一种电源短路保护报警电路的制作方法

本发明涉及离子注入机电源短路保护及报警功能，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。

背景技术：

离子注入机是半导体器件制造中重要的掺杂设备，该设备通过引导杂质离子注入半导体晶片，从而改变晶片传导率。但是，由于离子注入机结构和电气线路非常复杂，以及大量电源的使用，短路现象多次发生。短路首先会造成电源的损坏，进而影响束流的稳定性，产品的合格率。严重时可能造成设备损坏。为提高设备的稳定性及产品合格率，对电源短路保护报警电路的应用极为重要。

本发明提供了一种电源短路保护报警电路，该电路实现方便，功能齐全，实践表明该电路对电源短路保护效果良好。

技术实现要素：

本发明涉及一种电源短路保护报警电路。该发明应用于离子注入机，该电路适用于离子注入机中所有直流电源。

本发明通过以下技术方案实现：

电源短路保护报警电路基本框图如图1所示，它包括四个主要功能单元：电源输出电路(1)，电源短路自动断开/闭合电路(2)，电源信号转换电路(3)和报警电路(4)。各功能单元的实现电路及作用如下：

电源输出电路：各型号电源输出的直流可调电压，以及各电源电流监控输 出端口0～10V的反馈电压信号。

电源短路自动断开/闭合电路：当电源发生短路时，电源自动断开，排除故障后能自动恢复。该电路采用继电器来完成，控制继电器工作的信号为电源信号转换电路(3)的触发电平。

电源信号转换电路：运算放大器的同相输入端为电源电流监控输出端口0～10V的反馈电压信号，反相输入端为预设电压，该电路通过设定电压值与电源监控输出电压值相比较，当高于设定值时触发电平信号。

报警电路：报警采集信号即为电源信号转换电路(3)的触发电平，当发生短路时，该电路使发光二极管亮，蜂鸣器发音报警。

将四个单元模块组合得到总的电路如图2所示，该电路的元器件通过电源的输出电压/电流值进行选型。

本发明具有如下显著优点：

1、结构简单、可靠性好。

2、功能齐全、应用广泛。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1是电源短路保护报警电路的结构框图。

图2是电源短路保护报警电路。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为本发明的 限定。

如图1、图2，一种电源短路保护报警电路，由于电源的电流监控输出端口(Ui)输出0至10V电压信号，因此，当电源电流突然升高时，电源电流输出端口的输出电压(Ui)也突然升高。当监控端口的电压升高到一定数值时，即可认为发生了短路。电源信号转换电路(3)运算放大器(U1)将电源监控输出电压值(Ui)与设定值相比较，当高于设定值时触发电平信号。电源短路自动断开/闭合电路(2)接通电源后，不工作，电源输出电路(1)正常时，触发电平信号为低电平，经过反相器(U2)后为高电平，致使三极管导通，继电器(K1)产生闭路；当电源输出电路(1)发生短路时，三极管(Q1)截止，继电器(K1)断开，实现电路短路自动断开工能。同时，报警电路(4)采集电平信号为高电平，发光二极管(D2)亮，触发蜂(LS1)鸣器报警。排除故障后，电路自动恢复。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。