具有被动转子的机器人驱动器的制造方法
【专利说明】具有被动转子的机器人驱动器
[0001 ]本申请是申请号为201280055476.4，题为“具有被动转子的机器人驱动器”的中国专利申请的分案申请。其母案申请日为2012年9月14日。
技术领域
[0002]示例性与非限定实施方式大体上涉及机器人驱动器并且更具体地说，涉及具有被动转子的驱动器。
【背景技术】
[0003]用于半导体集成电路与平面面板显示器的传统制造技术通常包括通过全自动组合设备工具处理硅晶片与通常称作为基板的玻璃面板。通常的组合设备工具可以包括具有载荷锁定件与处理单元的真空室。此工具通常通过机器人操控器(机器人或基板传送装置)服务，机器人操控器从载荷锁定件通过处理单元并且返回到载荷锁定件来循环基板。另一个机器人可以定位在用作真空室的载荷锁定件与通过外部传送系统服务的标准加载端口之间的接口的大气传送单元中。
【发明内容】
[0004]下面的
【发明内容】
仅旨在是示例性的。
【发明内容】
不是旨在限定权利要求的范围。
[0005]根据一个方面，提供了示例基板传送装置，其包括:包括第一电机的驱动部分，其中第一电机包括定子与被动转子；以及连接到第一电机的第一可移动臂组件。基板传送装置配置为以便第一可移动臂组件可定位在真空室中，被动转子与真空室内部的环境连通。
[0006]根据另一个方面，示例方法包括提供包括驱动部分与连接到驱动部分的第一可移动臂组件的基板传送装置，其中驱动部分包括含有定子与被动转子的电机;并且将基板传送装置连接到真空室，其中第一可移动臂组件定位在真空室中，被动转子与真空室内部的环境连通。
[0007]根据另一个方面，不例基板传送装置包括:包括第一电机的驱动部分，其中第一电机包括定子与被动转子;连接到第一电机的第一可移动臂组件；以及定位在定子与被动转子之间的间隙中以将在被动转子处的环境与在定子处的环境分开的气体屏障。
【附图说明】
[0008]在下面的描述中结合【附图说明】了上述方面与其它特征，其中:
[0009]图1是示例装置的示意性剖视图；
[0010]图2是馈通件的示意图；
[0011 ]图3A是另一个馈通件的示意图；
[0012]图3B是另一个馈通件的示意图；
[0013]图3C是另一个馈通件的示意图；
[0014]图3D是另一个馈通件的示意图；
[0015]图4是连接到外壳的读取头的示意图；
[0016]图5是连接到外壳的读取头的另一个示例的示意图；
[0017]图6是连接到外壳的读取头的另一个示例的示意图；
[0018]图7是连接到外壳的读取头的另一个示例的示意图；
[0019]图8和图9是连接到外壳的读取头的另一个不例的不意图；
[0020]图10和图11是连接到外壳的读取头的另一个示例的示意图；
[0021]图12-图19是多个分隔壁配置的不意图；
[0022]图20-图23是具有定子封装的多个定子和转子组合的示意图；
[0023]图24示出了具有径向场装置的电机；
[0024]图25示出了具有带齿被动转子的混合电机设计，定子相A与定子相B通过环永磁体分开；
[0025]图26示出了具有轴向场设计的电机；
[0026]图27示出了具有带有被动转子的无刷设计的电机；
[0027]图28-图29示出了具有带齿的被动转子的电机；
[0028]图30-图31示出了具有带齿的被动转子的电机；
[0029]图32-图33示出了具有带齿的被动转子的电机；
[0030]图34-图35示出了具有带齿的被动转子的电机;以及
[0031]图36-图37示出了具有带齿的被动转子的电机。
【具体实施方式】
[0032]参照图1，示出了基板传送装置2的机器人驱动器10的示意图。尽管参照真空机器人描述了机器人驱动器10，但是可以提供具有如公开的特征的任何适当的机器人驱动器(大气或另外的)。驱动器10可以包括如前面公开或者这里公开的特征。除了优选的实施方式或者公开的实施方式以外，本发明能够具有其它实施方式并且以多种方式实施或执行。因此，应该理解的是发明不限于其应用到在下面描述中阐述的或者在附图中描述的构造的细节与部件的布置。如果仅在这里描述了一个实施方式，其权利要求不限于此实施方式。此夕卜，其权利要求不应被限制性地阅读除非有清楚并且令人信服的证据证明某些排除、限制、或弃权。
