压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、送液泵、打印装置、电子表、以及投影装置。
【背景技术】
[0002]已知有使包含压电材料而形成的振动体振动，来驱动对象物的压电马达。在该压电马达中，通过对振动体施加一定周期的驱动电压来使振动体振动，利用设置在振动体的端面的凸部驱动被驱动体。
[0003]另外，也提出有在压电马达中，通过在振动体的表面形成4等分电极，并切换施加驱动电压的电极，而能够切换被驱动体的驱动方向的技术(专利文献I)。
[0004]专利文献1:日本特开2000 - 116162号公报
[0005]但是，在上述的提出的技术中，为了切换施加驱动电压的电极需要使用开关，所以产生了如下的问题。首先，为了振动体的驱动需要流过大电流。因此，需要能够切换该大电流的开关，开关增大或者包含用于切换电流的电路部分的压电马达的结构增大。另外，即使在使用功率晶体管等开关元件的情况下，能够耐大电流的开关元件也不能够以高速动作，所以产生在切换的瞬间对任何电极都不能施加驱动电压的瞬间。因此，有在切换驱动方向的瞬间不能控制压电马达，而难以敏锐的控制的问题。
【发明内容】
[0006]本发明是为了解决以往的技术所具有的上述的课题而完成的，目的在于提供无需较大的开关，而能够使包含电路部分的压电马达小型化，也能够进一步进行压电马达的敏锐的控制的技术。
[0007]为了解决上述的课题的至少一部分，本发明的压电马达采用如下的结构。S卩，具备:
[0008]振动体，其包含压电材料；
[0009]共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
[0010]第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
[0011]驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
[0012]上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
[0013]在上述的本发明的压电马达中，只要供给至第一电极的第一驱动信号和供给至共用电极的共用驱动信号存在电压差，就能够利用该电压差使振动体振动。同样，只要供给至第二电极的第二驱动信号和供给至共用电极的共用驱动信号存在电压差，就能够利用该电压差使振动体振动。而且，驱动信号供给部能够将第一驱动信号以相对于共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将第二驱动信号以相对于共用驱动信号相位不同的方式来供给。因此，只要使第一驱动信号与共用驱动信号相位不同，就能够利用对第一电极和共用电极施加的电压差来驱动压电马达，只要使第二驱动信号与共用驱动信号相位不同，就能够利用对第二电极和共用电极施加的电压差来驱动压电马达。其结果，仅变更第一驱动信号或者第二驱动信号的相位，就能够切换压电马达的驱动方向，所以无需开关，能够缩小还包含有电路部分的压电马达的结构。此外，只要相对于共用驱动信号变更第一驱动信号或者第二驱动信号的相位，就能够实质上瞬间变更，所以不会在切换驱动方向的瞬间不能控制压电马达。其结果，使用压电马达也能够进行敏锐的控制。
[0014]另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以在与配置有共用电极的面相反侧的面，配置第一电极以及第二电极。
[0015]这样，成为配置有共用电极的面与配置有第一电极以及第二电极的面夹持振动体的状态。因此，若供给驱动信号则产生横穿振动体的方向的电场，所以对振动体施加的电压不会偏置，其结果，能够使振动体高效地振动。
[0016]另外，在上述的本发明的压电马达中，第一驱动信号、第二驱动信号、以及共用驱动信号也可以为相同波形的信号。
[0017]这样,使第一驱动信号和共用驱动信号成为相同相位，从而能够成为实质上未对第一电极和共用电极施加电压的状态。同样，使第二驱动信号与共用驱动信号成为相同相位，从而能够成为实质上未对第二电极和共用电极施加电压的状态。因此，第一驱动信号成为与共用驱动信号不同的相位，第二驱动信号成为与共用驱动信号相同相位，从而能够实现向正转方向驱动压电马达的状态。另外，第一驱动信号成为与共用驱动信号相同的相位，第二驱动信号成为与共用驱动信号不同的相位，从而能够实现向反转方向驱动压电马达的状态。
[0018]另外，在上述的本发明的压电马达中，也能够以相同相位供给第一驱动信号、第二驱动信号、以及共用驱动信号。
[0019]这样，使第一驱动信号以及第二驱动信号成为与共用驱动信号相同相位，从而能够实现不驱动压电马达的状态。
[0020]另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以使第一低通滤波器电路与第一电极连接，使第二低通滤波器电路与第二电极连接。
[0021]这样，能够成为将第一驱动信号、第二驱动信号以及共用驱动信号交替地切换为高电压状态和低电压状态的脉冲状的驱动信号。而且，若是脉冲状的驱动信号，则能够简单地进行电压放大，所以能够缩小用于驱动压电马达的电路部分。
[0022]另外，在上述的本发明的压电马达中，也能够供给与共用驱动信号相位不同，但相互为相同的相位的第一驱动信号以及第二驱动信号。
[0023]这样，在第一电极与共用电极之间、第二电极与共用电极之间都能够施加电压。因此，想要向正转方向驱动压电马达的力、和想要向反转方向驱动的力相互抵消，而能够实现振动体振动但不向被驱动体传递驱动力的状态(压电马达的空转状态)。
[0024]另外，在上述的本发明的压电马达中，能够变更相对于共用驱动信号的第一驱动信号的相位，也能够变更相对于共用驱动信号的第二驱动信号的相位。另外，在变更相位时，也可以连续地变更相位，也可以以多个阶段切换相位。
[0025]这样，能够变更对第一电极和共用电极施加的电压、对第二电极和共用电极施加的电压。因此，能够更加细致地控制压电马达的动作状态。
[0026]另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以在与配置有共用电极的面相反侧的面，除了第一电极以及第二电极以外还设置第三电极，对该第三电极能够供给与共用驱动信号相位不同的第三驱动信号。
[0027]这样，使第三驱动信号与共用驱动信号相位不同，从而也能够在第三电极与共用电极之间施加电压，所以能够使压电马达以更加适当的条件动作。
[0028]另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以作为被驱动体驱动转动体。
[0029]这样，作为被旋转驱动的各种被驱动体的动力源能够应用压电马达。
[0030]另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以作为被驱动体驱动直动体。
[0031]这样，作为并进驱动的各种被驱动体的动力源能够应用压电马达。
[0032]另外本发明也能够以以下那样的机器人手的方式来掌握。即，
[0033]一种机器人手，其特征在于，是包含多个指部，把持对象物的机器人手，具备:上述指部以能够移动的方式立设的基体；以及使上述指部相对于上述基体移动的压电马达，
[0034]上述压电马达具备:
[0035]振动体，其包含压电材料；
[0036]共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
[0037]第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
