弹簧17和6号钢片弹簧右端的螺孔与3号质量块16左侧的正 方形凸起块顶端面与底面的螺孔对齐并采用螺钉固定，2号钢片弹簧17和6号钢片弹簧左 端的螺孔与1号连接块12的顶面和底面的螺孔对齐并采用螺钉固定，3号底盘14上4个 沉头螺钉孔与3号压电叠堆15底面上的4个螺孔对齐并采用沉头螺钉固定，3号质量块16 主体底面上的4个螺孔与3号压电叠堆15顶端面的4个螺孔对齐并采用螺钉固定。
[0041] 当向支撑部分压电叠堆加以适当频率和振幅的电压时，压电叠堆作高频振动，利 用支撑部分高频振动的减摩效应，减小在运动时高频振动的支撑部分与接触面的摩擦。
[0042] 参阅图2与图3,所述4号压电叠堆6由25片粘贴有压电陶瓷片的铜箔依次上下 叠置而成，即每片铜箔的一侧面与一片压电陶瓷片的一侧面采用导电胶水粘合，压电陶瓷 片的另一侧面采用绝缘胶水粘合另一片铜箔的一侧面，以此类推将25片一侧面粘合压电 陶瓷片的铜箔采用绝缘胶水叠置粘合在一起，从每片压电陶瓷片上引出导线并将导线并联 接入电极a，从每片铜箔上引出导线并联并接入电极b，初成压电叠堆；初成的压电叠堆底 部通过胶粘的方式连接一个方形的两侧端面设置有四个螺孔的左基座，顶部通过胶粘的方 式连接一个方形的两侧端面设置有四个螺孔的右基座，左基座上的四个螺孔与右基座上的 四个螺孔皆为成对地相对设置，左基座上的四个螺孔与右基座上的四个螺孔相差90°，最 后采用环氧树脂对压电叠堆进行整体封装，制成4号压电叠堆6。
[0043] 4号压电叠堆6右端与2号质量块21左端正方形的凸起块对齐，采用上下两片结 构相同的固定钢片与螺钉固定连接，4号压电叠堆6的左端螺孔与2号方向控制部分24的 右端螺孔对齐并采用螺钉固定连接。
[0044] 参阅图9, 5号压电叠堆19的结构与4号压电叠堆6的结构完全相同，5号压电叠 堆19的左端与2号质量块21右端正方形的凸起块对齐并采用上下两片结构相同的固定钢 片与螺钉固定连接，5号压电叠堆19的右端螺孔与1号方向控制部分18的左端螺孔对齐并 米用螺钉固定。
[0045] 当向压电叠堆施加固定电压时，压电叠堆的压电效应使得压电叠堆伸长，使尺蠖 仿生装置移动一步长，尺蠖仿生装置移动步长与压电叠堆伸长长度一致。
[0046] 参阅图7,所述2号方向控制部分24由3号钢片弹簧23和7号钢片弹簧组成，3号 钢片弹簧23为一个两面都粘贴有1号压电弯曲片5的矩形钢片弹簧，所采用的1号压电弯 曲片5为芯明天科技有限公司生产的型号为CMBP01的压电弯曲片，7号钢片弹簧与3号钢 片弹簧23的结构完全相同，两片钢片弹簧的两端各设置有两个螺钉通孔，两片钢片弹簧的 右端分别置于4号压电叠堆6左端的前后两侧采用螺钉固定，两片钢片弹簧纵向对称线处 于水平位置，两片钢片弹簧垂直放置，即两片钢片弹簧的横向对称线垂直于水平方向，2号 方向控制部分24的两片钢板弹簧的左端螺孔与2号连接块25前后方向的螺孔对齐并采用 螺钉固定，2号方向控制部分24的右端的螺孔与4号压电叠堆6的左端前后方向的螺孔对 齐并采用螺钉固定。
[0047] 1号方向控制部分18与2号方向控制部分24结构完全相同，1号方向控制部分18 中两片钢片弹簧（1号钢片弹簧10与8号钢片弹簧）的右端螺孔与1号连接块12前后端 面上的螺孔对齐并采用螺钉固定，1号方向控制部分18的两片钢片弹簧左端的螺孔与5号 压电叠堆19右端前后端面上的螺孔对齐并采用螺钉固定。
[0048] 本实用新型所述的尺蠖仿生装置的工作过程如下：