[0033]图1中示出了本发明的一个或多个实施方式的包括真空兼容直接驱动系统的示例机器人操纵器或装置2。机器人操纵器可以构建在框架101周围，例如从凸耳或安装装置102悬置的铝制突出部。可替换地，安装装置可以在框架101的一侧上，在框架101的底部或者框架101可以以任何适其它适当的方式安装。框架101可以包括具有线性轴承104的一个或多个竖直轨道103以便对通过电机106经由滚珠丝杠机构107驱动的外壳105提供引导。为了简便仅示出了一个轨道103。可替换地，可以通过直接附接到框架101或者以任何其它适当可移动或不可移动方式耦合到框架101的线性电机驱动电机外壳105。如下面将要更加详细地描述的，电机外壳105可以包括一个、两个、三个、四个或更多个直接驱动单元。外壳105可以容纳装配有位置编码器110和111的电机108、109。外壳105示出为示例性结构，其中如下面将要更加详细地描述的，外壳105可以具有相对于电机108、109以及位置编码器110和111配置的部分。波纹管120可以用于适应沿着竖直轨道103的电机105的运动，以使例如真空的电机108、109与编码器110、111的可移动部件在其中操作的环境与例如大气的外部环境分离。
[0034]在图1的示例中，示出了每个都具有一个电机与一个编码器的两个直接驱动单元。然而，可以使用具有任何适当数量电机与编码器的任何适当数量的直接驱动单元。如图1中所示，反转的服务回路222可以被用于将能量供给到直接驱动单元并且方便在直接驱动单元与诸如控制器224的机器人系统的其它部件之间发射信号。可替换地，可以使用常规的、非反转服务回路226。如图1中所示，上电机108可以驱动连接到机械臂的第一连杆114的中空外轴112。下电机109可以连接到可以经由带驱动件115耦合到第二连杆116的共轴的内轴113。另一个带装置117可以用于在不考虑第一两个连杆114和116的位置的情况下保持第三连杆118的径向定向。这可以由于包括在第一连杆中的滑轮与连接到第三连杆的滑轮之间的1: 2的比率实现。第三连杆118可以形成可以承载例如半导体基板的有效载荷119的端部效应器。应该指出的是仅为示例性的目的示出了图1的机械臂。可以单独或结合地使用任何其它适当的臂机构或驱动机构。例如，可以在单个机械操纵器或者具有多个操纵器的机械操纵器或任何适当组合中使用根据本发明的一个或多个实施方式的多个直接驱动单元。这里，此单元可以沿着基本上相同的旋转轴堆叠在不同的平面中，同心地定位在基本上相同平面中，布置在结合堆叠与同心布置的构造中，或者以任何其它适当的方式包括在机械操纵器中。
[0035]本发明的一个或多个实施方式的真空兼容直接驱动系统可以包括壳体与具有定子与转子的径向场电机装置，所述转子布置在定子附近使得其可以相对于定子旋转并且通过相对于转子的旋转轴基本上径向的磁场与定子相互作用。可替换地，可以提供轴向场电机或径向/轴向场电机的组合，或者其组合。定子可以包括基于相对于定子的转子的相对位置通过适当的控制器供能的一组绕组。转子可以包括一组具有交替极性的永磁体。
[0036]在示出的实施方式中，壳体可以将在壳体的外部上的大气类型环境与壳体内部的真空或者其它非大气环境分开。如将要描述的，诸如编码器读取头或定子的活动部件可以紧固到壳体和/或与壳体对接，例如，读取头或定子可以按压到到壳体中或者另外地紧固到壳体以取消传统的夹紧部件，并且如将要描述的，可以以诸如真空兼容环氧树脂为基础的灌封的适当的材料封装，以限制部件到真空或者其它非大气环境的渗气。这里，封装的部件可以是在真空、大气或者其中封装保护定子远离环境，例如防止腐蚀、并且促进有效的热移除的任何适当的环境中。封装还可以将读取头或定子结合到外壳或者其它部件或者子部件，以相对于外壳进一步固定装置。如将要参照图2描述的，到绕组或读取头的的其它活动部件或者定子的绕组的引线可以穿过通过封装密封的壳体的开口，由此消除了例如对单独的真空馈通件的需要。可替换地，读取头或者定子可以被夹紧、螺栓连接或者以任何其它适当的方式附接到壳体，并且从大气环境引到绕组或者读取头的其它活动部件或者定子的绕组的引线可以布线通过真空馈通件或者以任何其它适当的方式穿过壳体的壁，例如参照图3A-图3D描述的。
[0037]在图2中，馈通件202示出为与外壳105对接，其中外壳105可以使第一环境204与第