[0038]驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
[0039]上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
[0040]根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使机器人手小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的机器人手。
[0041]另外，本发明也能够以以下那样的机器人的方式来掌握。即，一种机器人，其特征在于，具备:
[0042]臂部，其设置有能够转动的关节部；
[0043]手部，其设置于上述臂部；以及
[0044]主体部，其设置有上述臂部，
[0045]该机器人具有设置于上述关节部而使上述关节部弯曲或者旋转驱动的压电马达，
[0046]上述压电马达具备:
[0047]振动体，其包含压电材料；
[0048]共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
[0049]第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
[0050]驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
[0051]上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
[0052]根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使机器人小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的机器人。
[0053]另外，本发明也能够以以下那样的手指辅助装置的方式来掌握。即，一种手指辅助装置，其特征在于，
[0054]是佩戴于手指，多个单元以能够在上述手指的弯曲方向上旋转的方式连结，对上述手指弯曲的动作进行辅助的手指辅助装置，
[0055]上述单元具备:第一部件，其沿着上述手指配置；
[0056]第二部件，其与上述第一部件对置地配置；
[0057]连结部件，其是配置在上述第一部件与上述第二部件之间，将上述单元与上述邻接的单元连结的部件，且是以在上述手指弯曲的方向上能够旋转的方式连结上述单元和上述邻接的单元的部件；以及
[0058]压电马达，其配置在上述第一部件与上述第二部件之间使上述连结部件旋转，
[0059]上述压电马达具备:
[0060]振动体，其包含压电材料；
[0061]共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
[0062]第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
[0063]驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
[0064]上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号与相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
[0065]根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使手指辅助装置小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的手指辅助装置。
[0066]另外，本发明也能够以以下那样的电子部件搬运装置的方式来掌握。即，一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备:
[0067]把持部，其把持电子部件；以及
[0068]压电马达，其驱动把持上述电子部件的上述把持部，
[0069]上述压电马达具备:
[0070]振动体，其包含压电材料；
[0071]共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
[0072]第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
[0073]驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
[0074]上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
[0075]根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使电子部件搬运装置小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的电子部件搬运装置。
[0076]另外，本发明也能够以以下那样的电子部件检查装置的方式来掌握。即，一种电子部件检查装置，其特征在于，具备:
[0077]把持部，其把持电子部件；
[0078]压电马达，其驱动把持上述电子部件的上述把持部；以及
[0079]检查部，其检查上述电子部件，
[0080]上述压电马达具备:
[0081 ] 振动体，其包含压电材料；
[0082]共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
[0083]第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
[0084]驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
[0085]上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
[0086]根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使电子部件检查装置小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的电子部件检查装置。
[0087]另外，本发明也能够以以下那样的送液泵的方式来掌握。即，一种送液泵，其特征在于，具备:
[0088]液体能够流动的液体管；
[0089]与上述液体管的一部分抵接并封闭上述液体管的封闭部；
[0090]通过以保持上述封闭部的状态移动，来使上述液体管的封闭位置移动的移动部；以及
[0091]驱动上述移动部的压电马达，
[0092]上述压电马达具备:
[0093]振动体，其包含压电材料；
[0094]共用电极，其配置于上述振动体的一方的面；
[0095]第一电极以及第二电极，其配置于与配置有上述共用电极的面不同的面；以及
[0096]驱动信号供给部，其向上述共用电极供给共用驱动信号，向上述第一电极供给第一驱动信号，向上述第二电极供给第二驱动信号，
[0097]上述驱动信号供给部能够将上述第一驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给，且能够将上述第二驱动信号以相对于上述共用驱动信号相位不同的方式来供给。
[0098]根据这样的本发明，能够使压电马达小型化，所以能够使送液泵小型化，并且能够实现也能够控制细致的动作的送液泵。
[0099]另外，本发明也能够以以下那样的打印装置的方式来掌握。即，一种打印装置，其特征在于，具备:
[0100]打印头，其在介质上打印图像；以及
[0101]压电马达，其使上述打印头