一种电源短路保护报警电路的制作方法

文档序号:11108106
一种电源短路保护报警电路的制造方法与工艺

本发明涉及离子注入机电源短路保护及报警功能,涉及离子注入机,属于半导体装备制造领域。



背景技术:

离子注入机是半导体器件制造中重要的掺杂设备,该设备通过引导杂质离子注入半导体晶片,从而改变晶片传导率。但是,由于离子注入机结构和电气线路非常复杂,以及大量电源的使用,短路现象多次发生。短路首先会造成电源的损坏,进而影响束流的稳定性,产品的合格率。严重时可能造成设备损坏。为提高设备的稳定性及产品合格率,对电源短路保护报警电路的应用极为重要。

本发明提供了一种电源短路保护报警电路,该电路实现方便,功能齐全,实践表明该电路对电源短路保护效果良好。



技术实现要素:

本发明涉及一种电源短路保护报警电路。该发明应用于离子注入机,该电路适用于离子注入机中所有直流电源。

本发明通过以下技术方案实现:

电源短路保护报警电路基本框图如图1所示,它包括四个主要功能单元:电源输出电路(1),电源短路自动断开/闭合电路(2),电源信号转换电路(3)和报警电路(4)。各功能单元的实现电路及作用如下:

电源输出电路:各型号电源输出的直流可调电压,以及各电源电流监控输 出端口0~10V的反馈电压信号。

电源短路自动断开/闭合电路:当电源发生短路时,电源自动断开,排除故障后能自动恢复。该电路采用继电器来完成,控制继电器工作的信号为电源信号转换电路(3)的触发电平。

电源信号转换电路:运算放大器的同相输入端为电源电流监控输出端口0~10V的反馈电压信号,反相输入端为预设电压,该电路通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较,当高于设定值时触发电平信号。

报警电路:报警采集信号即为电源信号转换电路(3)的触发电平,当发生短路时,该电路使发光二极管亮,蜂鸣器发音报警。

将四个单元模块组合得到总的电路如图2所示,该电路的元器件通过电源的输出电压/电流值进行选型。

本发明具有如下显著优点:

1、结构简单、可靠性好。

2、功能齐全、应用广泛。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍,但不作为对本发明专利的限定。

图1是电源短路保护报警电路的结构框图。

图2是电源短路保护报警电路。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍,但不作为本发明的 限定。

如图1、图2,一种电源短路保护报警电路,由于电源的电流监控输出端口(Ui)输出0至10V电压信号,因此,当电源电流突然升高时,电源电流输出端口的输出电压(Ui)也突然升高。当监控端口的电压升高到一定数值时,即可认为发生了短路。电源信号转换电路(3)运算放大器(U1)将电源监控输出电压值(Ui)与设定值相比较,当高于设定值时触发电平信号。电源短路自动断开/闭合电路(2)接通电源后,不工作,电源输出电路(1)正常时,触发电平信号为低电平,经过反相器(U2)后为高电平,致使三极管导通,继电器(K1)产生闭路;当电源输出电路(1)发生短路时,三极管(Q1)截止,继电器(K1)断开,实现电路短路自动断开工能。同时,报警电路(4)采集电平信号为高电平,发光二极管(D2)亮,触发蜂(LS1)鸣器报警。排除故障后,电路自动恢复。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言,在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动,都构成对本发明专利的侵犯,将承担相应的法律责任。

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