实现集成无源电路静电防护的结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电子技术领域，具体涉及一种静电防护结构。
【背景技术】
[0002]当前电子产业有两大主流趋势:系统级芯片(System on Chip, SoC)和系统级封装(System in Package, SiP)。系统级芯片是将一个系统或其他电子系统集成到单一芯片的集成电路。系统级封装是将一个系统或多个系统的全部或大部分电子功能配置在整合型基板内，而芯片以二维、三维的方式连接到整合型基板的封装形式。
[0003]IPD(Integrated Passive Device,集成无源元件)技术可以集成多种电子功能，如射频匹配电路、滤波器、不平衡到平衡转换器、信号分离器和耦合器等，提供紧凑的集成无源器件产品，具有小型化和提高系统性能的优势，已成为系统级封装的一个重要实现方式；随着手持设备小型化和低成本的要求越来越高，将多模式器件和模块集成在一起的要求日益增加，集成无源电路的应用领域不断扩大，图1为集成无源电路I的一种表现形式，然而由于集成电路多采用有源电路进行防护，需要电源供电。而集成无源电路的静电防护由于没有有源电路，因此在实现静电防护方面存在困难，一定程度上影响了集成无源电路的性能表现。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于，提供一种实现集成无源电路静电防护的结构，解决以上技术问题。
[0005]本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
[0006]实现集成无源电路静电防护的结构，所述集成无源电路包括，
[0007]输入端；
[0008]输出端；
[0009]接地端；
[0010]其中，
[0011]—第一静电防护支路并联于所述输入端与所述接地端之间；
[0012]和/ 或，
[0013]一第二静电防护支路并联于所述输出端与所述接地端之间。
[0014]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述第一静电防护支路包括一第一分流电感，所述第一分流电感的一端连接所述输入端，所述第一分流电感的另一端连接所述接地端。
[0015]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述第二静电防护支路包括一第二分流电感，所述第二分流电感的一端连接所述输出端，所述第二分流电感的另一端连接所述接地端。
[0016]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述第一静电防护支路包括一第一LC谐振器，所述第一 LC谐振器并联于所述输入端与所述接地端之间。
[0017]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述第二静电防护支路采用一第二LC谐振器，所述第二 LC谐振器并联于所述输出端与所述接地端之间。
[0018]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述集成无源电路包括基板，所述第一静电防护支路和/或所述第二静电防护支路采用薄膜半导体工艺生成于所述基板上。
[0019]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述输入端和/或所述输出端用以连接射频信号。
[0020]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述第一 LC谐振器和/或所述第二LC谐振器分别由一电容和一电感并联而成。
[0021 ] 本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，所述第一 LC谐振器和/或所述第二LC谐振器用以静电防护、和/或射频阻抗匹配、和/或射频滤波。
[0022]本发明还提供一种集成无源电路，其中，包括上述的实现集成无源电路静电防护的结构。
[0023]有益效果:通过以上技术方案，本发明采用集成电路技术实现ESD(Electro-Static Discharge)防护，能够比较好的进行静电防护。同时与有源ESD保护电路相比，不需要电源，不占用过多的体积，具有低功耗的优点。
【附图说明】
[0024]图1为现有技术中没有静电防护的电路示意图；
[0025]图2为本发明的一种具体实施例的结构示意图；
[0026]图3为本发明的一种具体实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0028]需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0029]下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
[0030]参照图2，图3，实现集成无源电路静电防护的结构，集成无源电路I包括，
[0031]输入端；
[0032]输出端；
[0033]接地端；其中，
[0034]一第一静电防护支路11并联于输入端与接地端之间；
[0035]和/ 或，
[0036]一第二静电防护支路12并联于输出端与接地端之间。
[0037]集成无源电路I采用半导体常用的工艺技术制作电感、电容和电阻，比较有代表性的薄膜集成无源电路I工艺包括曝光、显影、镀膜、扩散、刻蚀等工艺，具有高精度、高重复性、尺寸小、高可靠性及低成本等优点。集成无源电路I的电容采用半导体技术中的金属-绝缘体-金属(MIM, Metal-1nsulator-Metal)电容,包含顶层板状电极和底层板状电极以及电极之间的绝缘电介质体，一般绝缘电介质体的厚度为零点几微米，非常容易受静电放电击穿而导致短路。由于集成无源电路I中只有电感、电容和电阻，没有有源器件，因此用集成无源元件技术制作的电路的静电保护是一个难题。本发明采用在输入、输出端口分别并联静电防护支路，以达到防静电放电(ESD, Eletronic Static Discharge)的目的。
