压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及压电马达、机器人手、机器人、手指辅助装置、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、输液泵、打印装置、电子表、投影装置。
【背景技术】
[0002]公知有使包含压电材料的振动体振动来驱动对象物的压电马达。该压电马达具有如下特征:与利用电磁力的电磁马达相比虽然小型但是能够得到大的驱动力，并且能够以高分辨率定位对象物。
[0003]该压电马达根据以下原理动作。首先，向振动体施加电压，使振动体产生规定的振动。于是，振动体的端部以特定的轨道运动，从而通过使该端部适当地与对象物抵接，能够摩擦驱动对象物。根据这样的动作原理，若振动体由于从对象物受到反作用力而移动，则不能将驱动力充分地向对象物传递。因此，需要支承振动体以使得即使受到反作用力也不动。因此，在专利文献I提出有如下支承构造，即、具备从屈曲振动的振动体的屈曲方向的侧面延伸配置、且连结振动体和固定部的多个连结部，相对于振动体沿相同方向延伸配置的多个连结部通过支承部连接。
[0004]专利文献1:日本特开平8-237971号公报
[0005]但是，在专利文献I那样的振动体的支承构造中，因为下面这样的理由，存在给压电马达的驱动特性带来负面影响这一问题。首先，振动体的振动经由连结部传递至支承部，会在支承部产生不希望的共振。而且，由于该共振妨碍振动体本来的振动，所以端部的运动的轨道紊乱。由此，振动体的端部与对象物抵接的强度、在端部运动的轨道上与对象物抵接的范围(行程)等抵接的方式发生变化。其结果，不能向对象物传递规定的驱动力，从而驱动对象物的效率、对象物的定位精度等压电马达的驱动特性降低。
【发明内容】
[0006]本发明是为了解决现有技术所具有的上述课题的至少一部分而产生的，其目的是提供一种能够支承振动体而不给压电马达的驱动特性带来负面影响的技术。
[0007]为了解决上述的课题，本发明的压电马达采用下面的结构。即，一种压电马达，其特征在于，具备:
[0008]振动体，其能够屈曲振动；
[0009]接合部，其接合有上述振动体；
[0010]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及[0011 ] 多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0012]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0013]另外，本发明中的“刚性”是指“受到外力时，抵抗该外力带来的变形的性质”。而且，对于“支承部的刚性高”，能够例示按压支承部时的挠曲量小、弯曲支承部时的弯曲量小、支承部扭转时的扭转量小等。
[0014]若是这样的结构，则即使在振动体产生的振动(接合部允许的振动)传递至支承部，在刚性比接合部的刚性高的支承部中，该振动也被抑制(不被允许)。这样若抑制在支承部产生不希望的共振，则因为振动体本来的振动不受到妨碍，振动体的端部以特定的轨道运动，所以能够将规定的驱动力传递至对象物。其结果，能够维持压电马达的驱动特性，并支承振动体。
[0015]另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以设置有提高支承部的刚性的加强部件。
[0016]这样，在支承部中，因为刚性比接合部的刚性高而抑制振动，所以能够抑制在支承部产生不希望的共振。
[0017]另外，在具备上述加强部件的压电马达中，加强部件也可以包括减振材料。
[0018]这样，因为使减振材料吸收的振动能量作为热、声音等扩散，而使传递至支承部的振动衰减，所以能够更可靠地抑制在支承部产生不希望的共振。
[0019]另外，在上述的本发明的压电马达中，也可以在支承部中设置有沿与振动体屈曲的方向交叉的线段弯曲的弯曲部。
[0020]这样，在支承部的设置有弯曲部的部分中，因为刚性比接合部的刚性高而抑制振动，所以能够抑制在支承部产生不希望的共振。
[0021]另外，在上述的本发明的压电马达中，支承部也可以形成为比接合部厚。
[0022]这样，在支承部中，因为刚性比接合部的刚性高而抑制振动，所以能够抑制在支承部产生不希望的共振。
[0023]另外，在上述的本发明的压电马达中，支承部也可以由刚性比接合部的刚性高的材料形成。
[0024]这样，在支承部中，因为刚性比接合部的刚性高而抑制振动，所以能够抑制在支承部产生不希望的共振。
[0025]另外，在这样的本发明的压电马达中，接合部、支承部、以及连结部也可以由一片板材一体形成。
[0026]这样，与它们单独形成的情况相比，因为省去相互接合的工序(接合螺钉的紧固、粘合剂的粘合、点焊接等)，所以压电马达的制造变得容易。除此之外，因为不需要接合螺钉等部件，所以能够实现压电马达的制造成本的减少。
[0027]另外，在一体形成接合部、支承部、以及连结部的上述压电马达中，也可以构成为，向压电马达驱动的对象物来对振动体施力的板簧，通过折弯一片板材与接合部、支承部、以及连结部一体形成。
[0028]这样，若板簧也与接合部、支承部、以及连结部一体形成，则能够省去接合板簧的工序而使压电马达的制造变得容易，能够不需要接合螺钉等部件而实现制造成本的减少。