[0049] 给1号压电叠堆2提供高频驱动电压，使得1号支撑部分4实现高频振动，同时向 4号压电叠堆6施加固定电压，使得4号压电叠堆6长度增长，推动处于高频振动状态的1 号支撑部分4向前移动，停止向1号压电叠堆2施加高频驱动电压同时给2号压电叠堆7 施加高频驱动电压。使得2号支撑部分9实现高频振动，停止向4号压电叠堆6施加固定 电压同时向5号压电叠堆19施加固定电压，4号压电叠堆6变回原形同时5号压电叠堆19 伸长，从而推动处于高频振动状态的2号支撑部分9向前移动一步长。停止向2号压电叠 堆7施加高频驱动电压同时向3号压电叠堆15施加高频驱动电压，使3号支撑部分13实 现高频振动，停止向5号压电叠堆19施加固定电压，使得5号压电叠堆19变回原形，拉动 处于高频振动状态的3号支撑部分13向前前进一步长。至此整个装置完成向前一步长的 运动。
[0050] 所述的尺蠖仿生装置在向前运动的过程中，当1号支撑部分4做高频振动向前移 动时，向固定在2号方向控制部分24上的4片压电弯曲片施加固定的正电压，使得压电弯 曲片形变，引起钢片弹簧形变，两片钢片弹簧向右弯曲，达到使装置右转的目的，当向固定 在2号方向控制部分24上的4片压电弯曲片施加固定的负电压，使得压电弯曲片形变，引 起钢片弹簧形变，两片钢片弹簧向左弯曲，达到使装置左转的目的。
【权利要求】
1. 一种尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的尺蠖仿生装置包括1号支撑部分（4)、4号 压电叠堆（6)、2号支撑部分（9)、3号支撑部分（13)、1号方向控制部分（18)、5号压电叠堆 (19)和2号方向控制部分（24); 2号支撑部分（9)的右端与5号压电叠堆（19)的左端固定连接，5号压电叠堆（19)的 右端与1号方向控制部分（18)的左端固定连接，1号方向控制部分（18)的右端与3号支 撑部分（13)的左端固定连接；2号支撑部分（9)的左端与4号压电叠堆￠)的右端固定连 接，4号压电叠堆（6)的左端与2号方向控制部分（24)的右端固定连接，2号方向控制部分 (24)的左端与1号支撑部分（4)的右端固定连接。
2. 按照权利要求1所述的尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的2号支撑部分（9)的右端 与5号压电叠堆（19)的左端固定连接是指： 5号压电叠堆（19)的左基座与2号支撑部分（9)中的2号质量块（21)右端的正方形 的凸起块对齐，采用上下两片结构相同的固定钢片与螺钉固定连接。
3. 按照权利要求1所述的尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的5号压电叠堆（19)的右 端与1号方向控制部分（18)的左端固定连接，1号方向控制部分（18)的右端与3号支撑部 分（13)的左端固定连接是指： 所述1号方向控制部分（18)由两片两面都贴有压电弯曲片的钢片弹簧组成，两片钢片 弹簧的两端各设置有两个螺钉通孔，两片钢片弹簧的左端分置于5号压电叠堆（19)右端的 前后两侧与5号压电叠堆（19)右端前后端面的螺孔对齐并采用螺钉固定，1号方向控制部 分（18)的两片钢板弹簧的右端螺孔与1号连接块（12)前后端面的螺孔对齐并采用螺钉固 定。
4. 按照权利要求1所述的尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的1号支撑部分（4)由1号 质量块⑴、1号压电叠堆⑵、1号底盘⑶、4号钢片弹簧（26)和5号钢片弹簧组成； 所述的1号质量块（1)的主体为一实心圆柱形的金属结构件，1号质量块（1)的主体右 侧底端设置有一个方形的凸起块，圆柱体形的主体与方形的凸起块底面共面，方形的凸起 块的顶端面与底面各设置有两个螺孔，1号质量块（1)主体的底面设置有4个螺纹盲孔； 所述的1号底盘（3)的中心处分布有4个沉头螺钉孔的金属圆盘； 所述的4号钢片弹簧（26)和5号钢片弹簧为结构相同的矩形钢片，4号钢片弹簧（26) 和5号钢片弹簧的左端与右端各设置有两个螺栓通孔；4号钢片弹簧（26)和5号钢片弹簧 左端的螺孔与1号质量块（1)右侧的方形的凸起块顶面和底面的螺孔对齐并采用螺钉固 定，1号压电叠堆（2)的顶端与1号质量块（1)主体的底面螺栓连接，1号底盘（3)上4个 沉头螺钉孔与1号压电叠堆（2)底端的4个螺孔对齐并采用螺钉固定。
