一种可控的漏电保护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及离子注入机配电柜的一种漏电保护的装置。
【背景技术】
[0002]离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的主要设备，离子源产生需要掺杂的离子束，由引出系统提供所需要的能量，分析器分离出需要的离子束，通过平行透镜调节和校正，最后到达靶室注入硅片。离子注入机属于电子装备，由于种种原因引起的电气线路漏电，会通过跳闸使整机出于停电状态，甚至发生越级跳闸影响外电路，检修时也不能第一时间找到故障源。整个工艺都需要通过很多电源的配合使用来达到工艺要求，突然地供电断电会对机台某些电气设备造成一定的损坏，尤其是在生产过程中，会对厂家造成很大的损失。
【发明内容】
[0003]本发明是针对上述现有技术中存在的问题而提出的一种用于离子注入机的漏电保护装置。
[0004]本发明通过以下技术方案实现:
[0005]—种可控的漏电保护装置。包括工控机、控制器、漏电保护装置和三相四线制电路。工控机通过光纤与控制器相连，控制器通过控制线采集漏电保护装置的反馈信号，并输出控制信号改变漏电保护装置的状态。漏电保护装置包括:零序电流互感器(磁环m和检测线圈ab)、闸刀开关(K1)、压敏电阻(R1)、整流桥(D1-D8)、可控硅(Tl和T2)、均压电阻(R3和R4)、电容(Cl和C2)、电阻(R2R5R6R7R8R9)、转换开关(K2)、电磁铁线圈(L)。具体连接方式如图1所示。漏电保护装置通过转换开关(k2)改变其工作状态(远程/自动)。
[0006]相对现有技术，本发明所述电路的有益效果在于:
[0007]1.工控机可以显示漏电状态，找到故障源头，方便维修。
[0008]2.漏电保护装置可切换两种工作状态(远程/自动)，可以对设备达到最好的保护作用。
【附图说明】
[0009]图1:是本发明所述可控的漏电保护装置框架图。
[0010]图2:是本发明所述可控的漏电保护装置原理图。
【具体实施方式】
[0011]正常情况下，穿过磁环(m)的三相电源线和零线的电流矢量和为零，检测线圈(ab)无输出，可控硅(Tl T2)无触发电压而处于截止状态。压敏电阻(Rl)起过压保护作用。由于均压电阻(R3R4)比较大，流经电磁铁线圈(L)的电流比较小，不足以造成闸刀开关(Kl)断开；当电路出现漏电情况时，穿过磁环(m)的三相电源线和零线的电流矢量和不为零，检测线圈(ab)有输出。转换开关(K2)自动状态下，检测线圈(m)输出的感应电压立即触发可控硅T2导通，由于电容(C2)预先有一定电压，可控硅(T2)导通后，电容(C2)便经电阻(R5R6)、可控硅(T2)放电，使电阻R5产生电压触发可控硅(Tl)导通，可控硅(T1T2)导通后，流经电磁铁线圈(L)的电流增大，使电磁铁动作，驱动闸刀开关断开，保护电路。转换开关(K2)远程状态下，控制器采集到漏电的反馈状态信号，通过光纤显示在工控机上，通过操作员或者程序根据漏电的大小和机台的工作情况做出最有利的选择，立即或者延时通过控制器输出控制电流使电磁铁动作，保护电路。
[0012]本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。
【主权项】
1.一种可控的漏电保护装置。包括工控机、控制器、、漏电保护装置和三相四线制电路。2.如权利要求1所述的一种可控的漏电保护装置，其特征在于:工控机可以输出状态反馈，并且可以通过远程控制或者自动控制改变其状态。
【专利摘要】一种可控的漏电保护装置。包括工控机、控制器、漏电保护装置和三相四线制电路。该装置特征在于，工控机上可以显示漏电保护状态，并可以通过远程控制或者自动控制改变其状态。说明书对装置进行了详细阐述。
【IPC分类】H02H3/32
【公开号】CN105576602
【申请号】CN201410645031
【发明人】马少志
【申请人】北京中科信电子装备有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2014年11月7日