[0038]一种具体实施例，本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，第一静电防护支路11采用一第一分流电感，第一分流电感的一端连接输入端，第一分流电感的另一端连接接地端。
[0039]第二静电防护支路12采用一第二分流电感，第二分流电感的一端连接输出端，第二分流电感的另一端连接接地端。
[0040]上述的实施例在输入输出端口并联一电感值比较大的接地电感，对于静电能量能大部分直接接入地，达到尽快放电的目地，具有静电防护的效果，同时对集成无源电路I的射频电性能影响较小。
[0041 ] 一种改进的实施例，本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，第一静电防护支路11采用一第一 LC谐振器，第一 LC谐振器包括电感，电感的一端连接输入端，电感的另一端连接接地端，电感的两端并联一电容。
[0042]第二静电防护支路12采用一第二 LC谐振器，第二 LC谐振器包括电感，电感的一端连接输出端，电感的另一端连接接地端，电感的两端并联一电容。
[0043]上述的改进的实施例通过在输入输出端口并联LC谐振器，并联LC谐振器在集成无源电路I的工作频段内谐振，对频带内信号阻抗相当大，对集成无源电路I的电性能影响较小，但是在非谐振频段内，并联LC谐振器阻抗较小，能量可以直接通过LC谐振器接回地。通过该方法可以有效的把静电能量向接地端泄放，具有更好的静电防护的效果，而不影响集成无源电路I的电性能。相比于单独采用分流电感的防护形式，本改进的实施例既可以作为静电防护电路，又能在被用于射频芯片等应用时，用作射频匹配，以及射频滤波。
[0044]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，集成无源电路I包括基板，第一静电防护支路11和/或第二静电防护支路12采用薄膜半导体工艺生成于基板上。
[0045]本发明的实现集成无源电路静电防护的结构，输入端和/或输出端可以用以连接射频信号。本发明的第一 LC谐振器和/或第二 LC谐振器可以用以静电防护、和/或射频阻抗匹配、和/或射频滤波。
[0046]本发明采用集成电路技术实现ESD防护，能够比较好的进行ESD防护。同时与有源电路的ESD保护电路相比，不需要电源，不占用过多的体积，具有低功耗的优点。
[0047]以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.实现集成无源电路静电防护的结构，所述集成无源电路包括， 输入端； 输出端； 接地端；其特征在于， 一第一静电防护支路并联于所述输入端与所述接地端之间； 和/或， 一第二静电防护支路并联于所述输出端与所述接地端之间。2.根据权利要求1所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述第一静电防护支路包括一第一分流电感，所述第一分流电感的一端连接所述输入端，所述第一分流电感的另一端连接所述接地端。3.根据权利要求1所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述第二静电防护支路包括一第二分流电感，所述第二分流电感的一端连接所述输出端，所述第二分流电感的另一端连接所述接地端。4.根据权利要求1所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述第一静电防护支路采用一第一 LC谐振器，所述第一 LC谐振器并联于所述输入端与所述接地端之间。5.根据权利要求1所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述第二静电防护支路采用一第二 LC谐振器，所述第二 LC谐振器并联于所述输出端与所述接地端之间。6.根据权利要求1所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述集成无源电路包括基板，所述第一静电防护支路和/或所述第二静电防护支路采用薄膜半导体工艺生成于所述基板上。7.根据权利要求1所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述输入端和/或所述输出端用以连接射频信号。8.根据权利要求4或5所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述第一 LC谐振器和/或所述第二 LC谐振器分别由一电容和一电感并联而成。9.根据权利要求8所述的实现集成无源电路静电防护的结构，其特征在于，所述第一LC谐振器和/或所述第二 LC谐振器用以静电防护、和/或射频阻抗匹配、和/或射频滤波。10.一种集成无源电路，其特征在于，包括权利要求1至7任意一项所述的实现集成无源电路静电防护的结构。
【专利摘要】本发明涉及电子技术领域，具体涉及一种静电防护结构。实现集成无源电路静电防护的结构，集成无源电路包括，输入端；输出端；接地端；一第一静电防护支路并联于输入端与接地端之间；和/或，一第二静电防护支路并联于输出端与接地端之间。本发明采用集成电路技术实现ESD防护，能够比较好的进行静电防护。同时与有源ESD保护电路相比，不需要电源，不占用过多的体积，具有低功耗的优点。
【IPC分类】H02H9/04
【公开号】CN105633926
【申请号】CN201410608685
【发明人】顾新桃, 赵国涛, 赵强, 黄文韬
【申请人】展讯通信（上海）有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2014年10月31日