5. 按照权利要求4所述的尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的1号压电叠堆（2)由20 片粘贴有压电陶瓷片的铜箔依次上下叠置粘合而成，即每片铜箔的一侧面与一片压电陶瓷 的一侧面采用导电胶水粘合，压电陶瓷片的另一侧面采用绝缘胶水粘合另一片铜箔的一侧 面，以此类推20片一侧面粘合压电陶瓷片的铜箔采用绝缘胶水叠置粘合成压电叠堆，每片 压电陶瓷片连接导线并连接电极a，每片铜箔连接导线并连接电极b，压电叠堆的底部胶粘 一个方形的底端面设置有四个螺孔的基座，压电叠堆的顶部与一个矩形的设置有四个螺孔 的连接片胶粘，压电叠堆整体采用环氧树脂封装。
6. 按照权利要求1所述的尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的1号支撑部分（4)与3号 支撑部分（13)结构相同，4号压电叠堆（6)与5号压电叠堆（19)结构相同，1号方向控制 部分（18)与2号方向控制部分（24)结构相同。
7. 按照权利要求1所述的尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的4号压电叠堆（6)由25 片粘贴有压电陶瓷片的铜箔依次上下叠置粘合而成，即每片铜箔的一侧面与一片压电陶瓷 的一侧面采用导电胶水粘合，压电陶瓷片的另一侧面采用绝缘胶水粘合另一片铜箔的一侧 面，以此类推25片一侧面粘合压电陶瓷片的铜箔采用绝缘胶水叠置粘合成压电叠堆，每片 压电陶瓷片连接导线并连接电极a，每片铜箔连接导线并连接电极b，压电叠堆底部胶粘一 个方形的两侧端面设置有四个螺孔的下基座，压电叠堆顶部胶粘一个方形的两侧端面设置 有四个螺孔的上基座，上基座上的四个螺孔与下基座上的四个螺孔皆为成对地相对设置， 上基座上的四个螺孔与下基座上的四个螺孔相差90°，压电叠堆整体采用环氧树脂封装。
8. 按照权利要求1所述的尺蠖仿生装置，其特征在于，所述的2号支撑部分（9)由2号 质量块（21)、2号压电叠堆（7)和2号底盘⑶组成； 所述的2号质量块（21)的主体为一实心圆柱形金属结构件，2号质量块（21)主体的左 右两端各设置一个方形的凸起块，两端方形的凸起块的顶端面与底面各设置有两个螺孔，2 号质量块（21)主体的底面设置有4个螺纹盲孔；2号质量块（21)的主体和1号支撑部分 (4)中的1号质量块（1)的主体与3号支撑部分（13)中的3号质量块（16)结构相同； 2号压电叠堆（7)和1号支撑部分（4)中的1号压电叠堆⑵与3号支撑部分（13)中 的3号压电叠堆（15)结构相同； 2号底盘⑶和1号支撑部分⑷中的1号底盘（3)与3号支撑部分（13)中的3号底 盘结构相同； 2号质量块（21)与2号压电叠堆（7)顶端的连接片螺钉连接，2号压电叠堆（7)的底 部基座与2号底盘（8)螺钉连接。
【文档编号】H02N2/12GK203883699SQ201420291515
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年6月3日 优先权日:2014年6月3日
【发明者】孙晓东, 孙岩, 王玉祥, 赵天, 张英鹏, 王珊珊 申请人:吉林大学