[0029]另外，在一体形成接合部、支承部、连结部、以及板簧的上述的压电马达中，也可以构成为，将压电马达固定于规定的位置的固定部，通过弯折一片板材而与接合部、支承部、连结部、以及板簧一体形成。
[0030]这样若固定部也与接合部、支承部、连结部、以及板簧一体形成，则能够省去接合固定部的工序而使压电马达的制造变得容易，能够不需要接合螺钉等部件而实现制造成本的减少。
[0031]另外，在这样的本发明的压电马达中，对于振动体而言，也可以构成为，作为屈曲振动的振幅比与压电马达驱动的对象物抵接一侧的端部的屈曲振动的振幅小的节部，具有靠近对象物一侧的前节部、远离对象物的一侧的后节部、以及前节部与后节部之间的中节部，连结部被设置于从前节部、中节部、以及后节部中选择的两个以上的节部。
[0032]这样若连结部被设置于振动体的节部，则与在和节部不同的部分(屈曲振动的振幅和抵接于对象物一侧的端部的屈曲振动的振幅同等的腹部)设置连结部的情况相比，经由连结部传递至支承部的振动少，能够抑制在支承部产生不希望的共振。另外，因为能够抑制振动向振动体的外部(连结部、支承部)传递(逸散)，所以能够减少驱动能量的损失，从而能够高效地驱动对象物。
[0033]另外，本发明也能够通过以下这样的方式掌握。即，
[0034]也能够作为机器人手来把握，其能够用指部把持对象物，其特征在于，具备:
[0035]基体，其能够移动地立设有上述指部；
[0036]可动部，其与上述指部相对于上述基体的移动、或者上述指部的关节的转动联动；
[0037]振动体，其能够屈曲振动；
[0038]抵接部，其与上述可动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述可动部；
[0039]接合部，其接合有上述振动体；
[0040]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0041]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0042]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0043]在这样的本发明的机器人手中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从可动部受到的反作用力而移动的方式使振动体的支承稳固，所以能够将振动体的振动适当地传递至可动部，能够提高用指部把持对象物的精度。
[0044]另外，本发明也能够以以下这样的方式掌握。即，
[0045]也能够作为机器人来掌握，其特征在于，具备:
[0046]臂部，其设置有能够转动的关节部；
[0047]手部，其被设置于上述臂部；以及
[0048]主体部，其设置有上述臂部，
[0049]其中，该机器人具备:
[0050]可动部，其与上述关节部的转动联动；
[0051 ] 振动体，其能够屈曲振动；
[0052]抵接部，其与上述可动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述可动部；
[0053]接合部，其接合有上述振动体；
[0054]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0055]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0056]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0057]在这样的本发明的机器人中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从可动部受到的反作用力而移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够将振动体的振动适当地向可动部传递，能够提高机器人的动作精度。另外，手部例如能够为进行把持对象物的动作、进行螺丝紧固等螺丝紧固动作、涂装动作、焊接动作等的手部。
[0058]另外，本发明也能够以以下这样的方式掌握。即，
[0059]也能够作为手指辅助装置来掌握，其是安装于手指来用于辅助上述指屈曲或者伸展的动作的手指辅助装置，其特征在于，具备:
[0060]第一部件，其被安装于上述手指；
[0061]第二部件，其被安装于上述手指，沿上述手指屈曲的方向能够转动地与上述第一部件连结；
[0062]可动部，其与上述第二部件的转动联动；
[0063]振动体，其能够屈曲振动；
[0064]抵接部，其与上述可动部抵接，并传递上述振动体的振动而驱动上述可动部；
[0065]接合部，其接合有上述振动体；
[0066]支承部，其与上述接合部并列设置，用于支承上述振动体以及上述接合部；以及
[0067]多个连结部，其连结上述接合部以及上述支承部，
[0068]上述支承部的刚性比上述接合部的刚性高。
[0069]在这样的本发明的手指辅助装置中，因为不给振动体的振动带来负面影响，能够以振动体不因抵接部从可动部受到的反作用力而移动的方式稳固地进行振动体的支承，所以能够将振动体的振动适当地传递至可动部，能够提高辅助手指屈曲或者伸展的动作的精度。
[0070]另外，本发明也能够以以下这样的方式掌握。即，
[0071]也能够作为电子部件搬运装置来